位置決めステージについての概要、用途、原理などをご説明します。また、位置決めステージのメーカー13社一覧や企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。位置決めステージ関連企業の2023年11月注目ランキングは1位:エドモンド・オプティクス・ジャパン株式会社、2位:CKD日機電装株式会社、3位:オリムベクスタ株式会社となっています。
位置決めステージ (英: positioning stage) とは、位置決めが可能な台のことです。
モータとボールネジなどを組み合わせた構造が多く使われ、位置決めステージは、移動する部分です。位置決めステージは、精密な位置決めを行うことができます。
半導体やディスプレイ関連などの製造や検査をはじめとして、精密加工の分野において様々な用途で使用されます。xyステージは、2次元で自由な動きを可能にするなど、ステージの種類によって特性を活かした用途で使用されます。
位置決めステージは、精密機器の分野において位置決めを行うために使用されます。具体的には、半導体やプリント基板などの分野で、検査・加工装置用、露光・高精度検査装置用、ウエハ・基板の高速位置決めなどの用途です。
また、液晶の検査装置、レーザー関連装置、基板の移載装置・精密検査装置、基板と加工ヘッドの高精度位置決め、カメラやファイバのアライメント、試料の検査・分析治具などにも用いられます。ステージを目標位置に分解能単位で精密に移動させることで、定められた加工・検査・移動などが可能になります。
位置決め装置は、駆動するアクチュエータ、アクチュエータが動作するための信号を制御する制御装置、移動体であるステージ、ステージを支えるガイドなどから構成されます。高い精度を保持しながら高速で作業を行えるように、移動体である位置決めステージの振動などが小さくなるよう特性や制御機能を充実させなければなりません。
閉ループ制御やオープンループ制御、セミクローズド制御などの制御方式を用いることで、ステージの移動誤差を計測して目標位置に部品を移動させます。この際、アッベの原理を利用して測定誤差を小さくします。アッベの原理とは、「測定精度を高めるためには、測定対象物と測定器具の目盛を測定方向の同一線上に配置しなければならない」ことです。
位置決めステージには、1軸型、2軸直交型、3軸直交型、回転型、組合わせ型などがあります。
1軸型は、最もシンプルな構成で、x1方向のみの移動が可能です。縦方向のz型もあります。2軸直交型は、xy2方向またはx方向とz方向に移動できるタイプです。
3軸直交型は水平xy2方向に、縦z方向を加えたもので、構造が複雑です。
回転型は、回転運動θのみが可能なタイプです。組合せ型は、回転型に1軸・2軸の移動を加えたx-θ,z-θ,xy-θ型などです。
回転モータと組む合わせて、多く使われます。ボールがねじ溝を循環することで、摺動ねじに比べ大幅に摩擦が減り、軽く動きます。
リニアガイドは、ステージを支持するガイドです。アリ溝、クロスローラ、ローラウェイ、ボールウェイ、ボールブッシュ、回転ベアリングなど、多くの種類があります。
移動精度に優れ、耐荷重が大きく、剛性が高い方式を選択する必要があります。
位置決めステージの制御装置には、オープンループ制御、セミクローズド制御、フルクローズド制御などが使用されます。
ステージの位置決めをする方法は、間欠位置決め方式と連続位置決め方式があります。間欠位置決め方式はある地点から出発して、途中の経路や時間を問わないで、目標の地点に停止させる方法です。
連続位置決め方式は、移動途中の経路や時間を測定しながら、目標点に停止させる方法です。
位置決めステージの駆動は、回転モータ、リニアモータが主力です。圧電素子を使う方法もあります。空気や油圧を使う方法は、少なくなっています。
回転モータ
回転モータは、サーボモータとボールねじの組み合わせが多く使われます。
リニアモータ
リニアモータには多くの利点があり、具体的には高速が可能でコンタミの問題がないこと、構造が簡単で騒音が少なくなることなどが挙げられます。
そのほか、剛性も大きくできます。ただし、ステージの位置検出が必要でコスト高の要因になるのが欠点です。また、発熱が大きいので冷却装置が必要になる場合があります。
参考文献
https://www.jstage.jst.go.jp/article/jjspe/77/7/77_7_656/_pdf
https://www.ntn.co.jp/japan/products/catalog/pdf/6104.pdf
https://jp.misumi-ec.com/tech-info/categories/machine_design/md05/d0015.html
https://www.shi.co.jp/products/precision/position/
*一部商社などの取扱い企業なども含みます。
企業の並び替え
2023年11月の注目ランキングベスト10
注目ランキング導出方法順位 | 会社名 | クリックシェア |
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1 | エドモンド・オプティクス・ジャパン株式会社 |
18.6%
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2 | CKD日機電装株式会社 |
18.6%
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3 | オリムベクスタ株式会社 |
11.9%
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4 | ピーアイ・ジャパン株式会社 |
10.2%
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5 | 住友重機械工業株式会社 |
8.5%
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6 | ヒーハイスト株式会社 |
6.8%
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7 | 株式会社モーショントラスト |
6.8%
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8 | コムス株式会社 |
5.1%
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9 | ハイフィネス・ジャパン株式会社 |
5.1%
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10 | THKプレシジョン株式会社 |
3.4%
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注目ランキング導出方法について
注目ランキングは、2023年11月の位置決めステージページ内でのクリックシェアを基に算出しています。クリックシェアは、対象期間内の全企業の総クリック数を各企業のクリック数で割った値を指します。社員数の規模
設立年の新しい会社
歴史のある会社
136 件の製品がみつかりました
オリムベクスタ株式会社
560人以上が見ています
最新の閲覧: 3分前
<特徴> 高精度 ・位置決め後の安定性が高い ・バックラッシが少ない ・回転ステージの偏芯量が少ない ・サブミクロンの位置決めが可能...
