メーカー 17社
製品 155点

メーカー 17社製品 155点

回転ステージ
メーカー17社・155製品一覧【2024年】

回転ステージについての概要、用途、原理などをご説明します。また、回転ステージのメーカー17社一覧や企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。回転ステージ関連企業の2024年6月注目ランキングは1位:ピーアイ・ジャパン株式会社、2位:鍋屋バイテック会社、3位:神津精機株式会社となっています。

回転ステージとは？
回転ステージのメーカー17社一覧
回転ステージの製品155点一覧

回転ステージと関連するカテゴリ

精密ステージ傾斜ステージ

回転ステージとは

回転ステージ (英: rotating stage) とは、装置や物体を取り付ける回転台です。

回転ステージに取り付けた物体の向きや角度を任意の状態にしたり、位置決めや計測を行うために使用します。回転する方法は手動や電動などです。制御方法がオープンループやフィードバック制御のもの、大きさも大小さまざまあるので、用途によって使い分けが重要です。

また、回転動作は加工や計測など、その後に何らかの動作が伴うという目的があって行うことが多いため、回転テーブル単体で使用される場合は少なくなっています。

回転ステージの使用用途

回転ステージは、半導体ウェハなどを固定して、検査、精密計測、モーションシミュレータなどを行います。また、オプトメカニクス部品を固定して、精密計測をします。

回転ステージ自体の取付方向は、さまざまな向きに取り付けて使用可能です。加工や測定の対象物と装置の機構部品のどちらを回転させる方が効率が良いかを考えた上で、使用されています。

大まかな角度が必要な場合は手動による粗回転、細かい角度調整が必要な場合は微動回転を使用するなど、用途に応じて高精度なものが求められます。

回転ステージの原理

回転ステージの回転台を支持する構造として、クロスローラベアリングを使用するもの、摺動方式のもの、及びアンギュラベアリングを使うものなどが実用されています。

1. クロスローラベアリング方式

クロスローラベアリングとは、90°のV溝を有するローラレースと円筒コロから構成される軸受です。円筒ローラは、45°の接触角を持って直交に互い違いに配列されます。ボールベアリングにおける背面受け構造を1列で実現でき、多方向からの荷重を同時に受けることが可能な構造です。

回転ステージを駆動すると、ローラレース上を複数の円筒コロが転がるため、停止時から起動時への摩擦の変化がほとんどない特徴があります。クロスローラベアリングは、線接触で荷重を支えており、ボールガイド機構よりも剛性が高い方式です。また、回転台とクロスローラベアリングは直結させることができるので、構造部品を少なくすることも可能です。

回転ステージの回転精度は、ローラの精度に依存するため、ローラの精度等級によって高い回転精度を得ることができます。また、クロスローラベアリングは摩擦力が小さく、軽い力で動作させることができるので、微動回転機構にマイクロメータヘッドなどが使用可能で、高い位置決め精度を得られます。

回転機構にステッピングモーターを接続することで、回転の角度や方向、動作手順などを自動化することもできます。

2. 摺動方式

回転ステージの一面と固定側の一面が面接触して摺動する方式です。アリ摺動と呼ばれます。機構が簡素で、隙間に汚れが入りにくい構造です。支持する面積が広いので、衝撃荷重や大荷重に耐えることができます。

3. アンギュラーベアリング方式

アンギュラーベアリングは、接触角を有するベアリングで、一方向のアキシャル荷重を受けるものです。回転ステージに使用する場合は、アンギュラーベアリングを2個使用して、互いに向かい合わせに配置します。この方式により、アキシャル荷重とラジアル荷重の両方に剛性が大きくなります。

4. モータ駆動

電動式の回転ステージには、ステッピングモータが多く使われます。基本ステップ角は、0.36°、分解能は、フルステップで0.004°、1/20分割のマイクロステップで0.0002°前後です。

回転ステージの特徴

1. 微動機構

回転ステージには、360°回転可能な粗動回転機構の他、特定の範囲を微細に回転ができる微動回転機構が付いています。微動回転は、精密マイクロメータを使用してウォームとギア駆動で回転させます。

微動回転できる範囲は、±3～5°が一般的です。分解能は、5 arc-min程度のバーニヤ目盛です。

2. 高剛性

回転ステージは、がた、ふらつき、ぐらつき、バックラッシュなどを非常に小さくしています。軸方向のふらつきは、500μrad以下が一般的です。

3. 機能性

クラス100のクリーンルームで使用できる回転ステージもあります。また、多くは欧州RoHS指令に準拠した製品です。粗動回転機構と微動回転機構は、ねじによりロックが可能です。

参考文献
https://www.thorlabs.co.jp/newgrouppage9.cfm?objectgroup_id=12958

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各社回転ステージのカタログを無料一括ダウンロードできます。

回転ステージメーカー 17社

*一部商社などの取扱い企業なども含みます。

回転ステージ：要求精度・サイズ・耐荷重、あらゆる種類の駆動・ガイド方式が選択可能注目製品
ピーアイ・ジャパン株式会社

・各種ベアリング：メカニカル、エアータイプ
・ボイスコイルモータ・トルクモーター
・角度センサー（インクリメンタル、アブソリュートエンコーダー）
・開口付タイプ
・XY軸やZ軸ステージなど複合システムのご提案も可能

