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真空モーターのメーカー5社一覧や企業ランキングを掲載中！ 真空モーターの概要、用途、原理もチェック！
真空モーターとは、真空環境下で動作するように特別に設計されたモーターです。
一般的なモーターとは異なり、真空特有の課題を解決するための工夫が施されています。主な問題は熱とガスです。真空中には熱を伝える空気がほとんど存在しないため、モーター自身が発生した熱が逃げにくくなります。そのため熱伝導率の高い素材を使用するなど、放熱性を高める設計がなされています。
もう一つの問題は、モーターの部品から放出される微量なガスです。一般的なモーターの部品に使われている樹脂や潤滑油などから真空中でガスが発生します。このガスは半導体の製造工程などでは汚染源となります。この問題を防ぐため、ガスの発生が極めて少ない特殊な材料や、真空専用の蒸発しにくい潤滑剤が真空モーターに使用されます。
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真空モーターとは、真空環境下で動作するように特別に設計されたモーターです。
一般的なモーターとは異なり、真空特有の課題を解決するための工夫が施されています。主な問題は熱とガスです。真空中には熱を伝える空気がほとんど存在しないため、モーター自身が発生した熱が逃げにくくなります。そのため熱伝導率の高い素材を使用するなど、放熱性を高める設計がなされています。
もう一つの問題は、モーターの部品から放出される微量なガスです。一般的なモーターの部品に使われている樹脂や潤滑油などから真空中でガスが発生します。このガスは半導体の製造工程などでは汚染源となります。この問題を防ぐため、ガスの発生が極めて少ない特殊な材料や、真空専用の蒸発しにくい潤滑剤が真空モーターに使用されます。
真空モーターは以下のような用途で使用されます。
半導体やディスプレイ製造工程では、真空環境が不可欠です。微細な電子回路を形成する過程で、空気中の塵や不純物は製品の致命的な欠陥につながります。そのため製造の大部分は、真空チャンバーと呼ばれる密閉容器の中で行います。真空モーターは、このチャンバー内でシリコンウエハーを搬送するロボットアームや、精密な位置決めを行うステージの駆動源として使用されます。
電子顕微鏡や質量分析装置など、高度な科学分析機器でも真空モーターは重要な役割を担います。これらの装置は、電子線やイオンビームを試料に照射して分析を行いますが、空気分子があるとビームが散乱してしまい、正確な測定ができません。したがって装置内部は高真空に保たれています。真空モーターは、高真空の環境下で観察したい試料を動かすために用いられます。
地上から遠く離れた宇宙空間は究極の真空環境です。人工衛星や宇宙探査機といった宇宙機は、この極限環境で長期間にわたり確実に機能し続けなければなりません。真空モーターは、搭載された観測カメラやセンサーを観察対象の天体に向けるなどの目的で使用されます。
