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ダイヤフラムポンプのメーカー51社一覧や企業ランキングを掲載中!ダイヤフラムポンプ関連企業の2025年7月注目ランキングは1位:ユニツール株式会社、2位:株式会社イワキ、3位:株式会社タクミナとなっています。 ダイヤフラムポンプの概要、用途、原理もチェック!
ダイヤフラムポンプとは、ダイヤフラムと呼ばれる膜を往復動させることで流体を移送させるポンプです。容積式ポンプに分類されます。
ダイヤフラムポンプは強力な自吸能力を有するので、高い揚程を必要とするものや超高粘度液体の移送も可能です。そのため、化学プラントなどで多く使用されます。
またサニタリー性を追求するために、内部をステンレス鋼で製作したポンプも販売されています。定置洗浄や定置滅菌が可能であるという特徴があり、食品・医薬品業界で重宝されるダイヤフラムポンプです。
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2025年7月の注目ランキングベスト10
順位 | 会社名 | クリックシェア |
---|---|---|
1 | ユニツール株式会社 |
11.4%
|
2 | 株式会社イワキ |
6.9%
|
3 | 株式会社タクミナ |
5.7%
|
4 | アネスト岩田株式会社 |
5.3%
|
5 | 日機装エイコー株式会社 |
4.9%
|
6 | 株式会社サンコー |
4.5%
|
7 | 株式会社ケー・エヌ・エフ・ジャパン |
4.1%
|
8 | 株式会社明治機械製作所 |
4.1%
|
9 | グルンドフォスポンプ株式会社 |
3.7%
|
10 | 株式会社エイチツー |
3.3%
|
項目別
使用用途
#化学薬品移送
#腐食性液体処理
#高粘度液体移送
#食品衛生対応
#医薬品製造
#廃液処理
#水処理設備
#爆発対策環境
#定量供給
#洗浄装置対応
駆動方式
エア駆動型
電動駆動型
油圧駆動型
電磁駆動型
構造形式
単室型
複室型
メカニカル駆動型
バックアップダイヤフラム型
接液部材質
PTFE製
EPDM製
ステンレス製
PVC製
最大吐出量 L/min
0 - 10
10 - 100
100 - 1,000
最高吐出圧力 MPa
0 - 1
1 - 10
10 - 25
定格電圧 V
0 - 100
100 - 200
200 - 250
消費電力 W
0 - 50
50 - 200
100 - 200
使用温度範囲 ℃
0 - 10
10 - 50
50 - 90
本体重量 kg
0 - 1
1 - 5
5 - 10
10 - 15
流量 lpm
0 - 10
10 - 50
50 - 100
100 - 200
200 - 300
300 - 400
400 - 600
接続口径 mm
0 - 10
10 - 20
30 - 40
169 点の製品がみつかりました
169 点の製品
高砂電気工業株式会社
900人以上が見ています
最新の閲覧: 4時間前
返信の早い企業
100.0% 返答率
11.2時間 返答時間
・標準流量は400 mL/minもしくは500 mL/minで、圧力範囲は-60 ~ 100 kPaのポンプです。 ・ブラシレスモーターのため、長寿命、メンテナ...
3種類の品番
グルンドフォスポンプ株式会社
3670人以上が見ています
最新の閲覧: 9時間前
レノイド駆動を超えた。可変速駆動でまだら注入や脈動を解決 正確性・耐久性に優れたポンプです。 ・可変速駆動-ストロークのスピード...
5種類の品番
株式会社イワキ
1160人以上が見ています
最新の閲覧: 6時間前
返信の早い企業
4.5 会社レビュー
100.0% 返答率
6.4時間 返答時間
■優れた耐久性・信頼性 経済的で汎用性の高い定量ポンプです。PVC成形ポンプヘッドを国内で最初に採用し、フランジ・ホース・ユニオンの...
2種類の品番
株式会社イワキ
940人以上が見ています
最新の閲覧: 5時間前
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4.5 会社レビュー
100.0% 返答率
6.4時間 返答時間
■強酸移送に最適 主材質にフッ素樹脂を採用した、強酸移送に最適なポンプです。ポンプヘッド部にフッ化ビニリデン樹脂 (PVDF) カーボン...
