全てのカテゴリ
閲覧履歴
ピエゾステージについての概要、用途、原理などをご説明します。また、ピエゾステージのメーカー18社一覧や企業ランキングも掲載しております。ピエゾステージ関連企業の2025年3月注目ランキングは1位:神津精機株式会社、2位:THKインテックス株式会社、3位:エドモンド・オプティクス・ジャパン株式会社となっています。
関連キーワード
水晶やある種のセラミックに電圧を印加すると変形する現象をピエゾ効果（逆圧電効果）と呼びます。この現象を直線運動や回転などの位置変化に利用したステージを、一般的にピエゾステージと呼びます。
ピエゾステージはナノメートルオーダーの微細な移動および位置分解能と、精確な位置再現性が最大の特長で、エンコーダと組み合わせることで精密なフィードバックシステムの構築が可能なため、科学研究分野や工業分野で広く活用されています。
ピエゾステージは微細な移動と位置分解能、精確な位置再現性、さらには応答が非常に速く、寿命が長いことが特長です。
また、エンコーダを利用し絶対的な位置情報を得ることで、精密なフィードバックシステムを構築することができます。
科学研究および工業分野で、下記のような用途に利用されています。
ある種のセラミックに電圧を印加すると変形する現象をピエゾ効果（逆圧電効果）と呼び、ピエゾ効果を示す物質を特にピエゾ素子と呼びます。
ピエゾ素子に見られる変形は、変化量が印加電圧に比例し、応答が非常に速く、可逆的であるという特徴を持ちます。
ピエゾ素子を位置決め用メカニズムとして形成したものをピエゾアクチュエータと呼び、ピエゾアクチュエータを組み込んだステージを一般的にピエゾステージと呼びます。
ピエゾステージは通常のモーターを利用したステージとは異なり、高い位置分解能と位置再現性、少ない消費電力での高負荷、速い位置応答という特徴があり、精確で速い位置決めが必要な場所で広く活用されています。
また磁石を利用しないので、周囲の磁場の影響をうけず、逆に周辺環境に磁場の影響を与えません。
真空中でも使用可能です。
一方で大きな移動量が必要な場合には機械的サポートを付加する必要があります。
またピエゾ素子の発熱と変形量の温度依存性には注意が必要です。
参考文献
https://www.rockgateco.com/product/scate/pos-ecs
http://www.keystone-intl.co.jp/products/encyclopedia/index.html
*一部商社などの取扱い企業なども含みます。
| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | 神津精機株式会社 |
15.6%
|
| 2 | THKインテックス株式会社 |
12.5%
|
| 3 | エドモンド・オプティクス・ジャパン株式会社 |
9.4%
|
| 4 | 株式会社メステック |
9.4%
|
| 5 | 株式会社フィジックステクノロジー |
6.3%
|
| 6 | ピーアイ・ジャパン株式会社 |
6.3%
|
| 7 | 株式会社日本レーザー |
6.3%
|
| 8 | 翔栄システム株式会社 |
6.3%
|
| 9 | ロックゲート株式会社 |
6.3%
|
| 10 | THKプレシジョン株式会社 |
6.3%
|
項目別
ドライブの種類
PICMA移動範囲 µm
50 - 100 100 - 200 200 - 500分解能 nm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11共振周波数 Hz
0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000剛性 N/μm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3双方向再現性 nm
0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20直線性誤差 %
0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2電気容量 µF
0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50回転クロストーク µrad
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 20021 点の製品がみつかりました
21 点の製品
ピーアイ・ジャパン株式会社
900人以上が見ています
最新の閲覧: 9時間前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
23.6時間 返答時間
■応用分野 ・度量衡 ・干渉計 ・フォトニクス/集積光学 ・リトグラフ ・ナノポジショニング ・走査型顕微鏡 ・サンプルアライメント ・マイクロマシニング ■...
5種類の品番
ピーアイ・ジャパン株式会社
310人以上が見ています
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
23.6時間 返答時間
■応用分野 ・マイクロマシニング ・フォトニクス ・ファイバーポジショニング ・テスト手順と品質保証 ■PICMAピエゾアクチュエータによる優れた寿命® 特許取...
2種類の品番
ピーアイ・ジャパン株式会社
920人以上が見ています
最新の閲覧: 8時間前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
23.6時間 返答時間
■応用分野 ・干渉計 ・顕微鏡 ・ナノポジショニング ・バイオテクノロジー ・テストアプリケーション ・半導体技術 ・フォトニクス ・ファイバーポジショニン...
3種類の品番
ピーアイ・ジャパン株式会社
740人以上が見ています
最新の閲覧: 11時間前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
23.6時間 返答時間
■応用分野 ・干渉計 ・顕微鏡 ・ナノポジショニング ・バイオテクノロジー ・テストアプリケーション ・半導体技術 製品概要 ■PICMA®ピエゾアクチュエータに...
3種類の品番
ピーアイ・ジャパン株式会社
550人以上が見ています
最新の閲覧: 10時間前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
23.6時間 返答時間
■応用分野 ・干渉計 ・顕微鏡 ・ナノポジショニング ・バイオテクノロジー ・テストアプリケーション ・半導体技術 ・フォトニクス ・ファイバーポジショニン...
ピーアイ・ジャパン株式会社
270人以上が見ています
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
23.6時間 返答時間
超解像顕微鏡用の静電容量式位置測定 ■特徴 ・最高レベルの安定性と再現性 ・移動範囲は最大200 µm × 200 µm ×200 µm ・E-727USBコントローラーおよびソフト...
ピーアイ・ジャパン株式会社
310人以上が見ています
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
23.6時間 返答時間
高解像度顕微鏡用の安価なナノポジショニング システム ■特徴 ・ピエゾ抵抗センサーを使用した安価なコスト最適化設計 ・移動範囲は最大200 µm × 200 µm ×20...
ピーアイ・ジャパン株式会社
570人以上が見ています
最新の閲覧: 1時間前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
23.6時間 返答時間
■特徴 ・移動範囲50～1,800µm ・0.1nmまでの分解能 ・位置決め精度 0.02% ・静電容量センサーによる直接位置測定 ・X、XY、Z、XYZバージョン ■応用分野 ・干...
2種類の品番
ワイヤード株式会社
60人以上が見ています
100.0% 返答率
143.7時間 返答時間
ナノ分解能ピエゾ位置決めステージは、貫通穴のある直線ピエゾ位置決めプラットフォームであり、搭載物をナノメートル単位の精度で移動させることができます...
ワイヤード株式会社
50人以上が見ています
100.0% 返答率
143.7時間 返答時間
ナノ分解能ピエゾ位置決めステージは、貫通穴のある直線ピエゾ位置決めプラットフォームであり、搭載物をナノメートル単位の精度で移動させることができます...
ワイヤード株式会社
70人以上が見ています
100.0% 返答率
143.7時間 返答時間
ナノ分解能ピエゾ位置決めステージは、貫通穴のある直線ピエゾ位置決めプラットフォームであり、搭載物をナノメートル単位の精度で移動させることができます...
