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スパッタリング装置

スパッタリング装置メーカー38社

スパッタリング装置のメーカー38社一覧や企業ランキングを掲載中！スパッタリング装置関連企業の2025年8月注目ランキングは1位:パナソニックプロダクションエンジニアリング株式会社、2位:芝浦メカトロニクス株式会社、3位:ジャパンクリエイト株式会社となっています。スパッタリング装置の概要、用途、原理もチェック！

スパッタリング装置とは

スパッタリング装置はごく薄い膜を対象物の表面に均一に作製するスパッタリングを行う装置です。

スパッタリングとは、真空蒸着やイオンプレーティングと同じく物理気相成長法 (PVD法) の一つです。主に半導体や液晶の成膜をはじめとしたさまざまな分野で活用いられています。また、対象物の表面を清浄化する際に用いられることもあります。

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38社スパッタリング装置メーカー

- - パナソニックプロダクションエンジニアリング株式会社メーカー
    スパッタリング装置一式
  - 会社サイト創業: 2014年従業員数: 657人会社詳細
  - 住所: 大阪府門真市松葉町2番7号
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- デモ評価対応可能様々なプロセスを提案カスタマイズ対応可能
  パナソニックのモノづくりを支えてきた技術力で、開発から量産まで、
  あらゆるステージの困り事をPPEが一緒に解決。
  カタログ商品だけでなくカスタマイズ商品も提案する技術者集団
- - テルモセラ・ジャパン株式会社メーカー
    テルモセラ・ジャパン薄膜実験装置製品一覧
  返信の比較的早い企業
  
  100.0% 返答率
  
  22.3時間返答時間
  - 会社サイト創業: 2010年会社詳細
  - 住所: 東京都中央区日本橋3丁目2番14号新槇町ビル別館第一 2階
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- カスタムメイド対応短納期イージーメンテナンス
  あらゆるご要望にお答えする高性能なスパッタ装置・コンポーネントを取り揃えております。豊富なパーツオプションでカスタムメイドにも柔軟に対応致します。
- - ジャパンクリエイト株式会社メーカー
    スパッタリング装置一覧
  5.0 会社レビュー
  - 会社サイト創業: 1963年従業員数: 40人資本金: 30,000,000円会社詳細
  - 住所: 埼玉県所沢市林1丁目203番地4
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- オーダーメイドデモ可能アフターフォロー
  研究開発装置から量産装置まで、ニーズに合わせたスパッタリング装置を製作しています
  その他真空成膜装置についても対応していますので、お気軽にお問い合わせください
  様々な母材への成膜処理/デモも承っております
- - 長州産業株式会社メーカー
    スパッタ装置一覧
  返信のとても早い企業
  
  100.0% 返答率
  
  0.8時間返答時間
  - 会社サイト創業: 1980年従業員数: 670人資本金: 410,000,000円会社詳細
  - 住所: 山口県山陽小野田市新山野井3740
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- 低ダメージスパッタ低プラズマダメージ低基板温度上昇
  
  長州産業は、先進のエネルギー機器や有機デバイス製造装置など、幅広い分野で高度な技術を持つ製造メーカーです。再生可能エネルギーを中心としたエネルギー機器分野では業界トップクラスのシェアを持っています。
- - 芝浦メカトロニクス株式会社メーカー
    スパッタリング装置ラインナップ
  100.0% 返答率
  
  87.8時間返答時間
  - 会社サイト上場(東証プライム) 創業: 1939年従業員数: 1,211人資本金: 6,761,000,000円会社詳細
  - 住所: 神奈川県横浜市栄区笠間2-5-1
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- 幅広い分野で実績有りデモ評価対応可能装置ラインナップ多数
  半導体・FPD製造装置の前後工程を手掛ける企業です。特定分野で高い技術力・独自性を持つグローバルニッチトップ製品を取り揃えています。コア技術を強みに製品開発から保守サービスまでトータルサポートします。
- - 株式会社コメットメーカー
    6元コンビナトリアル・マグネトロンスパッタ装置 CMS-6420
  - 会社サイト創業: 2007年従業員数: 5人資本金: 90,980,000円会社詳細
  - 住所: 茨城県茨城県つくば市東光台5－9－5
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- 受託成膜コンビ成膜装置販売コンビナトリアル技術
  株式会社コメットは、国立研究開発法人・物質・材料研究機構(NIMS)発の認定ベンチャーとして設立され、コンビナトリアル薄膜成膜技術を用いた新機能性材料開発を行っています。
- - 株式会社サンバック
    【蒸着装置・スパッタ装置・CVD装置・真空乾燥炉・真空熱処理炉・真空溶解炉】
  返信のとても早い企業
  
