独自のスパッタカソードを搭載 多元スパッタリング装置 ジャパンクリエイト株式会社
この製品について
■特徴
・当社独自のスパッタカソードを搭載 ・基板ステージに3軸機構 (昇降、公転、自転) を搭載し、均一な膜厚分布を実現 ・当社独自の急速昇降温基板加熱機構を搭載し、基板温度900℃を実現 ・最大4台のスパッタカソードを搭載し、金属膜、酸化膜等の積層成膜が可能 ・トレイ搬送にも対応 ・CVD室、蒸着室、プラズマクリーニング室等の組み合わせも対応可■用途
・半導体 ・MEMS ・電子部品 ・光学部品 ・車載部品-
シリーズ
独自のスパッタカソードを搭載 多元スパッタリング装置
-
取扱企業
ジャパンクリエイト株式会社
スパッタリング装置注目ランキング
スパッタリング装置の製品35点中、注目ランキング上位6点
電話番号不要
何社からも電話がかかってくる心配はありません
まとめて見積もり
複数社に何度も同じ内容を記入する必要はありません
返答率96%以上
96%以上の方がメーカーから返答を受け取っています
独自のスパッタカソードを搭載 多元スパッタリング装置 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 基板サイズ | スパッタカソード | スパッタ電源 | プロセスガス | 基板ステージ | 真空排気 | 圧力制御 | 制御操作 | データロギング | 基板搬送 | オプション |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
多元スパッタリング装置 |
要見積もり | 最大φ12インチ | マグネトロン方式、ターゲットシャッタ | RFまたはDC | Ar、O2、N2、他 |
基板加熱：700℃ (基板表面) 自転：30rpm 公転：10rpm 昇降：50mmst |
構成1：TMP+DP 構成2：CP+DP |
APC制御 |
制御：PLC 操作：タッチパネルまたはPC |
外部メモリまたはPC | 真空搬送ロボット | 基板加熱900℃、基板バイアス (RFまたはDC) 、基板冷却 (低温成膜) 、ムービングマグネット、磁性材ターゲット用カソード、発光分析システム、トレイ搬送、Q-MASS etc |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
この商品を見た方はこんな商品もチェックしています
スパッタリング装置の製品をもっと見る
ジャパンクリエイト株式会社のその他の取り扱い製品
ジャパンクリエイトの製品をもっと見る
