制御・計測・センシング
駆動・機械要素・電子制御部品
産業別カテゴリ
電源・エネルギー・熱処理機器
安全・保護・環境対策
材料・素材・ケミカル
電気・電子部品
構造部品・締結要素
ソフトウェア・ネットワーク
サービス
その他
全てのカテゴリ
閲覧履歴
小型真空ポンプのメーカー17社一覧や企業ランキングを掲載中！小型真空ポンプ関連企業の2025年8月注目ランキングは1位:株式会社日本ピスコ、2位:株式会社スペック・ジャパン、3位:マブチモーターオーケン株式会社となっています。 小型真空ポンプの概要、用途、原理もチェック！
小型真空ポンプ (英: small vacuum pump) とは、密閉容器から空気を排気して、容器内を真空状態にする小型のポンプです。
小型真空ポンプの場合、排気速度は200l/min程度のものが多く、到達圧力は0.1 Paから10Pa程度です。さらに、高真空環境を得るための粗引きポンプとして用いられたり、低真空下で操作可能な各種分析機器や理化学機器に多く使用されたりします。
種類にもさまざまで、油回転ポンプやドライポンプ、ダイアフラムポンプなど、原理や使用条件などに応じて選ぶことができます。
関連キーワード
2025年8月の注目ランキングベスト10
| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | 株式会社日本ピスコ |
25.5%
|
| 2 | 株式会社スペック・ジャパン |
8.5%
|
| 3 | マブチモーターオーケン株式会社 |
8.5%
|
| 4 | 株式会社大阪真空機器製作所 |
8.5%
|
| 5 | 株式会社ニクニ |
6.4%
|
| 6 | 株式会社アンレット |
6.4%
|
| 7 | 佐藤真空株式会社 |
6.4%
|
| 8 | アルバック機工株式会社 |
4.3%
|
| 9 | 柴田科学株式会社 |
4.3%
|
| 10 | フロロメカニック株式会社 |
4.3%
|
項目別
使用用途
#医療機器
#真空搬送
#脱泡装置
#理化学実験
#食品包装
方式
ロータリーベーン型
ターボ分子型
駆動方式
電動モータ駆動型
構造
単段型
多段型
一体型
特徴
高真空型
低騒音型
携帯型
長寿命型
到達真空度 Pa
0 - 10
1,000 - 10,000
排気速度 L/min
10 - 50
50 - 100
100 - 500
500 - 1,000
1,000 - 10,000
消費電力 W
100 - 200
200 - 400
400 - 600
600 - 800
2,000 - 5,000
5,000 - 15,000
電圧 V
100 - 120
120 - 200
200 - 240
240 - 440
重量 kg
10 - 20
20 - 50
50 - 100
100 - 500
500 - 12,000
吸気口径 mm
10 - 20
20 - 30
冷却方式
水冷
44 点の製品がみつかりました
44 点の製品
三弘エマテック株式会社
1220人以上が見ています
最新の閲覧: 2時間前
返信の比較的早い企業
4.5 会社レビュー
100.0% 返答率
23.4時間 返答時間
■製品説明 磁気軸受採用のコントローラ一体型ターボ分子ポンプ。ポンプ本体、コントローラを一体にする事で、省配線、省スペースを実現...
4種類の品番
東京理化器械株式会社
850人以上が見ています
最新の閲覧: 19時間前
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
42.8時間 返答時間
■高性能真空ポンプ、豊富なオプション 逆流防止機構、ガスバラストバルブ、強制給油方式、過電流保護回路、強制空冷方式など、安全面へ...
4種類の品番
東京理化器械株式会社
680人以上が見ています
最新の閲覧: 18時間前
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
42.8時間 返答時間
■高性能真空ポンプ、豊富なオプション 逆流防止機構、ガスバラストバルブ、強制給油方式、過電流保護回路、強制空冷方式など、安全面へ...
5種類の品番
株式会社柳生商会
300人以上が見ています
最新の閲覧: 19時間前
返信の早い企業
4.5 会社レビュー
100.0% 返答率
8.2時間 返答時間
・信頼性・耐久性を重視した高真空タイプの2段式油回転ポンプです。 ・オプションでオイルミストトラップの接続が可能です。 ■強制オイ...