  100.0% 返答率
  
  0.2時間返答時間
  - 会社サイト創業: 1995年従業員数: 13人資本金: 15,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都江東区住吉1-19-1ツインタワーすみとし住吉館205
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- 日本製納期・金額応相談特注対応(一品一様)
  弊社は創業30年、成膜装置(蒸着装置・スパッタ装置・CVD装置)と熱処理装置(真空乾燥炉・真空熱処理炉・真空溶解炉)を中心に真空技術を用いた装置全般の設計製作を行っております。
- - 株式会社島津製作所メーカー
    高速スパッタリング装置
  - 会社サイト上場(東証プライム) 創業: 1875年従業員数: 13,499人会社詳細
  - 住所: 京都府京都市中京区西ノ京桑原町1番地
- - アリオス株式会社メーカー
    スパッタ装置
  返信のとても早い企業
  
  100.0% 返答率
  
  2.2時間返答時間
  - 会社サイト創業: 1972年資本金: 15,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都昭島市武蔵野3-2-20
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- - 株式会社エピクエストメーカー
    低圧RFスパッタ装置
  返信の早い企業
  
  100.0% 返答率
  
  10.3時間返答時間
  - 会社サイト創業: 2000年資本金: 30,000,000円会社詳細
  - 住所: 京都府京都市南区上鳥羽中河原51
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- - 北野精機株式会社メーカー
    スパッタリング装置
  返信の比較的早い企業
  
  100.0% 返答率
  
  24.9時間返答時間
  - 会社サイト創業: 1958年資本金: 15,440,000円会社詳細
  - 住所: 東京都大田区中央7-17-3
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- - 株式会社真空デバイスメーカー
    スパッタ装置一覧
  返信の比較的早い企業
  
  5.0 会社レビュー
  
  100.0% 返答率
  
  25.7時間返答時間
  - 会社サイト創業: 1985年従業員数: 12人資本金: 10,000,000円会社詳細
  - 住所: 茨城県水戸市飯島町1285-5
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- - 神港精機株式会社メーカー
    マルチチャンバスパッタリング装置一覧
  - 会社サイト創業: 1949年従業員数: 194人資本金: 375,000,000円会社詳細
  - 住所: 兵庫県神戸市西区高塚台3丁目1番35号
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- - 株式会社昭和真空メーカー
    ロードロック式スパッタリング装置 SPH-2500T-Ⅱ
  - 会社サイト上場(東証スタンダード) 創業: 1953年従業員数: 197人会社詳細
  - 住所: 神奈川県相模原市中央区田名3062-10
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- - 株式会社エーティーエーメーカー
    メタルプラズマコーター
  - 会社サイト創業: 1997年従業員数: 31人会社詳細
  - 住所: 埼玉県日高市大字旭ケ丘字竹の台630-2
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- - 株式会社FKDファクトリメーカー
    研究開発用小型スパッタ装置　FDS/FRS Series
  - 会社サイト会社詳細
  - 住所: 東京都東京都立川市曙町2-42-23-1411
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- - エイ・エス・ディ株式会社メーカー
    粉体スパッタリング装置
  - 会社サイト創業: 1995年会社詳細
  - 住所: 神奈川県横浜市中区野毛町3丁目160-4-406
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- - 大亜真空株式会社メーカー
    スパッタ装置
  返信のとても早い企業
  
  100.0% 返答率
  
  5.2時間返答時間
  - 会社サイト創業: 1939年従業員数: 69人会社詳細
  - 住所: 千葉県八千代市大和田新田495
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- - 誠南工業株式会社メーカー
    スパッタリング装置
  - 会社サイト創業: 1948年従業員数: 25人資本金: 24,000,000円会社詳細
  - 住所: 大阪府大阪市住之江区北加賀屋4丁目3番24号
- - 株式会社ヒラノK&E メーカー
    スパッタリング装置
  - 会社サイト創業: 1980年従業員数: 51人資本金: 30,000,000円会社詳細
  - 住所: 奈良県北葛城郡河合町川合101-1
- - 株式会社パスカルメーカー
    スパッタ装置一覧
  - 会社サイト創業: 1986年会社詳細
  - 住所: 大阪府大阪市阿倍野区昭和町1丁目16番4号
- - 東横化学株式会社メーカー商社・代理店
    スパッタリング装置一覧
  返信の比較的早い企業
  