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株式会社イワキ
670人以上が見ています
最新の閲覧: 43分前
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4.5 会社レビュー
100.0% 返答率
6.4時間 返答時間
■幅広い制御範囲 制御モータにより吐出/吸込み速度を可変させることで、1 : 750という制御比を実現しました。吐出量範囲0.0033~5.0L/mi...
株式会社イワキ
690人以上が見ています
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4.5 会社レビュー
100.0% 返答率
6.4時間 返答時間
■幅広い制御範囲 制御モータにより吐出/吸込み速度を可変させることで、1 : 750という制御比を実現しました。 ■高精度定量注入 微量注...
2種類の品番
株式会社イワキ
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100.0% 返答率
6.4時間 返答時間
■高出力・高精度・高制御性 高効率で制御性の高いブラシレスモータを採用。少流量 (7.5mL/h) から、同クラスで最大級 (当社調べ) となる...
2種類の品番
株式会社イワキ
570人以上が見ています
最新の閲覧: 7時間前
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6.4時間 返答時間
■ハイコストパフォーマンス 減速機をはじめポンプの機械効率を全面的に見直して改善。大容量ポンプヘッドの取り付けや高速回転タイプの...
2種類の品番
株式会社イワキ
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6.4時間 返答時間
■高精度注入 定量精度±1% (F.S.) 以内、直線性±2% (F.S.) 以内、再現性±2% (F.S.) 以内の高精度プロセス定量ポンプです。 ■耐久性・信...
2種類の品番
株式会社イワキ
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6.4時間 返答時間
■DC電源/鉛直、水平ヘッド コンパクトなDC電源仕様 (DC12VまたはDC24V) です。またポンプヘッドは鉛直/水平方向の2タイプを標準化、設置...
株式会社イワキ
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100.0% 返答率
6.4時間 返答時間
■特長 ・次亜塩素酸ナトリウムなどのガス化しやすい薬液を、ガスロックなしに注入。 ・自動エアー抜き機構を装備。 ・手動のエアー抜き...
株式会社イワキ
800人以上が見ています
最新の閲覧: 5時間前
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4.5 会社レビュー
100.0% 返答率
6.4時間 返答時間
■特長 ・ユニット形状のダイヤフラムの採用で小流量に対応。標準ポンプと同様のメンテナンス性を確保。 ・0.2MPaまでのエアー排出、1シ...
株式会社イワキ
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6.4時間 返答時間
■特長 ・ポンプ室のデッドボリュームを極力抑えた、高圧縮型。 ・次亜塩素酸ナトリウム注入用に最適。
株式会社イワキ
530人以上が見ています
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6.4時間 返答時間
■タイマー制御 設定した曜日・時刻に設定した時間だけ作動するタイマー制御タイプです。制御方式はDAY・WEEK・INT (インターバル) ・DAY...
株式会社イワキ
400人以上が見ています
最新の閲覧: 14時間前
返信の早い企業
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6.4時間 返答時間
最高吐出圧力2.0MPaボイラー用途などの高圧ラインへの注入に最適です。
株式会社イワキ
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4.5 会社レビュー
100.0% 返答率
6.4時間 返答時間
■特長 電磁定量ポンプと薬液タンクを組み合わせ最適な薬液注入システムを実現 ■注入口 (レベルゲージ付き) (50、120型のみ) コックを...
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株式会社イワキ
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4.5 会社レビュー
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6.4時間 返答時間
■小型・軽量・低騒音設計 モータを使用しない電磁駆動式で小型で軽量。しかも吸込・吐出の通気音を抑えた低騒音設計です。 ■優れた耐久...
2種類の品番
株式会社IBS
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100.0% 返答率
26.1時間 返答時間
■特長 ・従来型 (LVM-10/DCP-20) に比べ大幅に振動を軽減。 ・オプションでねじ込み接続を追加。 ・FD-2Sは標準機能として可変速運転が...
株式会社IBS
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26.1時間 返答時間
■特長 ・従来型 (LVM-10/DCP-20) に比べ大幅に振動を低減。 ・オプションでねじ込み接続を追加。
株式会社IBS
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26.1時間 返答時間
■特長 ・標準仕様で耐腐食性能を向上。 ・オプションでねじ込み接続を追加。
株式会社IBS
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100.0% 返答率
26.1時間 返答時間
■特長 ・標準仕様で耐腐食性能を向上。 ・ブラシレスモータを搭載、標準機能として可変速運転、アラーム出力が可能。 ・オプションでね...
