メーカー 59社
製品 38点

エッチング装置
メーカー59社【2025年】

エッチング装置についての概要、用途、原理などをご説明します。また、エッチング装置のメーカー59社一覧や企業ランキングも掲載しております。エッチング装置関連企業の2025年2月注目ランキングは1位:新明和工業株式会社、2位:株式会社フジ機工、3位:芝浦メカトロニクス株式会社となっています。

エッチング装置とは？
エッチング装置のメーカー59社
エッチング装置38製品

エッチング装置とは

エッチング装置

エッチング装置とは、半導体などの製造工程であるエッチング加工に利用される装置です。

エッチング加工は、加工対象の表面を切削または溶解させて加工する技術を指します。エッチング装置では、半導体ウェハ上に形成した薄膜などにエッチング加工を行い、CPUなどの電子デバイス製造に必要不可欠な装置です。

近年の電子デバイスの高機能化に伴い、エッチングはより微細な加工が求められています。工程も複雑化しており、1つの電子部品を製造するためにエッチング装置を複数台使用されることも多くあります。

エッチング装置の使用用途

エッチング装置は電子デバイスの製造に欠かせない装置です。具体的な使用用途は、以下の通りです。

PC用CPUなどの集積回路
プリント基板
液晶ディスプレイパネル
プラズマディスプレイパネル

これらの製造には、フォトリソグラフィが利用されています。フォトリソグラフィとは、感光性物質を塗布した上から光を当てて物体表面を加工する技術で、エッチングはフォトリソグラフィの一工程です。

エッチング工程では、ウェハ上の酸化膜にレジストがコーティングされている部分は残り、レジストがない部分がはがれ落ちます。凹凸ができ、パターンが形成されています。

エッチング装置の原理

エッチング装置は、ウェットエッチングとドライエッチングの2種類に分類されます。

1. ウェットエッチング

酸もしくはアルカリ薬液を使用して酸化膜を溶かす加工です。一度に多くの枚数の処理が可能で、生産の品質が安定しています。

薬液が比較的安価なので、安価に製造可能です。ただし、エッチングの方向が一方向に進むため、垂直方向の加工ができない方法です。1μm程度の加工が限界となります。

2. ドライエッチング

ドライエッチングは薬液を使用しないエッチング加工です。ドライエッチングの中では、プラズマエッチングが最も広く利用されています。真空下でガスを高電圧でプラズマ化する方法です。

プラズマ化の方法から誘電結合型とマイクロ波型などがあり、いずれも高周波電源を使用します。生成したプラズマで対象物表面を削る方法で、ウェットエッチングよりも高価なのが特徴です。ただし、100nm～1000nmといった微細な溝の加工が可能です。

プラズマエッチングの他にはイオン衝突によるイオンエッチングやガスを利用するガスエッチングなどがあります。いずれも真空装置が必要です。

エッチング装置のその他情報

1. エッチング装置の市場とシェア

世界の電子機器市場は拡大し続けており、それを支える半導体産業の重要性はますます高まっています。半導体の世界市場は、リーマンショックなどの不況を経験しながらも拡大傾向です。

近年、記憶媒体を3D構造とすることでさらに微細化する技術の開発が盛んです。そのため、3D化へのコア技術としてエッチング装置はさらに重要性を増しています。

エッチング装置消費の市場規模は2018年で13,893億円です。消費地域別シェアは韓国(28%)、中国(19%)、日本(19%)、台湾(14%)、米国(10%)となっています。また、ベンダ国籍別シェアは2018年は米国(64%)、日本(32%)です。2018年時点では米国と日本の企業で寡占化しています。

参考: 令和元年度安全保障貿易管理対策事業

2. ドライエッチング装置と3次元NAND市場

ドライエッチングは微細加工を行う技術の一つですが、加工する材料に応じて多くの装置が販売されています。ただし、シリコン用やメタル配線用など、主に半導体や金属を対象とする装置が主流です。通常の半導体工場では絶縁膜ドライエッチング装置が高比率です。

2015年以降これまで半導体製造装置の中で最大の市場であった露光装置の規模を超えて、ドライエッチング装置の市場規模が最大となりました。2017年には、ドライエッチング装置の市場規模は107億米ドルでした。

ドライエッチング装置の市場規模が急拡大している理由は、メモリの3次元構造化によるものです。微細化が進むにつれドライエッチング工程の増大し、フラッシュメモリは3次元構造が開発されるようになりました。

3次元NANDフラッシュメモリのセル形成にはさまざまな加工が必要です。特にチャネルホールの深孔加工が難しく、長時間のエッチング処理が必要となります。半導体メモリ工場では時間当たりの処理枚数が重要です。そのため、ドライエッチング装置の設置台数を増やすことで処理能力を確保します。

参考: EE Times Japan

参考文献
https://www.hitachi-hightech.com/jp/products/device/semiconductor/etch.html
https://www.samco.co.jp/company/primer/2011/03/post_5.php
https://eetimes.jp/ee/articles/1809/19/news007_2.html
https://www.meti.go.jp/meti_lib/report/2019FY/000182.pdf
https://eetimes.jp/ee/articles/1809/19/news007.html