  4.0 会社レビュー
  
  100.0% 返答率
  
  22.2時間返答時間
  - 会社サイト創業: 1952年従業員数: 355人会社詳細
  - 住所: 神奈川県川崎市中原区市ノ坪370
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- - 株式会社オプトラン
    メタルモードスパッタリング装置
  - 会社サイト創業: 1999年従業員数: 534人会社詳細
  - 住所: 東京都埼玉県鶴ヶ島市富士見6-1-1
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- - 株式会社シンクロン
    誘電体多層膜用ロードロック式スパッタ装置一覧
  - 会社サイト創業: 1951年従業員数: 561人資本金: 72,500,000円会社詳細
  - 住所: 神奈川県横浜市西区みなとみらい4-3-5
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- - 株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン
    グランゼバッハ製スパッタ装置
  返信の早い企業
  
  100.0% 返答率
  
  7.0時間返答時間
  - 会社サイト会社詳細
  - 住所: 千葉県市川市新井3丁目25番地14号
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- - 株式会社菅製作所
    スパッタ装置一覧
  - 会社サイト創業: 1946年従業員数: 32人資本金: 34,000,000円会社詳細
  - 住所: 北海道北斗市追分3-2-2
- - 株式会社片桐エンジニアリング
    三元マグネトロンスパッタ装置
  - 会社サイト創業: 1991年資本金: 10,000,000円会社詳細
  - 住所: 神奈川県横浜市鶴見区尻手3-5-34
- - 株式会社愛知真空
    平行移動式3元RFスパッタリング装置
  - 会社サイト創業: 2013年会社詳細
  - 住所: 愛知県名古屋市南区豊二丁目21番8号
- - 株式会社富士アールアンドディー
    小型スパッタリング装置
  - 会社サイト創業: 1972年会社詳細
  - 住所: 静岡県富士宮市山宮3507-7
- - 株式会社テクノファイン
    スパッタ装置
  - 会社サイト創業: 1995年資本金: 30,000,000円会社詳細
  - 住所: 宮城県仙台市太白区秋保町長袋字門前21

表記について

メーカー一覧・会社一覧: 一部商社などの取扱い企業なども含みます。
会社レビュー (口コミ): ユーザーが企業に対して、メトリー経由で実際に見積もり・問い合わせをした際に、メトリーがユーザーに対して依頼しているユーザーからの評価に基づいています。
返答時間: ユーザーが企業に対して、メトリー経由で実際に見積もり・問い合わせをした際に、企業がユーザーに対して初回に返答した時間の平均を基に算出しています。
ランキング: 2025年8月のスパッタリング装置ページ内でのクリックシェアを基に算出しています。
クリックシェア: 対象期間内の全企業の総クリック数を各企業のクリック数で割った値を指します。

スパッタリング装置 2025年8月のメーカーランキング

2025年8月の注目ランキングベスト10

順位	会社名	クリックシェア
1	パナソニックプロダクションエンジニアリング株式会社	15.1%
2	芝浦メカトロニクス株式会社	11.3%
3	ジャパンクリエイト株式会社	9.4%
4	株式会社サンバック	7.5%
5	長州産業株式会社	7.5%
6	アルバック機工株式会社	7.5%
7	テルモセラ・ジャパン株式会社	5.7%
8	株式会社コメット	3.8%
9	株式会社島津製作所	3.8%
10	株式会社愛知真空	1.9%

ランキングについて

ランキングは、一部商社などの取扱い企業なども含みます
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クリックシェアは、対象期間内の全企業の総クリック数を各企業のクリック数で割った値を指します。

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メーカーの対応が遅い場合、メトリーがお客様に代わって催促のメール・電話を実施します。
3

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お客様の代わりに催促

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返答率は96%以上

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メトリーとは？

登録企業は10,000社以上

メトリーは産業用製品の選定・取引をよりスムーズにするためのサービスです。多くの企業にご賛同いただき、10,000社以上のメーカー・代理店がメトリーに製品登録しています。
上場企業から中小企業まで多様な登録企業
京セラ株式会社アルプスアルパイン株式会社パナソニックインダストリー株式会社安川電機株式会社マクニカ富士ソフト株式会社ダイキン工業株式会社旭化成株式会社他10,000社以上
幅広い業種の方々にご利用頂いております