株式会社IBS
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4.0 会社レビュー
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26.1時間 返答時間
■特長 気密性が高く、気体の昇圧や循環にも最適。
株式会社IBS
420人以上が見ています
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返信の比較的早い企業
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26.1時間 返答時間
■特長 ・気密性が高く、気体の昇圧や循環にも最適。 ・ブラシレスモータを搭載、標準機能として可変速運転、アラーム出力が可能。
株式会社IBS
520人以上が見ています
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4.0 会社レビュー
100.0% 返答率
26.1時間 返答時間
■特長 ・標準仕様で耐腐食性能を向上。 ・150℃までの高温ガスで使用可。 ・DCモータではブラシレスモータを搭載。
株式会社IBS
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最新の閲覧: 2分前
返信の比較的早い企業
4.0 会社レビュー
100.0% 返答率
26.1時間 返答時間
■特長 ・気密性が高く、気体の移送や循環に最適 ・標準仕様で耐腐食性を向上、180℃までの高温ガスで使用可
2種類の品番
株式会社IBS
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返信の比較的早い企業
4.0 会社レビュー
100.0% 返答率
26.1時間 返答時間
■特長 ・気密性が高く、気体の移送や循環に最適。 ・標準仕様で耐腐食性を向上、180℃までの高温ガスで使用可。 ・ブラシレスモータを搭...
株式会社IBS
520人以上が見ています
最新の閲覧: 8時間前
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26.1時間 返答時間
■特長 ・耐圧防爆型 (d2G4) ・小型、軽量
株式会社IBS
510人以上が見ています
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返信の比較的早い企業
4.0 会社レビュー
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26.1時間 返答時間
■特長 ・気密性が高く、気体の昇圧や循環にも最適。 ・耐圧防爆型 (d2G4) ・小型、軽量
株式会社IBS
480人以上が見ています
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■特長 ・安価、軽量 ・DCモータではブラシレスモータを搭載
株式会社IBS
400人以上が見ています
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■特長 ・安価、軽量 ・ブラシレスモータを搭載
株式会社IBS
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■特長 ・DCモータではブラシレスモータを搭載、標準機能として可変速運転、アラーム出力が可能 ・脈動・振動・騒音低減 ・自吸式:3m (...
株式会社IBS
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■特長 ・脈動・振動・騒音低減 ・自吸式:3m (吸込揚程) ・耐食性の高い材質 ・可変速機能 (標準搭載) ・アラーム検出機能 (標準搭載)
株式会社IBS
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■特長 ・腐食性流体 (洗浄液、プリンタインク等) の移送用途に最適。 ・ブラシレスモータを搭載、標準機能として可変速運転が可能。
株式会社IBS
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4.0 会社レビュー
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■特長 腐食性流体 (洗浄液、プリンタインク等) の移送用途に最適
株式会社IBS
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■特長 ・腐食性流体 (洗浄液、プリンタインク等) の移送用途に最適。 ・ブラシレスモータを搭載、標準機能として可変速運転、アラーム出...
株式会社サンコー
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■パルスフリー・リニアフローの 3 連ダイヤフラム式定量ポンプ ・清水から高濃度スラリーまで幅広い液体に対応。 ・インバータ制御によ...
株式会社サンコー
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■リニアフローの シングルダイヤフラム式定量ポンプ ・清水から高濃度スラリーまで幅広い液体に対応 ・インバータ制御により高精度、信...
株式会社タクミナ
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5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
10.8時間 返答時間
光学フィルムやIT、高価医薬品など、シビアな制御が必要なプロセスラインに。 特長 ■再現精度±0.1%以下、脈動率±1%以下 超一定流の高...
10種類の品番
株式会社タクミナ
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10.8時間 返答時間
濃縮果汁や食品添加物、マヨネーズ、乳液など、変質しやすいデリケート食品・化粧品の移送に。 ■衛生的で分解しやすいサニタリー仕様 ...
