制御・計測・センシング
駆動・機械要素・電子制御部品
産業別カテゴリ
電源・エネルギー・熱処理機器
安全・保護・環境対策
材料・素材・ケミカル
電気・電子部品
構造部品・締結要素
ソフトウェア・ネットワーク
サービス
その他
全てのカテゴリ
閲覧履歴
小型真空ポンプのメーカー17社一覧や企業ランキングを掲載中！小型真空ポンプ関連企業の2025年8月注目ランキングは1位:株式会社日本ピスコ、2位:株式会社スペック・ジャパン、3位:マブチモーターオーケン株式会社となっています。 小型真空ポンプの概要、用途、原理もチェック！
小型真空ポンプ (英: small vacuum pump) とは、密閉容器から空気を排気して、容器内を真空状態にする小型のポンプです。
小型真空ポンプの場合、排気速度は200l/min程度のものが多く、到達圧力は0.1 Paから10Pa程度です。さらに、高真空環境を得るための粗引きポンプとして用いられたり、低真空下で操作可能な各種分析機器や理化学機器に多く使用されたりします。
種類にもさまざまで、油回転ポンプやドライポンプ、ダイアフラムポンプなど、原理や使用条件などに応じて選ぶことができます。
関連キーワード
2025年8月の注目ランキングベスト10
| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | 株式会社日本ピスコ |
25.5%
|
| 2 | 株式会社スペック・ジャパン |
8.5%
|
| 3 | マブチモーターオーケン株式会社 |
8.5%
|
| 4 | 株式会社大阪真空機器製作所 |
8.5%
|
| 5 | 株式会社ニクニ |
6.4%
|
| 6 | 株式会社アンレット |
6.4%
|
| 7 | 佐藤真空株式会社 |
6.4%
|
| 8 | アルバック機工株式会社 |
4.3%
|
| 9 | 柴田科学株式会社 |
4.3%
|
| 10 | フロロメカニック株式会社 |
4.3%
|
15 点の製品がみつかりました
15 点の製品
UNI-CROWN CO., LTD.
450人以上が見ています
最新の閲覧: 6時間前
商品特点 小型、軽量、完全なオイルフリー操作、汚染なし 商品応用 カッピング機、製版機、ドラッグデリバリー、皮膚剥離手術、吸引装...
株式会社イワキ
560人以上が見ています
最新の閲覧: 11時間前
返信の早い企業
4.5 会社レビュー
100.0% 返答率
6.7時間 返答時間
■気液混合移送用エアーポンプ 特殊なバルブ・ダイヤフラムの採用で、送気/吸気はもちろん、液体混入エアーの移送も可能です。呼び水不用...
株式会社イワキ
520人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信の早い企業
4.5 会社レビュー
100.0% 返答率
6.7時間 返答時間
■小型・軽量・低騒音設計 モータを使用しない電磁駆動式で小型で軽量。しかも吸込・吐出の通気音を抑えた低騒音設計です。 ■優れた耐久...
2種類の品番
株式会社イワキ
550人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信の早い企業
4.5 会社レビュー
100.0% 返答率
6.7時間 返答時間
■特長 ・クリーンな加圧・減圧 オイルレスのロッキングピストン式のため、油・カーボンなどを含まないクリーンな加圧・減圧が可能です。...
2種類の品番
株式会社ケー・エヌ・エフ・ジャパン
510人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
0.6時間 返答時間
■特長 ・オイルフリーによるクリーンな運転 ・腐食性の強いガスにも対応 ・極めて小型・軽量 ■推奨アプリケーション ・ガス分析 ・コン...
株式会社ケー・エヌ・エフ・ジャパン
630人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
0.6時間 返答時間
■特長 ・オイルフリーによるクリーンな運転 ・腐食性の強いガスにも対応 ・極めて小型・軽量 ・調整ノブにより排気速度を変更可能 ■推...
株式会社ケー・エヌ・エフ・ジャパン
720人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
0.6時間 返答時間
標準で防爆仕様・可燃性ガス（水素、メタンほか）の移送が可能 メタネーション用途にもおすすめです！ ■特長 ・オイルフリーによるクリ...
株式会社ケー・エヌ・エフ・ジャパン
760人以上が見ています
最新の閲覧: 18時間前
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
0.6時間 返答時間
■特長 ・オイルフリーによるクリーンな運転 ・腐食性の強いガスにも対応 ・極めて小型、軽量 ・サーマルスイッチ、ヒューズ内蔵 ■推奨...
株式会社柳生商会
280人以上が見ています
最新の閲覧: 19時間前
返信の早い企業
4.5 会社レビュー
100.0% 返答率
8.2時間 返答時間
■特長 ・ゲージ・継手を標準装備しているオールインワン設計で真空デシケーターと容易に接続できます。 ・真空ポンプはオイルフリーで排...
株式会社柳生商会
270人以上が見ています
最新の閲覧: 19時間前
返信の早い企業
4.5 会社レビュー
100.0% 返答率
8.2時間 返答時間
■特長 ・オイルフリー・コンタミフリーで、取り扱う気体を汚しません。 ・CEマークを所有しています。
株式会社越路商会
40人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信の比較的早い企業
4.0 会社レビュー
100.0% 返答率
19.2時間 返答時間
コンパクト設計・ハンドル付きで持ち運びに便利です。クリーンなオイルフリーのドライエアーポンプです。1台で吸引と加圧ができます。様...