株式会社柳生商会
270人以上が見ています
最新の閲覧: 19時間前
返信の早い企業
4.5 会社レビュー
100.0% 返答率
8.2時間 返答時間
低振動・低騒音です。 ■KF25吸気アダプター ・KF-25の吸気管をM20メスネジに変換するためのアダプターです。 ・KF-25吸気アダプタ...
株式会社柳生商会
320人以上が見ています
最新の閲覧: 19時間前
返信の早い企業
4.5 会社レビュー
100.0% 返答率
8.2時間 返答時間
■特長 ・GCDシリーズはGLDシリーズに特殊表面処理を施した強度の耐食型真空ポンプです。 ・オイルシール・Oリングにはフッ素ゴムを使...
有限会社スコットプランニング
230人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
3.4時間 返答時間
■特長 ・軽量及びコンパクトな1段式真空ポンプ。 ・低振動、低騒音、長寿命。 ・高い信頼性と豊富な実績。 ・排気ミストフィルター搭載...
有限会社スコットプランニング
170人以上が見ています
最新の閲覧: 2時間前
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
3.4時間 返答時間
■特長 ・軽量及びコンパクトな1段式真空ポンプ。 ・低振動、低騒音、長寿命。 ・高い信頼性と豊富な実績。 ・排気ミストフィルター搭載...
有限会社スコットプランニング
140人以上が見ています
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
3.4時間 返答時間
■特長 ・軽量及びコンパクトな1段式真空ポンプ。 ・低振動、低騒音、長寿命。 ・高い信頼性と豊富な実績。 ・排気ミストフィルター搭載...
有限会社スコットプランニング
140人以上が見ています
最新の閲覧: 23時間前
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
3.4時間 返答時間
■特長 ・軽量及びコンパクトな1段式真空ポンプ。 ・低振動、低騒音、長寿命。 ・高い信頼性と豊富な実績。 ・排気ミストフィルター搭載...
有限会社スコットプランニング
140人以上が見ています
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
3.4時間 返答時間
■特長 ・軽量及びコンパクトな1段式真空ポンプ。 ・低振動、低騒音、長寿命。 ・高い信頼性と豊富な実績。 ・排気ミストフィルター搭載...
有限会社スコットプランニング
180人以上が見ています
最新の閲覧: 19時間前
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
3.4時間 返答時間
■特長 ・軽量及びコンパクトな1段式真空ポンプ。 ・低振動、低騒音、長寿命。 ・高い信頼性と豊富な実績。 ・排気ミストフィルター搭載...
有限会社スコットプランニング
160人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
3.4時間 返答時間
■特長 ・軽量及びコンパクトな1段式真空ポンプ。 ・低振動、低騒音、長寿命。 ・高い信頼性と豊富な実績。 ・排気ミストフィルター搭載...
株式会社ウエダ
210人以上が見ています
最新の閲覧: 19時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
17.9時間 返答時間
■世界初 バッテリオートスイッチング機能搭載 ・コードレスで電源不要。電源のない場所での使用に便利。 ・オートスイッチング機能の連...
株式会社ウエダ
150人以上が見ています
最新の閲覧: 19時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
17.9時間 返答時間
■20馬力クラスの大型空調機に ・高い真空度&十分な作業量 各種大型機器の真空引きに ・到達真空度 3Pa ・排気速度 113L/分 ・連続作業時...
株式会社ウエダ
150人以上が見ています
最新の閲覧: 12時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
17.9時間 返答時間
■充電式真空ポンプでは業界初の2ステージ仕様 ・リチウムイオン電池18V9Ah搭載でフル充電 (約100分) で連続使用時間120分 ・ルームエア...
株式会社ウエダ
150人以上が見ています
最新の閲覧: 19時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
17.9時間 返答時間
■業界初 2ステージ仕様充電式真空ポンプ ・フル充電 (約60分) で連続使用時間50分 ・直流ブラシレスモーター搭載 ■付属品 ・専用バッテ...