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株式会社タクミナ
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10.8時間 返答時間
下水処理場の次亜塩素酸ソーダ、凝集剤、pH調整剤注入に。 構造概要 ■直動2連式ダイヤフラム定量ポンプ (配管中のエアチャンバーが無...
10種類の品番
株式会社タクミナ
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100.0% 返答率
10.8時間 返答時間
水処理薬品の長距離移送や添加剤注入など、幅広い薬液・流体の定量供給・注入に。 ■異物の混入がない。 異物が発生しやすい回転部・摺...
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株式会社タクミナ
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10.8時間 返答時間
エマルジョンやラテックス、スラリー液など、物性変化の激しい薬液の高圧・定量注入に。 ■異物の混入がない。 異物が発生しやすい回転...
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株式会社タクミナ
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10.8時間 返答時間
シンプル構造でメンテナンスが簡単なポンプ。 ■特長 ・高い耐食性で厳しい使用環境にも対応。 ・シンプル機構でメンテナンスも容易。 ...
6種類の品番
株式会社タクミナ
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5.0 会社レビュー
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10.8時間 返答時間
スラリー・汚泥の大容量・高圧・無脈動移送に。 ■耐摩耗性が高く、高濃度スラリーもOK 粒子径最大6mm、スラリー濃度60wt%のスラリー液...
2種類の品番
株式会社タクミナ
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10.8時間 返答時間
スラリー・汚泥の大容量・高圧・無脈動移送に。 ■耐摩耗性が高く、高濃度スラリーもOK 粒子径最大6mm、スラリー濃度60wt%のスラリー液...
7種類の品番
株式会社タクミナ
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10.8時間 返答時間
スラリー・汚泥の大容量・高圧・無脈動移送に。 ■耐摩耗性が高く、高濃度スラリーもOK 粒子径最大6mm、スラリー濃度60wt%のスラリー液...
3種類の品番
トミエンジ株式会社
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14.7時間 返答時間
外部信号によるリモート運転。1:N、N:1のパルス連動運転が可能。 ■特徴 ・外部信号によるリモート運転 ・1:N、N:1のパルス連動運転が可...
トミエンジ株式会社
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返信の比較的早い企業
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14.7時間 返答時間
クリックホイールボタンによる各種設定操作、異常検知機能の追加と機能性・操作性・安全性の向上。 ■特徴 ・使用薬液の性質に応じた多...
トミエンジ株式会社
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14.7時間 返答時間
世界初のオプトドライブ方式を採用。エアロック・過負荷・ダイヤフラム破損検知機能を装備。 ■特徴 ・世界初のオプトドライブ方式を採...
トミエンジ株式会社
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14.7時間 返答時間
高機能ポンプがさらなる進化。ユーザーインターフェースが改良され操作性が格段に向上。 ■特徴 ・シグマCbコントロールタイプはインバ...
アルバック販売株式会社
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■概要 スタンダードタイプ/2段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/プラグ付き電源 (スイッチ付き) コード ■特長 ・豊富な実績を持ち、...
アルバック販売株式会社
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■概要 スタンダードタイプ/2段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/プラグ付き電源 (スイッチ付き) コード ■特長 ・豊富な実績を持ち、...
アルバック販売株式会社
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■概要 ゴムの薄膜 (ダイアフラム) の往復運動によって真空排気をする真空ポンプです。構造が単純で取り扱いが容易です。DAシリーズは標...
アルバック販売株式会社
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■概要 スタンダードタイプ/2段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/プラグ付き電源 (スイッチ付き) コード ■特長 RoHS対応 ■使用上の注...
アルバック販売株式会社
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■概要 スタンダードタイプ/1段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/プラグ付き電源 (スイッチ付き) コード ■特長 ・豊富な実績を持ち、...
アルバック販売株式会社
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■概要 スタンダードタイプ/2段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/プラグ付き電源コード/スイッチ付き ■特長 ・豊富な実績を持ち、低価...
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■概要 スタンダードタイプ/1段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/プラグ付き電源/スイッチ付き ■特長 ・豊富な実績を持ち、低価格を実...
アルバック販売株式会社
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アルバック販売株式会社
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■概要 スタンダードタイプ/1段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/モーターリード線圧着端子付 ■特長 ・豊富な実績を持ち、低価格を実...