【回転ステージ】自動/手動注目製品
神津精機株式会社

・微小ストロークでの繰り返し動作に最適なボールネジ駆動、360°無限回転可能なウォーム駆動の2種を用意。
・ミクロン単位の偏芯精度は工業用X線CTを始めとする分析装置に最適。
・1arcsec以下の最小分解能は半導体ﾃﾞﾊﾞｲｽ製造における微小アライメントに最適。
・Φ40～Φ160mmをラインナップ。

- - ピーアイ・ジャパン株式会社
    回転ステージのラインナップ一覧
  - 会社サイト創業: 1991年従業員数: 15人資本金: 20,000,000円会社詳細
  - 住所: 神奈川県幸区堀川町580番地　ソリッドスクエア西館17F
- エアベアリングガイド各種モータタイプ開口つきタイプ有り
  
  各種回転ステージをはじめ、X、XY、Z軸、多軸設計システムの設計対応が可能です。
  
  ・高精度計測＆検査装置
  ・光学測定器
  ・キャリブレーション
  ・XCTスキャニング
  ・ウェハー、ガラス、レンズ、基盤などに
- - 神津精機株式会社
    回転ステージ
  - 会社サイト創業: 1957年従業員数: 115人資本金: 99,653,000円会社詳細
  - 住所: 神奈川県川崎市麻生区栗木2-6-15
- デモ機お貸出し可能
  
  当社は、1957年の創業以来、「技術と誠意で科学（ミライ）を拓く」をモットーに、官公庁の実験研究用装置、最先端の半導体製造・検査装置のなかで、微細かつ正確な位置決めを行う精密機器を供給して参りました。
- - 駿河精機株式会社メーカー
    手動回転ステージ一覧
  - 会社サイト創業: 1964年従業員数: 53人会社詳細
  - 住所: 静岡県静岡市清水区七ツ新屋505
- - 鍋屋バイテック会社メーカー
    回転ステージ一覧
  - 会社サイト従業員数: 480人会社詳細
  - 住所: 岐阜県関市桃紅大地1番地
- - 株式会社旭エンジニアリングメーカー
    高分解能ギア内蔵回転ステージ
  - 会社サイト創業: 1970年資本金: 48,400,000円会社詳細
  - 住所: 東京都千代田区麹町3-1（麹町311ビル6F）
- - 株式会社ミラック光学メーカー
    回転ステージ
  - 会社サイト創業: 1963年従業員数: 24人資本金: 10,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都八王子市松木34-24
- - 株式会社トリオエンジニアリングメーカー
    小型加工ロボット一覧
  - 会社サイト創業: 1971年会社詳細
  - 住所: 愛知県瀬戸市西本地町2-277-1
- - ツクモ工学株式会社メーカー
    回転・傾斜ステージ
  - 会社サイト創業: 1986年資本金: 25,000,000円会社詳細
  - 住所: 埼玉県狭山市柏原3669-8
- - シグマ光機株式会社メーカー
    手動ステージ一覧
  - 会社サイト上場(東証スタンダード) 創業: 1977年従業員数: 360人会社詳細
  - 住所: 埼玉県日高市下高萩新田17-2
- - 株式会社フィジックステクノロジー
    ロータリーステージ
  - 会社サイト創業: 2005年会社詳細
  - 住所: 千葉県市川市南八幡4-2-5　いちかわ情報プラザ
- - 中央精機株式会社
    回転ステージ一覧
  - 会社サイト創業: 1955年従業員数: 84人資本金: 100,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都千代田区神田淡路町1-5及川ビル2F
- - ソーラボジャポン株式会社
    手動回転ステージ一覧
  - 会社サイト創業: 2002年会社詳細
  - 住所: 東京都練馬区北町3-6-3
- - エドモンド・オプティクス・ジャパン株式会社
    回転ステージ一覧
  - 会社サイト創業: 1995年従業員数: 232人資本金: 86,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都文京区本駒込2-29-24パシフィックスクエア千石4F
- - イガラシプロ有限会社
    回転ステージ一覧
  - 会社サイト創業: 1991年会社詳細
  - 住所: 東京都文京区本駒込5-70-9有田ビル5F
- - GMT GLOBAL INC.
    回転ステージ一覧
  - 会社サイト会社詳細
  - 本社: 台湾
- - Aerotech Inc.
    回転ステージ一覧
  - 会社サイト創業: 1970年会社詳細
  - 本社: アメリカ
- - 株式会社日本レーザー商社・代理店
    電動回転ステージ一覧
  - 会社サイト創業: 1968年従業員数: 56人会社詳細
  - 住所: 東京都新宿区西早稲田2-14-1

回転ステージ 2024年6月のメーカーランキング

*一部商社などの取扱い企業なども含みます

2024年6月の注目ランキングベスト10

注目ランキング導出方法

順位	会社名	クリックシェア
1	ピーアイ・ジャパン株式会社	15.5%
2	鍋屋バイテック会社	15.5%
3	神津精機株式会社	12.1%
4	駿河精機株式会社	8.6%
5	イガラシプロ有限会社	6.9%
6	株式会社旭エンジニアリング	6.9%
7	ツクモ工学株式会社	5.2%
8	株式会社フィジックステクノロジー	3.4%
9	エドモンド・オプティクス・ジャパン株式会社	3.4%
10	Aerotech Inc.	3.4%