半導体製造

■特長 ・全機能がコンパクトに一体化 ・当社スタンダード機よりタクト20％アップを実現 ・用途により、2種類のアライメント方式を選択可能 ・独自の平行出し...

4種類の品番

• 半導体製造

• 半導体露光装置

生産過程で端数となったテーピング済みチップを順次取り出し、画像検査後、新たなエンボステープに詰め替える装置です。

• 半導体製造

• 半導体外観検査装置

日本国内工場で生産している他、中国メーカーにて委託生産しています。中国メーカーでは、主に小径サイズを生産しており、Φ8"～Φ16"の大径サイズは日本製を取...

2種類の品番

• 半導体製造

• シリコンウェハ

ガスのイオン化や前駆体の分解を促進 ■概要 ・横型管状炉熱CVD装置の上流側に、高周波誘導プラズマを発生させることにより、入力ガスあるいは前駆体のイオン...

2種類の品番

• 半導体製造

• プラズマCVD装置

半導体製造装置 (前工程用) は、デザインルール微細化 (0.18μm以下) と ウェーハ大口径化 (φ300mm以上) への対応が求められています。それには、装置を構成す...

• 半導体製造

• 半導体パッケージ

■弊社は1980年代から高温超電導薄膜やGaNなどの基板としてSrTiO3やサファイア基板を提供をはじめ、科学技術の向上に貢献し続けています。 エピタキシャル成長...

2種類の品番

• 半導体製造

• 半導体材料

レーザー描画によるパターン成膜が可能 ■概要 ・市販のファイバーレーザー加工機の試料室に、反応性ガス (炭化水素ガスやアンモニアガスなど) の導入・排出...

2種類の品番

• 半導体製造

• プラズマCVD装置

■概要 本イオン銃は、ICF70取付のコンパクトなイオン銃でありながら、最大10 μAのビーム電流、150 μm以下のビーム径、2 mA/cm2以上の最大電流密度を実現した...

2種類の品番

• 半導体製造

• 分光器

■概要 センサのパッケージに接着剤を塗布し、センサチップを高精度に搭載する装置です。 ■特徴 ・ターレットテーブルにより、低振動、低発塵かつ高速の搬送...

2種類の品番

• 半導体製造

• マウンター

連続処理による生産量の大幅向上 ■目的 当社が考案した量産用連続CVD処理方式です。十分長い反応管に処理する試料を縦列に並べて置き、加熱炉を左から右への...

2種類の品番

• 半導体製造

• プラズマCVD装置

レジン・ペーストコーターは、半導体業界向けに開発された全自動塗布装置です。WLはツインエア式ディスペンサーを搭載し、ウェハ上にスパイラルコーティング...

• 半導体製造

• レジスト塗布装置

■製品情報 試験・量産用のCMP装置を、ウェハサイズに合わせてご案内しております。また、お客様のご要望に応じたオーダーメイドも承っております。弊社テクニ...

4種類の品番

• 半導体製造

• 洗浄装置

パッケージ生産技術で未来を創る ■半導体/MEMSパッケージの委託生産拠点としてだけではなく、テクノロジーリーダーとして最先端の製品設計に努めております...

• 半導体製造

• 半導体製造装置

パッケージ生産技術で未来を創る ■半導体/MEMSパッケージの委託生産拠点としてだけではなく、テクノロジーリーダーとして最先端の製品設計に努めております...

• 半導体製造

• 半導体製造装置

■概要 マスクを製作せずにキャドデーターから直接描画できる露光装置です。 ■メリット ・マスク製作のリードタイム　ゼロ。 ・マスク製作のコスト　ゼロ。 ...

• 半導体製造

• FPD露光装置