グラコ株式会社
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故障の低減、設備のエネルギー効率化、静かでクリーンな環境作りに貢献します。 ■特長 ・締切運転技術 (特許出願中) により配管の詰ま...
グラコ株式会社
460人以上が見ています
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返信の早い企業
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不要な故障をなくしませんか。設備のエネルギー効率を高め、従業員のために静かでクリーンな作業環境を作りませんか。GracoのHusky e シ...
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グラコ株式会社
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■故障の低減、設備のエネルギー効率化、静かでクリーンな環境作りに貢献します。 ・締切運転技術 (特許出願中) により配管の詰まりや閉...
高砂電気工業株式会社
530人以上が見ています
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■特徴 ・標準流量は180 mL/minもしくは200 mL/minで、圧力範囲は-30 ~ 100 kPaのポンプです。 ・ブラシレスモーターのため、長寿命、メ...
2種類の品番
高砂電気工業株式会社
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■特徴 ・標準流量は300 mL/minで、圧力範囲は - 30 ~ 600 kPaのポンプです。 ・ブラシレスモーターのため、長寿命、メンテナンスフリー...
株式会社柳生商会
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■特長 ・電磁振動ですので、消費電力が小さく高能力です。 ・メンテナンスフリーで長期間使用できます。
株式会社柳生商会
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8.3時間 返答時間
■特長 ・油を使用していませんので、クリーンな排気が可能です。 ・サーマルプロテクター内蔵です。 ※吸気管・排気管は付属していません。
電装産業株式会社
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オリジナルブランド製品である気体・液体用の小型DCダイアフラムポンプです。気体用は真空ポンプやコンプレッサーの用途で、液体用は気...
電装産業株式会社
390人以上が見ています
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返信のとても早い企業
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1.5時間 返答時間
流量1リットル以上で送液したいというお客様からの声をもとに開発した流量アップタイプです。 ◼︎特長 ・小型、ダイアフラム多連式で低...
電装産業株式会社
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流量3リットル以上でエアーを送気したいというお客様からの声をもとに開発した流量アップタイプです。 ◼︎特長 ・小型、ダイアフラム多...
ゼビオプラスト株式会社
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■概要 ・様々な薬品を移送できる、耐腐食性に優れた樹脂ポンプ ・少量を正確に送るのに最適なソレノイド駆動方式を採用 ・屋外の使用に...
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■特長 ・無駄のないシンプル構造で取り扱いが容易 ・様々な薬品を移送できる、耐腐食性に優れた樹脂ポンプ
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■特長 ・無駄のないシンプル構造で取り扱いが容易 ・様々な薬品を移送できる、耐腐食性に優れた樹脂ポンプ
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■概要 滅菌、殺菌剤で使用される、次亜塩素酸ナトリウムの微量注入に適したソレノイド駆動定量ダイヤフラムです。 プール、温泉施設、浄...
ファーストゲート株式会社
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独自ダイアフラム構造を採用し、マルチポートメタリングポンプで腐食性薬液を含む薬液を1~50mlで正確に吐出します。2ポートから6ポート...
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スタンダードタイプ/2段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/プラグ付き電源 (スイッチ付き) コード ■特長 ・豊富な実績を持ち、低価格...
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スタンダードタイプ/2段排気方式/ロック保護・過電流保護機能付/DCモータ搭載 ■特長 ・豊富な実績を持ち、低価格を実現したドライ真空...
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スタンダードタイプ/2段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/プラグ付き電源 (スイッチ付き) コード ■特長 ・豊富な実績を持ち、低価格...
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スタンダードタイプ/2段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/プラグ付き電源コード/スイッチ付き ■特長 ・豊富な実績を持ち、低価格を実...
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スタンダードタイプ/2段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/プラグ付き電源コード / スイッチ付き ■特長 ・豊富な実績を持ち、低価格を...
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スタンダードタイプ/2段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/プラグ付き電源コード/スイッチ付き ■特長 ・豊富な実績を持ち、低価格を実...
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スタンダードタイプ/2段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/プラグ付き電源コード/スイッチ付き ■特長 ・豊富な実績を持ち、低価格を実...
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スタンダードタイプ/2段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/プラグ付き電源コード/スイッチ付き ■特長 ・豊富な実績を持ち、低価格を実...
