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ピエゾステージのメーカー18社一覧や企業ランキングを掲載中!ピエゾステージ関連企業の2025年6月注目ランキングは1位:株式会社フィジックステクノロジー、2位:フォトニックインストゥルメンツ株式会社、3位:THKプレシジョン株式会社となっています。 ピエゾステージの概要、用途、原理もチェック!
水晶やある種のセラミックに電圧を印加すると変形する現象をピエゾ効果(逆圧電効果)と呼びます。この現象を直線運動や回転などの位置変化に利用したステージを、一般的にピエゾステージと呼びます。
ピエゾステージはナノメートルオーダーの微細な移動および位置分解能と、精確な位置再現性が最大の特長で、エンコーダと組み合わせることで精密なフィードバックシステムの構築が可能なため、科学研究分野や工業分野で広く活用されています。
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2025年6月の注目ランキングベスト10
順位 | 会社名 | クリックシェア |
---|---|---|
1 | 株式会社フィジックステクノロジー |
22.7%
|
2 | フォトニックインストゥルメンツ株式会社 |
13.6%
|
3 | THKプレシジョン株式会社 |
13.6%
|
4 | ピーアイ・ジャパン株式会社 |
9.1%
|
5 | エドモンド・オプティクス・ジャパン株式会社 |
9.1%
|
6 | 株式会社日本レーザー |
9.1%
|
7 | THKインテックス株式会社 |
4.5%
|
8 | 神津精機株式会社 |
4.5%
|
9 | ハイフィネス・ジャパン株式会社 |
4.5%
|
10 | MSHシステムズ株式会社 |
4.5%
|
項目別
使用用途
#精密位置決め
#顕微鏡制御
#光学調整
#半導体製造
#ナノ操作
#表面観察
#干渉計測
ドライブの種類
PICMA
PILine
移動範囲 µm
0 - 50
50 - 100
100 - 200
200 - 500
500 - 1,000
1,000 - 50,000
分解能 nm
0 - 0.5
0.5 - 1
1 - 2
2 - 3
3 - 11
共振周波数 Hz
0 - 200
200 - 400
400 - 600
600 - 1,000
1,000 - 2,000
2,000 - 10,000
10,000 - 20,000
剛性 N/μm
0 - 0.5
0.5 - 1
1 - 2
2 - 3
3 - 5
双方向再現性 nm
0 - 1
1 - 2
2 - 10
10 - 20
直線性誤差 %
0 - 0.05
0.05 - 0.1
0.1 - 0.2
0.2 - 0.3
0.3 - 0.5
電気容量 µF
0 - 1
2 - 5
5 - 10
10 - 50
回転クロストーク µrad
0 - 1
1 - 5
5 - 10
10 - 50
50 - 100
100 - 200
200 - 1,000
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