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ピエゾステージのメーカー18社一覧や企業ランキングを掲載中!ピエゾステージ関連企業の2025年9月注目ランキングは1位:ピーアイ・ジャパン株式会社、2位:株式会社フィジックステクノロジー、3位:ブルーフォース株式会社です。 ピエゾステージの概要、用途、原理もチェック!
水晶やある種のセラミックに電圧を印加すると変形する現象をピエゾ効果(逆圧電効果)と呼びます。この現象を直線運動や回転などの位置変化に利用したステージを、一般的にピエゾステージと呼びます。
ピエゾステージはナノメートルオーダーの微細な移動および位置分解能と、精確な位置再現性が最大の特長で、エンコーダと組み合わせることで精密なフィードバックシステムの構築が可能なため、科学研究分野や工業分野で広く活用されています。
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2025年9月の注目ランキングベスト6
| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | ピーアイ・ジャパン株式会社 |
33.3%
|
| 2 | 株式会社フィジックステクノロジー |
25.0%
|
| 3 | ブルーフォース株式会社 |
16.7%
|
| 4 | フォトニックインストゥルメンツ株式会社 |
8.3%
|
| 5 | 翔栄システム株式会社 |
8.3%
|
| 6 | 株式会社東京インスツルメンツ |
8.3%
|
項目別
使用用途
#精密位置決め
#顕微鏡制御
#光学調整
#半導体製造
#ナノ操作
#表面観察
#干渉計測
構造
単一軸ステージ
複数軸ステージ
ガイドレール型
用途
高精度測定用
表面加工用
ラボ実験用
光学調整用
ドライブの種類
PICMA
PILine
移動範囲 µm
0 - 50
50 - 100
100 - 200
200 - 500
500 - 1,000
1,000 - 50,000
分解能 nm
0 - 0.5
0.5 - 1
1 - 2
2 - 3
3 - 11
共振周波数 Hz
0 - 200
200 - 400
400 - 600
600 - 1,000
1,000 - 2,000
2,000 - 10,000
10,000 - 20,000
剛性 N/μm
0 - 0.5
0.5 - 1
1 - 2
2 - 3
3 - 5
双方向再現性 nm
0 - 1
1 - 2
2 - 10
10 - 20
直線性誤差 %
0 - 0.05
0.05 - 0.1
0.1 - 0.2
0.2 - 0.3
0.3 - 0.5
電気容量 µF
0 - 1
2 - 5
5 - 10
10 - 50
回転クロストーク µrad
0 - 1
1 - 5
5 - 10
10 - 50
50 - 100
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