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エッチング装置メーカー 59社

*一部商社などの取扱い企業なども含みます。

イオンエッチング装置/薬液レスの除膜注目製品
新明和工業株式会社

・独自のイオンエッチング技術により切削工具や金型、各種部品のコーティング除膜が可能
・薬液レスのドライ手法で廃液レス
・微細バリの除去、先端形状の修正（先鋭化）も可能

【エッチング装置】高温リン酸エッチング装置　SC300-HT series/豊富な実績あり注目製品
芝浦メカトロニクス株式会社

・高温リン酸装置を用いた窒化膜（Si3N4膜）のエッチング装置
・独自の薬液濃度・温度制御方式で160度以上を維持
・ゾーン制御式ウェーハ近接ヒーターにより高精度な均一性を実現
・エッチング後の洗浄も装置内に搭載
・先端ロジックデバイスに豊富な実績
・信頼性と歩留まり向上に貢献

エッチングマシン　YCE-500WA 注目製品
株式会社山縣機械

・当社独自のノズル配置とオシレーション機構により高精度にムラなくエッチング可能
・酸、アルカリの両エッチャントに対応
・研究内容に合わせた仕様設計

- - 新明和工業株式会社メーカー
    イオンエッチング装置
  - 会社サイト上場(東証プライム) 創業: 1949年従業員数: 3,264人資本金: 15,981,967,991円会社詳細
  - 住所: 兵庫県宝塚市新明和町1-1
- サンプル作成可能デモ機あり
  
  蒸着またはスパッタ+プラズマ重合装置やダイヤモンドコーティング装置、イオンエッチング装置など、トップシェアの製品からオンリーワンの技術まで様々な真空技術をご提案致します。
- - 芝浦メカトロニクス株式会社メーカー
    高温リン酸エッチング装置　SC300-HT series
  - 会社サイト上場(東証プライム) 創業: 1939年従業員数: 1,211人資本金: 6,761,000,000円会社詳細
  - 住所: 神奈川県横浜市栄区笠間2-5-1
- 環境配慮機能搭載先端メモリデバイス Finfet構造
  
  半導体・FPD製造装置の前後工程を手掛ける企業です。高い技術力・独自性を持つグローバルニッチトップ製品を中心に豊富な実績を有し、コア技術を強みに製品開発から保守サービスまでトータルサポートします。
- - 株式会社山縣機械メーカー
    現像・エッチング・剥離・表面処理
  - 会社サイト創業: 1928年資本金: 10,000,000円会社詳細
  - 住所: 大阪府大阪市東成区神路1-4-4
- テスト可能デモ機あり
  