大手企業・中小企業・研究機関等の、エンジニア・研究者・購買担当者など幅広い方々にご利用頂いております。

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業界別

🚗 自動車・輸送用機器 🧪 化学 💻 電子・電気機器 ⚡ エネルギー

項目別

使用用途

#MEMS

#ガラス基板

#研究開発

#光学

#絶縁膜

#電子顕微鏡

#電子部品

#導電膜

#半導体

#量産

スパッタ方式について

・DCスパッタ型：直流電源を用いる基本的な方式。主に導電性材料に使用される。

・RFスパッタ型：高周波電源を用いて絶縁材料の成膜を可能にする方式。

・マグネトロンスパッタ型：磁場でプラズマを閉じ込めて高効率な成膜を行う一般的な方式。

・グロー放電スパッタ型：ガス放電によってターゲットから原子を叩き出す古典的方式。

スパッタ方式

DCスパッタ型

RFスパッタ型

マグネトロンスパッタ型

グロー放電スパッタ型

成膜環境について

・高真空型：高真空下で成膜する標準的な構成。不純物の混入が少ない。

・中真空型：ポンプダウン時間が短く量産性に優れる。一部応用に適する。

成膜環境

高真空型

中真空型

ターゲット構成について

・単一ターゲット型：単一の材料を蒸着するシンプルな構成。

・多元ターゲット型：複数材料からの同時または交互成膜が可能。合金や積層膜に対応。

・ロータリターゲット型：回転式ターゲットにより均一で安定した長時間成膜が可能。

ターゲット構成

単一ターゲット型

多元ターゲット型

ロータリターゲット型

対象搬送方式について

・静止基板型：基板を静止させたまま成膜を行うシンプルな方式。

・回転基板型：基板を回転させて膜厚の均一性を高める方式。

・スルーフィード型：基板を連続搬送しながら成膜する量産向けの方式。

対象搬送方式

静止基板型

回転基板型

スルーフィード型

処理基板 mm

20 - 50

50 - 100

100 - 150

150 - 200

200 - 300

300 - 700

スパッタ方向

アップ

ダウン

装置構成

エッチング室

カセット室

スパッタ室

搬送室

ロードロック室

基板加熱 ℃

100 - 200

200 - 300

300 - 400

400 - 500

500 - 800

フィルター

業界別

🚗 自動車・輸送用機器業界用 🧪 化学業界用 💻 電子・電気機器業界用 ⚡ エネルギー業界用

項目別

使用用途

#MEMS #ガラス基板 #研究開発 #光学 #絶縁膜 #電子顕微鏡 #電子部品 #導電膜 #半導体 #量産

スパッタ方式

DCスパッタ型 RFスパッタ型マグネトロンスパッタ型グロー放電スパッタ型

成膜環境

高真空型中真空型

ターゲット構成

単一ターゲット型多元ターゲット型ロータリターゲット型

対象搬送方式

静止基板型回転基板型スルーフィード型

処理基板 mm

20 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 700

スパッタ方向

アップダウン

装置構成

エッチング室カセット室スパッタ室搬送室ロードロック室

基板加熱 ℃

100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 800

122 点の製品中 4ページ目

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枚葉式スパッタ装置 SP-12000M

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直線移動式スパッタ装置 SP-35000D

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バレル型スパッタ装置 SP-163000D

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RFスパッタ装置 SP-1500R

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RFスパッタ装置SP-1500Rは成膜室は小型ですが、基材加熱温度も高く、RFモードのスパッタリングが出来ますので、基材の大きさが3インチ以...

