XYZステージ
メーカー15社一覧 【2024年】
XYZステージについての概要、用途、原理などをご説明します。また、XYZステージのメーカー15社一覧や企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。XYZステージ関連企業の2024年3月注目ランキングは1位:ツクモ工学株式会社、2位:日本カンタム・デザイン株式会社、3位:ワイヤード株式会社となっています。
XYZステージとは
XYZステージ (英：xyz stage) とは、3軸方向に微動できる台です。
ステージのXYZ方向にマイクロメータが取り付けられており、各方向にステージを動かすことができます。ステージ上部には複数のネジ穴が開けられており、その穴を利用して光学素子などが固定可能です。
また、ステージ本体はマグネットを取り付けることもでき、強力な磁力により光学台に設置が可能です。マイクロメータを用いることで0.01mmというごく微細な刻み幅で位置が調整できます。
XYZステージの使用用途
XYZ3軸の移動機構により、試料ホルダーや試料加熱機構、各種導入機、その他コンポーネントの位置調整が可能です。
ステージ上に固定されたカメラやセンサ、その他の様々な光学素子について、その位置の精密な決定が可能です。3軸方向に移動できるため、測定・観察対象に応じて空間的にステージを位置調整したい場合に適しています。
また、レーザーを扱う場合には、その光路上に設置したミラーやレンズの位置調整が必要な場合があり、XYZステージが役立ちます。既存の光学系に容易に組込み可能です。
XYZステージの原理
XYZステージは、メカニカルステージや移動ステージと呼ばれるステージの1種です。XYZステージの移動調整はガイドに沿って行われ、ガイドの種類に応じて以下の3つの方式に分類されます。
1. クロスローラガイド方式
クロスローラとは、内輪と外輪の間にローラを直交させたコンパクトな構造のベアリングです。ボールベアリングと異なり線接触のため、高い剛性を得ることができます。また差動滑りがほとんどないため、摩擦が少なく送り幅の微細な調整が可能です。
2. アリ溝ガイド方式
アリ溝とは逆八の字の構造をした溝で、横からレールを滑り込ませて溝から抜けないよう工夫がされています。ガイド構造が単純なため、低コストで製造することができます。ただし、面同士が接触するため、摩擦係数が高く、微細な位置決めは困難です。簡単な位置決めに最適な方式です。
3. ボールガイド方式
2枚のステージにそれぞれガイドを固定し、その間にボールを配列した方式です。ステージの厚さを薄く出来るだけでなく、高い剛性を持ち、送り幅の分解能も良いという特徴があります。
XYZステージの特徴
1. 高精度な位置決め
各軸方向に高精度で位置決めが可能です。マイクロメータを搭載し、位置決めに、クロスローラーベアリングなどを使用して、確実・高精度の位置決めができます。
2. 超真空装置に最適
分子線エピタキシーMBEや表面分析装置などに使用する各種超真空装置用のタイプがあります。トランスファーロッド、回転導入機などと組み合わせて、真空装置内の移動が可能です。
3. 耐高温性
オールメタルシールやコンフラットフランジなどを使用したタイプは、最高200℃のベーキングができます。
XYZステージのその他情報
1. XYZステージの位置決め方式
XYZステージを使用して位置決めする方法は、3種類に分類できます。
-
手動式
手動式は目標位置との差をカメラ等で拡大し、人間の目によって確認しながら、マイクロメータヘッド等によりステージを駆動する方法です。
-
半自動式
半自動式は、目標位置との差を人間の目によって確認するのは、手動式と同じですが、ステージの移動を電動式にした方法です。手動式に比べ、より精度が高く位置決めができます。
-
自動式
自動式は、目標位置との差を画像処理装置などの視覚センサを使って検出するので、自動位置決めが可能です。さらに高精度・高効率が期待できます。位置決め業務の自動化が可能になり、作業の効率化が図られます。
2. 自動式位置決めの実施例
-
半導体の露光
XYZステージに対象物の半導体とマスクを固定し、カメラでマスクの位置決めマークを検出して目標にステージを移動させます。そして、UVランプをマスクの上から照射して露光を行います。
-
スクリーン印刷
マスクの位置決めマークを検出して目標にステージを移動させます。そして、ステージをマスクの下に移動して印刷を行います。
参考文献
https://www.chuo.co.jp/core_sys/product/images/186/catalog/GC40_310-311.pdf
https://www.global-optosigma.com/jp/category/mp/mp01.html
https://www.global-optosigma.com/jp/category/mp/mp02.html
XYZステージメーカー 15社
*一部商社などの取扱い企業なども含みます。
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XYZステージ 2024年3月のメーカーランキング
*一部商社などの取扱い企業なども含みます2024年3月の注目ランキングベスト10
注目ランキング導出方法| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | ツクモ工学株式会社 |