株式会社ウエダ
170人以上が見ています
最新の閲覧: 19時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
17.9時間 返答時間
■ルームエアコン取付け工事に最適 ・大人気小型マイクロ真空ポンプに待望のデジタルゲージ仕様が登場。 ・電磁弁式真空ポンプオイル逆流...
株式会社ウエダ
160人以上が見ています
最新の閲覧: 19時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
17.9時間 返答時間
■ルームエアコンの取付け工事に ・大人気のハイブリッド式マイクロ真空ポンプに待望のデジタルゲージ仕様が登場 ・100V電源でも充電式 (...
株式会社越路商会
30人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信の比較的早い企業
4.0 会社レビュー
100.0% 返答率
19.2時間 返答時間
機能・オプションも充実したスタンダードタイプ。幅広い用途に使用できる耐久性にすぐれた小型二段式真空ポンプです。ガスバラスト弁が...
三弘エマテック株式会社
40人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信の比較的早い企業
4.5 会社レビュー
100.0% 返答率
23.4時間 返答時間
■製品説明 ・分析機器向け超静音で油漏れしない油回転真空ポンプです。 ・電源はAC Motor 1Φ100 ～ 120 / 200 ～ 240Vを準備しています...
三弘エマテック株式会社
20人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信の比較的早い企業
4.5 会社レビュー
100.0% 返答率
23.4時間 返答時間
■製品説明 ・分析機器向け超静音で油漏れしない油回転真空ポンプです。 ・電源はAC Motor 1Φ100 ～ 120 / 200 ～ 240Vを準備しています...
神田機工株式会社
20人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
同クラス最軽量、小型化を現実。真空ポンプ1.8CFM Eco。ルームエアコンからパッケージエアコンの5HP程度まで ■特長 ・小型～5HPクラス...
神田機工株式会社
10人以上が見ています
あらゆる機器に対応できる世界最高レベルの超高性能モデル ■特長 ・小型～7HPクラスの冷凍空調システムの真空引きに。 ・高真空2ステー...
神田機工株式会社
20人以上が見ています
あらゆる機器に対応できる世界最高レベルの超高性能モデル ■特長 ・小型～20HPクラスの冷凍空調システムの真空引きに。 ・高真空2ステ...
神田機工株式会社
10人以上が見ています
あらゆる機器に対応できる世界最高レベルの超高性能モデル ■特長 ・小型～30HPクラスの冷凍空調システムの真空引きに。 ・高真空2ステ...
神田機工株式会社
10人以上が見ています
構成潤滑ポンプ内蔵でオイル切れによるポンプ故障を防止 ダブルコンデンサ採用で低温時の始動性が大幅アップ。小型～45HPクラスの冷凍...
神田機工株式会社
10人以上が見ています
大型冷凍機、大規模空調システムに最適。高効率真空引きシステムにより、メンテナンス作業の省力化に大きく貢献。真空引き時間を最大92%...
神田機工株式会社
10人以上が見ています
■特長 ・大人気のハイブリッド式マイクロ真空ポンプに待望のデジタルゲージ仕様が登場。 ・100V電源と充電式 (電動) ドライバーの両方で...
神田機工株式会社
20人以上が見ています
■特長 ・大人気小型マイクロ真空ポンプに待望のデジタルゲージ仕様が登場。 ・電磁弁式真空ポンプオイル逆流防止器付。 ・ルームエアコ...
神田機工株式会社
30人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
■特長 ・液晶デジタルゲージを搭載したモデルチェンジ版 ・液晶デジタル真空計を装備、真空度の計測から漏れ検査までこのポンプ一台で可...