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スタンダードタイプ/2段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/入力端子台付き (コードなし) ■特長 ・豊富な実績を持ち、低価格を実現し...
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■用途 ・各種薬液移送。 ・表面処理装置組込。 ■特徴 ・経済的で汎用性の高い定量ポンプです。PVC成形ポンプヘッドを国内で最初に採用...
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■用途 スラリー液の移送など。 ■特徴 ・スラリー液専用設計により、広範囲な液体移送が可能。 ・直動式ダイヤフラムの採用により、メン...
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信頼性の高い水質コントロールシステムの構築に。 ■用途 ・食品/化学/印刷工場の薬液やボイラー清缶剤/防錆剤の定量注入。 ・大規模ビ...
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あらゆる薬液の定量注入に最適な小型ダイヤフラムポンプ。 ■薬液に応じて選べる4種類の接液材質 ・PVC仕様。 (硬質塩化ビニール) ・SU...
同信産業株式会社
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■特長 ・インバータ制御により吐出量の調整が簡単でスムース。 ・設備・ランニングコストを低減し省エネに貢献。 ・排気がなく低騒音、...
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HSRシリーズは装置組込み用として開発された小型のダイヤフラム式ポンプです。コンパクトながら高圧で液体を移送でき、圧力変動があって...
ダイヤフラムポンプとは、ダイヤフラムと呼ばれる膜を往復動させることで流体を移送させるポンプです。容積式ポンプに分類されます。
ダイヤフラムポンプは強力な自吸能力を有するので、高い揚程を必要とするものや超高粘度液体の移送も可能です。そのため、化学プラントなどで多く使用されます。
またサニタリー性を追求するために、内部をステンレス鋼で製作したポンプも販売されています。定置洗浄や定置滅菌が可能であるという特徴があり、食品・医薬品業界で重宝されるダイヤフラムポンプです。
ダイヤフラムポンプは遠心ポンプなどが使用できないラインなどで使用されます。以下は使用例です。
また、ダイヤフラムポンプは基本的にポンプ自体に回転部分が無いため、比較的柔軟に材質を選定できます。そのため、耐食性のある材料で作成し薬品用のケミカルポンプとして使用する場合もあります。
ダイヤフラムポンプはダイヤフラムポンプが往復動することで、吸引と排出を繰り返して液体を移送します。
注射器をイメージしてもらうとわかりやすいです。注射器のピストンを引くと液体が吸入され、ピストンを押すと液体が排出されます。ダイヤフラムポンプではそのピストンの代わりにダイヤフラムという膜を使用しており、吸入側と排出側に逆止弁を設ける事で排出方向を定めています。
図1. ダイヤフラムポンプの原理
この構造上、ダイヤフラムポンプはかならず吸引か排出のどちらかの動作しかせずに液流が断続的になります。これを脈動と言い、脈動を嫌うラインではダイヤフラムポンプを使用不可能です。脈動させずにダイヤフラムポンプを使用したい場合、3連ダイヤフラムポンプなどを検討します。
また、ダイヤフラムを油圧で駆動する際は、ダイヤフラムが破れても問題が無いか確認する必要があります。食品業界では機械油が食品に混入する危険性があるため、ダイヤフラムが破れた場合には警報を発するセンサーなどを取り付けて対策を取ります。
ダイヤフラムポンプの寿命は使用条件によって異なります。主な使用条件は使用流体、使用圧力、稼働率などです。
基本的には、ダイヤフラムの破れや消耗部品の摩耗・破損がなければ継続使用が可能です。ただし、電磁弁が付属するダイヤフラムポンプは電磁弁作動回数による寿命も1つの要因として考慮することが必要です。
流体内に異物や固形物が混入する場合、ダイヤフラムを傷をつけ破損につながるため注意が必要です。
一般的な寿命は3~4年ほどです。ポンプの型式や使用環境により変化するため、メーカーとの協議によって整備周期などを決定します。
往復運動を用いて流体を輸送するポンプは「脈動」という現象が発生します。流体が脈を打つように送液されることからこう呼ばれます。脈動は圧力や流量が不定常であるため、配管の摩耗や破損の原因です。
この脈動を低減する方法がいくつか存在します。以下は脈動低減対策の一例です。
図2. 複数ダイヤフラムポンプの構造