株式会社越路商会
40人以上が見ています
返信の比較的早い企業
4.0 会社レビュー
100.0% 返答率
19.2時間 返答時間
ダイアフラムドライポンプを内蔵した乾式アスピレーターです。水道のないところでも使用できます。エバポレーター・減圧ろ過・脱泡等真...
株式会社越路商会
50人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信の比較的早い企業
4.0 会社レビュー
100.0% 返答率
19.2時間 返答時間
加圧・減圧両用のドライポンプ。吸引と加圧両方が可能なマルチタイプの真空ポンプです。オイルフリーのダイアフラム式を採用しています...
小型真空ポンプ (英: small vacuum pump) とは、密閉容器から空気を排気して、容器内を真空状態にする小型のポンプです。
小型真空ポンプの場合、排気速度は200l/min程度のものが多く、到達圧力は0.1 Paから10Pa程度です。さらに、高真空環境を得るための粗引きポンプとして用いられたり、低真空下で操作可能な各種分析機器や理化学機器に多く使用されたりします。
種類にもさまざまで、油回転ポンプやドライポンプ、ダイアフラムポンプなど、原理や使用条件などに応じて選ぶことができます。
小型真空ポンプは、0.1 Pa程度の真空度や、さらに高真空環境を必要とする分析機器や実験装置に使用されます。例えば、電子顕微鏡やX線分析、質量分析装置、ガスクロマトグラフィーなどでは真空環境を必要とするため、小型真空ポンプが最適です。
また、半導体製造の場合、スパッタや真空蒸着、CVD (化学気相成長) などにより薄膜形成するために、真空環境が必要になります。その他、食品加工では、真空包装や真空パックなどを行う際に、小型真空ポンプが活用されます。
小型真空ポンプの分類法は、排気方法による分類、圧力領域による分類、油を用いるか用いないかの分類などがあります。
真空ポンプの排気方法による分類には、気体輸送式真空ポンプと気体溜め込み式真空ポンプがあります。気体輸送式真空ポンプは、空気を吸気側から排気側へ輸送する方式です。
また、気体溜め込み式真空ポンプは、排気する空気をポンプ内に溜めこみ、溜まった空気を別の真空ポンプで排気する方式です。
1台の真空ポンプで、大気圧から高真空までカバーするのは不可能です。通常は、高真空用の主ポンプの他に、補助ポンプ又は粗引きポンプを併用します。
真空ポンプには、油を使用しないドライ真空ポンプと、油を使用するウェット真空ポンプがあります。油を使用するポンプで作られた真空領域には、ポンプ自体で発生した油の蒸気や水蒸気が含まれています。
特に微細なコントロールが必要な半導体の製造工程では、ドライ真空ポンプが必要です。また、油を嫌う食品や医薬品の製造でもドライ式が使われます。
各種真空ポンプの中で、排気量、到達圧力、価格などの面から、多く使用されるのは、油回転真空ポンプです。このタイプはポンプタイプにより多くの種類があり、ロータリー型と呼ばれます。
オイルはベアリングの潤滑や、シリンダ内のシール性を高めるために機能します。ロータリー型油回転真空ポンプには、回転翼形、カム形、揺動ピストン形などの種類があります。0.1Pa程度の中真空が容易に得られるポンプです。
回転翼形油回転真空ポンプ
回転翼形は、内部のシリンダに組み込まれたロータにベーンが取り付けられた構造です。ベーンによって分割された小部屋の気体がローターの回転とともに排出されることにより、減圧が進みます。
カム形油回転真空ポンプ
カム形は、円筒形ステータの中心に設置された偏芯ローターの一部がステータと接触しながら回転します。ステータとローターの隙間空間にある気体が排出されて減圧します。
揺動ピストン形油回転真空ポンプ
揺動ピストン形は、偏心ローターの回転によってピストンが上下運動を行います。シリンダ内部の空気がピストンにより圧縮・排出されることで減圧します。
ドライポンプは、油や液体を使用しない非接触型のクリーンな真空ポンプです。ポンプタイプにより、多くの種類があります。
ルーツ形ドライ真空ポンプ
ルーツ形のロータを使用したポンプです。冷却水不要で利便性が高い特徴があります。
スクロール形ドライ真空ポンプ
スクロールが旋回運動し、外側から内側へ空気を圧縮・排出することで真空状態を作り出す構造です。コンパクトで、高真空・低振動・低騒音・省エネなどの長所があります。
クロー形ドライ真空ポンプ
爪の形をした2本のクローローターが、互いに逆方向に回転することにより、真空を作ります。
ダイアフラム形ドライ真空ポンプ
ポンプシャフトと呼ばれるピストンが往復運動することにより、ダイアフラムを上下させ、空気を吸入、排出します。
その他
回転翼型や揺動ピストン型などがあります。油回転ポンプと類似の構造の真空ポンプです。
参考文献
https://www.ulvac-es.co.jp/categories/vacuum-pump/small-vacuum-pump/
https://www.ulvac-es.co.jp/component-guide/selection/vacuum-pump/small-oil-rotary-pump/
http://www.mekatoro.net/mechatro_parts/vol3/pdf/P01-235.html