小型真空ポンプ (英: small vacuum pump) とは、密閉容器から空気を排気して、容器内を真空状態にする小型のポンプです。
小型真空ポンプの場合、排気速度は200l/min程度のものが多く、到達圧力は0.1 Paから10Pa程度です。さらに、高真空環境を得るための粗引きポンプとして用いられたり、低真空下で操作可能な各種分析機器や理化学機器に多く使用されたりします。
種類にもさまざまで、油回転ポンプやドライポンプ、ダイアフラムポンプなど、原理や使用条件などに応じて選ぶことができます。
小型真空ポンプは、0.1 Pa程度の真空度や、さらに高真空環境を必要とする分析機器や実験装置に使用されます。例えば、電子顕微鏡やX線分析、質量分析装置、ガスクロマトグラフィーなどでは真空環境を必要とするため、小型真空ポンプが最適です。
また、半導体製造の場合、スパッタや真空蒸着、CVD (化学気相成長) などにより薄膜形成するために、真空環境が必要になります。その他、食品加工では、真空包装や真空パックなどを行う際に、小型真空ポンプが活用されます。
小型真空ポンプの分類法は、排気方法による分類、圧力領域による分類、油を用いるか用いないかの分類などがあります。
真空ポンプの排気方法による分類には、気体輸送式真空ポンプと気体溜め込み式真空ポンプがあります。気体輸送式真空ポンプは、空気を吸気側から排気側へ輸送する方式です。
また、気体溜め込み式真空ポンプは、排気する空気をポンプ内に溜めこみ、溜まった空気を別の真空ポンプで排気する方式です。
1台の真空ポンプで、大気圧から高真空までカバーするのは不可能です。通常は、高真空用の主ポンプの他に、補助ポンプ又は粗引きポンプを併用します。
真空ポンプには、油を使用しないドライ真空ポンプと、油を使用するウェット真空ポンプがあります。油を使用するポンプで作られた真空領域には、ポンプ自体で発生した油の蒸気や水蒸気が含まれています。
特に微細なコントロールが必要な半導体の製造工程では、ドライ真空ポンプが必要です。また、油を嫌う食品や医薬品の製造でもドライ式が使われます。
各種真空ポンプの中で、排気量、到達圧力、価格などの面から、多く使用されるのは、油回転真空ポンプです。このタイプはポンプタイプにより多くの種類があり、ロータリー型と呼ばれます。
オイルはベアリングの潤滑や、シリンダ内のシール性を高めるために機能します。ロータリー型油回転真空ポンプには、回転翼形、カム形、揺動ピストン形などの種類があります。0.1Pa程度の中真空が容易に得られるポンプです。
回転翼形油回転真空ポンプ
回転翼形は、内部のシリンダに組み込まれたロータにベーンが取り付けられた構造です。ベーンによって分割された小部屋の気体がローターの回転とともに排出されることにより、減圧が進みます。
カム形油回転真空ポンプ
カム形は、円筒形ステータの中心に設置された偏芯ローターの一部がステータと接触しながら回転します。ステータとローターの隙間空間にある気体が排出されて減圧します。
揺動ピストン形油回転真空ポンプ
揺動ピストン形は、偏心ローターの回転によってピストンが上下運動を行います。シリンダ内部の空気がピストンにより圧縮・排出されることで減圧します。
ドライポンプは、油や液体を使用しない非接触型のクリーンな真空ポンプです。ポンプタイプにより、多くの種類があります。
ルーツ形ドライ真空ポンプ
ルーツ形のロータを使用したポンプです。冷却水不要で利便性が高い特徴があります。
スクロール形ドライ真空ポンプ
スクロールが旋回運動し、外側から内側へ空気を圧縮・排出することで真空状態を作り出す構造です。コンパクトで、高真空・低振動・低騒音・省エネなどの長所があります。
クロー形ドライ真空ポンプ
爪の形をした2本のクローローターが、互いに逆方向に回転することにより、真空を作ります。
ダイアフラム形ドライ真空ポンプ
ポンプシャフトと呼ばれるピストンが往復運動することにより、ダイアフラムを上下させ、空気を吸入、排出します。
その他
回転翼型や揺動ピストン型などがあります。油回転ポンプと類似の構造の真空ポンプです。
参考文献
https://www.ulvac-es.co.jp/categories/vacuum-pump/small-vacuum-pump/
https://www.ulvac-es.co.jp/component-guide/selection/vacuum-pump/small-oil-rotary-pump/
http://www.mekatoro.net/mechatro_parts/vol3/pdf/P01-235.html