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対向陰極型マグネトロンスパッタ装置

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本装置は、対向陰極型マグネトロンスパッタ装置で、2対の陰極を設置し、基板回転によって2種類の薄膜を交互に成膜が可能です。

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RFスパッタ装置 SP-3400

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スパッタリング装置 メーカー38社

スパッタリング装置とは

38社スパッタリング装置メーカー

パナソニック プロダクションエンジニアリング株式会社 メーカー スパッタリング装置一式

テルモセラ・ジャパン株式会社 メーカー テルモセラ・ジャパン 薄膜実験装置製品一覧

ジャパンクリエイト株式会社 メーカー スパッタリング装置一覧

長州産業株式会社 メーカー スパッタ装置一覧

芝浦メカトロニクス株式会社 メーカー スパッタリング装置ラインナップ

株式会社コメット メーカー 6元コンビナトリアル・マグネトロンスパッタ装置 CMS-6420

株式会社サンバック 【蒸着装置・スパッタ装置・CVD装置・真空乾燥炉・真空熱処理炉・真空溶解炉】

株式会社島津製作所 メーカー 高速スパッタリング装置

アリオス株式会社 メーカー スパッタ装置

株式会社エピクエスト メーカー 低圧RFスパッタ装置

北野精機株式会社 メーカー スパッタリング装置

株式会社真空デバイス メーカー スパッタ装置一覧

神港精機株式会社 メーカー マルチチャンバスパッタリング装置一覧

株式会社昭和真空 メーカー ロードロック式 スパッタリング装置 SPH-2500T-Ⅱ

株式会社エーティーエー メーカー メタルプラズマコーター

株式会社FKDファクトリ メーカー 研究開発用小型スパッタ装置 FDS/FRS Series

エイ・エス・ディ株式会社 メーカー 粉体スパッタリング装置

大亜真空株式会社 メーカー スパッタ装置

誠南工業株式会社 メーカー スパッタリング装置

株式会社ヒラノK&E メーカー スパッタリング装置

株式会社パスカル メーカー スパッタ装置一覧

東横化学株式会社 メーカー 商社・代理店 スパッタリング装置一覧

株式会社オプトラン メタルモードスパッタリング装置

株式会社シンクロン 誘電体多層膜用ロードロック式スパッタ装置一覧

株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン グランゼバッハ製スパッタ装置

株式会社菅製作所 スパッタ装置一覧

株式会社片桐エンジニアリング 三元マグネトロンスパッタ装置

株式会社愛知真空 平行移動式3元RFスパッタリング装置

株式会社富士アールアンドディー 小型スパッタリング装置

株式会社テクノファイン スパッタ装置

スパッタリング装置 2025年8月のメーカーランキング

枚葉式スパッタ装置 SP-12000M

直線移動式スパッタ装置 SP-35000D

インライン式スパッタ装置 SP-2500R

バレル型スパッタ装置 SP-163000D

DCスパッタ装置 SP-15000D

粉末スパッタ装置

RFスパッタ装置 SP-1500R

対向陰極型マグネトロンスパッタ装置

RFスパッタ装置 SP-3400

超高速枚葉式スパッタ装置 SOLARIS S151

RFスパッタ装置 SP-3500R

超高速枚葉式スパッタ装置 SOLARIS S380

RFスパッタ装置 SP-3600R

縦型スパッタリング装置 LLS EVO II

RFスパッタ装置 SP-11000R

RFスパッタ装置 SP-31000R (1764)

RFスパッタ装置 SP-31000R (2390)

RFスパッタ装置 SP-3300

RFスパッタ装置 SP-3600

マルチスパッタ装置 SP-3300M

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パナソニックプロダクションエンジニアリング株式会社メーカー
スパッタリング装置一式

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テルモセラ・ジャパン薄膜実験装置製品一覧

ジャパンクリエイト株式会社メーカー
スパッタリング装置一覧

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スパッタリング装置ラインナップ

株式会社コメットメーカー
6元コンビナトリアル・マグネトロンスパッタ装置 CMS-6420

株式会社サンバック
【蒸着装置・スパッタ装置・CVD装置・真空乾燥炉・真空熱処理炉・真空溶解炉】

株式会社島津製作所メーカー
高速スパッタリング装置

アリオス株式会社メーカー
スパッタ装置

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低圧RFスパッタ装置

北野精機株式会社メーカー
スパッタリング装置

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神港精機株式会社メーカー
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株式会社昭和真空メーカー
ロードロック式スパッタリング装置 SPH-2500T-Ⅱ

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メタルプラズマコーター

株式会社FKDファクトリメーカー
研究開発用小型スパッタ装置　FDS/FRS Series

エイ・エス・ディ株式会社メーカー
粉体スパッタリング装置

大亜真空株式会社メーカー
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誠南工業株式会社メーカー
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株式会社片桐エンジニアリング
三元マグネトロンスパッタ装置

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株式会社テクノファイン
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