14.3%
|
| 2 | 日本カンタム・デザイン株式会社 |
12.9%
|
| 3 | ワイヤード株式会社 |
10.0%
|
| 4 | 株式会社日本レーザー |
8.6%
|
| 5 | THK株式会社 |
7.1%
|
| 6 | 中央精機株式会社 |
7.1%
|
| 7 | 株式会社オプトサイエンス |
7.1%
|
| 8 | アリオス株式会社 |
5.7%
|
| 9 | ソーラボジャポン株式会社 |
4.3%
|
| 10 | ヒーハイスト株式会社 |
4.3%
|
注目ランキング導出方法について
注目ランキングは、2024年3月のXYZステージページ内でのクリックシェアを基に算出しています。クリックシェアは、対象期間内の全企業の総クリック数を各企業のクリック数で割った値を指します。社員数の規模
- THK: 3,968人
- 中央精機: 84人
- 日本レーザー: 56人
設立年の新しい会社
- ソーラボジャポン: 2002年
- ワイヤード: 1999年
- コムス: 1998年
歴史のある会社
- 中央精機: 1955年
- ユタカ製作所: 1960年
- ヒーハイスト: 1962年
XYZステージ注目ランキング
製品の閲覧数をもとに算出したランキング
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有限会社ユタカ製作所
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XYZステージのカタログ 12件
Metoreeに登録されているXYZステージが含まれるカタログ一覧です。無料で各社カタログを一括でダウンロードできるので、製品比較時に各社サイトで毎回情報を登録する手間を短縮することができます。
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CKD日機電装株式会社
高性能リニアステージ【τリニアステージ】
カタログ概要
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CKD日機電装株式会社
リニアステージ カスタムメイド実例集
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セミカスタム～フルカスタムまで、お客様装置にジャストフィットする高品質なリニアステージをご提供します。
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高精密Z軸リニアステージ
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コンパクトサイズで、XY(Z)へのコンビネーション可能ストローク：最大25mmタイプ【特徴】・駆動を折り重ねたコンパクトサイズ・ステッピングモータとDCサーボ...
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XYZステージ 精密ステージ 2軸ステージ2023年6月12日
ピーアイ・ジャパン株式会社
3軸高精度位置決めピエゾステージ P-561～P-563
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３軸駆動の精密ナノポジショニングシステム。PIMars(TM) オープンフレームピエゾステージは、高速かつ高精度の多軸スキャニング／ナノポジショニングシステム...
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高精度 XY軸ステージ高いトラベル精度、高安定性、リニアモータドライブ▪ トラベルレンジ 100 x 100 mm▪ 高分解能インクリメンタルリニアエンコーダー▪ 3相リ...
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XYZステージ 精密ステージ 2軸ステージ2024年1月17日
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XYZステージ 精密ステージ リニアステージ2024年1月17日
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XYZステージ 精密ステージ リニアステージ2024年1月17日
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P-616型 コンパクトXYZ軸ピエゾステージ■動作軸 XYZ軸■ 最大100×100×100μm のトラベルレンジ■ 摩擦がなく高精度なフレクシャガイドシステム■ PICMA®ピエゾ...
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XYZステージ ピエゾステージ2024年1月17日
XYZステージの価格・相場
XYZステージの平均価格
1,398,000 円
XYZステージの最低価格
1,398,000 円
XYZステージの最高価格
1,398,000 円
価格について: Metoreeに登録されているXYZステージの製品9点の2024年4月26日時点での価格データを元に算出しています。