  長年の経験によるノウハウにより、研究内容に合わせた装置製作が可能です。
  オーダー設計からアフターフォローまで万全の体制をとっております。
- - 芝浦エレテック株式会社メーカー
    エッチング装置一覧
  - 会社サイト創業: 1972年従業員数: 223人会社詳細
  - 住所: 神奈川県横浜市栄区笠間二丁目5番1号
- - 神港精機株式会社メーカー
    プラズマ処理装置一覧
  - 会社サイト創業: 1949年従業員数: 194人資本金: 375,000,000円会社詳細
  - 住所: 兵庫県神戸市西区高塚台3丁目1番35号
- - 株式会社栗田製作所メーカー
    DLC成膜装置一覧
  - 会社サイト創業: 1940年会社詳細
  - 住所: 東京都墨田区緑1丁目13番2号
- - 株式会社昭和真空メーカー
    スパッタリング装置一覧
  - 会社サイト上場(東証スタンダード) 創業: 1953年従業員数: 197人会社詳細
  - 住所: 神奈川県相模原市中央区田名3062-10
- - 株式会社日立ハイテクサイエンスメーカー
    エッチング装置
  - 会社サイト創業: 2000年従業員数: 671人資本金: 100,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都港区虎ノ門一丁目17番1号虎ノ門ヒルズビジネスタワー
- - 株式会社大阪真空機器製作所メーカー
    スパッタリング装置一覧
  - 会社サイト創業: 1950年従業員数: 200人資本金: 348,060,000円会社詳細
  - 住所: 大阪府大阪市中央区今橋3丁目3番13号ニッセイ淀屋橋イースト 12F
- - 株式会社ケミトロニクスメーカー
    エッチング装置
  - 会社サイト創業: 1981年会社詳細
  - 住所: 東京都東大和市立野2丁目14番地9
- - 住友精密工業株式会社メーカー
    エッチング装置
  - 会社サイト上場(東証スタンダード) 創業: 1961年従業員数: 1,096人会社詳細
  - 住所: 兵庫県尼崎市扶桑町1番10号
- - メイワフォーシス株式会社メーカー
    ソフトプラズマエッチング装置
  - 会社サイト創業: 1968年従業員数: 34人資本金: 50,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都新宿区新宿1-14-2KI御苑前ビル
- - ミヤ通信工業株式会社メーカー
    プラズマエッチング装置
  - 会社サイト創業: 1969年従業員数: 116人会社詳細
  - 住所: 山梨県上野原市上野原8154-36
- - ミクロ技研株式会社メーカー
    エッチング
  - 会社サイト創業: 1976年従業員数: 118人資本金: 90,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都中央区日本橋兜町15番12号兜町MOCビル
- - パナソニック株式会社メーカー
    プラズマクリーナー PSX307A
  - 会社サイト上場(東証プライム) 創業: 1918年従業員数: 90,000人会社詳細
  - 住所: 東京都港区東新橋1-5-1パナソニック東京汐留ビル
- - サムコ株式会社メーカー
    ドライエッチング装置
  - 会社サイト上場(東証プライム) 創業: 1979年従業員数: 173人資本金: 1,663,687,000円会社詳細
  - 住所: 京都府京都市伏見区竹田藁屋町36番地
- - 株式会社日立ハイテクネクサスメーカー商社・代理店
    エッチング装置
  - 会社サイト創業: 1972年従業員数: 212人会社詳細
  - 住所: 東京都港区虎ノ門一丁目17番1号虎ノ門ヒルズビジネスタワー
- - 株式会社日立ハイテクソリューションズメーカー商社・代理店
    コンダクターエッチング装置
  - 会社サイト創業: 1987年従業員数: 693人資本金: 400,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都港区虎ノ門一丁目17番1号虎ノ門ヒルズビジネスタワー
- - 株式会社日立ハイテクメーカー商社・代理店
    コンダクターエッチング装置 9000シリーズ / M-8000シリーズ / M-600/6000シリーズ
  - 会社サイト創業: 1947年従業員数: 11,903人資本金: 793,848,525円会社詳細
  - 住所: 東京都港区虎ノ門一丁目17番1号虎ノ門ヒルズビジネスタワー
- - 進和工業株式会社
    エッチング装置
  - 会社サイト会社詳細
  - 住所: 兵庫県伊丹市森本8丁目24番地2
- - 誠南工業株式会社
    エッチング装置
  - 会社サイト創業: 1948年従業員数: 25人資本金: 24,000,000円会社詳細
  - 住所: 大阪府大阪市住之江区北加賀屋4丁目3番24号
- - 株式会社電子技研
    エッチング装置
  - 会社サイト創業: 1999年資本金: 23,600,000円会社詳細
  - 住所: 大阪府守口市八雲中町2-10-10
- - 株式会社菅製作所
    スパッタ装置一覧
  - 会社サイト創業: 1946年従業員数: 32人資本金: 34,000,000円会社詳細
  - 住所: 北海道北斗市追分3-2-2
- - 株式会社日立ハイテクマニファクチャ&サービス
    エッチング装置製造
  - 会社サイト創業: 2004年従業員数: 1,535人資本金: 230,000,000円会社詳細
  - 住所: 茨城県ひたちなか市市毛1040番地
- - 株式会社天谷製作所
    CVD装置一覧
  - 会社サイト創業: 1975年従業員数: 73人会社詳細
  - 住所: 埼玉県越谷市西方3149-1
- - 株式会社マツケン
    エッチング装置
  - 会社サイト創業: 52年従業員数: 26人資本金: 20,000,000円会社詳細
  - 住所: 大阪府大阪市中央区備後町3丁目2-15 モレスコ本町ビル
- - 株式会社フジ機工
    エッチング装置
  - 会社サイト創業: 1970年資本金: 43,000,000円会社詳細
  - 住所: 埼玉県川口市領家3丁目24番11号
- - 株式会社フォアサイト
    エッチング装置
  - 会社サイト創業: 2001年従業員数: 4人資本金: 45,600,000円会社詳細
  - 住所: 東京都文京区大塚3-5-2 佑和ビル4F
- - 株式会社フェローテックマテリアルテクノロジーズ
    エッチング装置
  - 会社サイト創業: 1989年従業員数: 350人資本金: 485,500,000円会社詳細
  - 住所: 東京都中央区日本橋2-3-4日本橋プラザビル
- - 株式会社パスカル
    成膜装置一覧
  - 会社サイト創業: 1986年会社詳細
  - 住所: 大阪府大阪市阿倍野区昭和町1丁目16番4号

エッチング装置 2025年2月のメーカーランキング

*一部商社などの取扱い企業なども含みます

2025年2月の注目ランキングベスト10

順位	会社名	クリックシェア
1	新明和工業株式会社	6.7%
2	株式会社フジ機工	4.2%
3	芝浦メカトロニクス株式会社	3.9%
4	株式会社日立ハイテクサイエンス	3.5%
5	株式会社山縣機械	3.2%
6	ミヤ通信工業株式会社	3.2%
7	誠南工業株式会社	2.8%
8	株式会社NSCエンジニアリング	2.5%
9	株式会社ケミトロニクス	2.5%
10	株式会社日立ハイテクネクサス	2.1%