オリムベクスタ株式会社
490人以上が見ています
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<特徴> 高精度 ・位置決め後の安定性が高い ・バックラッシが少ない ・回転ステージの偏芯量が少ない ・サブミクロンの位置決めが可能...
オリムベクスタ株式会社
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<特徴> 高精度 ・位置決め後の安定性が高い ・バックラッシが少ない ・回転ステージの偏芯量が少ない ・サブミクロンの位置決めが可能...
オリムベクスタ株式会社
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<特徴> 高精度 ・位置決め後の安定性が高い ・バックラッシが少ない ・回転ステージの偏芯量が少ない ・サブミクロンの位置決めが可能...
オリムベクスタ株式会社
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<特徴> 高精度 ・位置決め後の安定性が高い ・バックラッシが少ない ・回転ステージの偏芯量が少ない ・サブミクロンの位置決めが可能...
オリムベクスタ株式会社
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<特徴> 高精度 ・位置決め後の安定性が高い ・バックラッシが少ない ・回転ステージの偏芯量が少ない ・サブミクロンの位置決めが可能...
オリムベクスタ株式会社
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<特徴> 高精度 ・位置決め後の安定性が高い ・バックラッシが少ない ・回転ステージの偏芯量が少ない ・サブミクロンの位置決めが可能...
ピーアイ・ジャパン株式会社
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3軸対応可能な高精密ナノポジショニングシステム ■特徴 ・X 軸と Y 軸の平行運動学により、応答時間が短縮され、多軸精度が向上します ...
ピーアイ・ジャパン株式会社
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6軸対応可能な高精密ナノポジショニングシステム ■特徴 ・6動作軸:3xリニア 3x回転 ・移動範囲は直線200 μm、先端/傾斜角は1 mrad ・パ...
ピーアイ・ジャパン株式会社
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■商品の説明 ・薄型、高精度の垂直翻訳ステージプラットフォーム ・真直度と平坦性に優れた昇降ステージ ・閉ループサーボモータまたは...
ピーアイ・ジャパン株式会社
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■応用分野 ・度量衡 ・干渉計 ・フォトニクス/集積光学 ・リトグラフ ・ナノポジショニング ・走査型顕微鏡 ・サンプルアライメント ・...
ピーアイ・ジャパン株式会社
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■応用分野 ・走査型顕微鏡 ・共焦点顕微鏡 ・マスク/ウェーハの位置決め ・表面測定技術 ・ナノインプリント ・マイクロマニピュレーシ...
ピーアイ・ジャパン株式会社
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■応用分野 ・走査型顕微鏡 ・測定技術 ・テスト手順と品質保証 ・フォトニクス ・ファイバーポジショニング 製品概要 ■PICMA®ピエゾア...
ピーアイ・ジャパン株式会社
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■応用分野 ・走査型顕微鏡 ・測定技術 ・テスト手順と品質保証 ・フォトニクス ・ファイバーポジショニング 製品説明 ■PICMAピエゾアク...
ピーアイ・ジャパン株式会社
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■応用分野 ・超解像顕微鏡 ・ライトディスク顕微鏡 ・共焦点顕微鏡 ・3Dイメージング ・スクリーニング ・干渉計 ・測定技術 ・オートフ...
ピーアイ・ジャパン株式会社
170人以上が見ています
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■特徴 ・スキャンアプリケーションや高精度位置決めに最適 ・クリーンルーム対応 ・モーションプラットフォームのサイズ210mm×210mm移動...
ピーアイ・ジャパン株式会社
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■特徴 ・ビーム偏向角 8° ・共通の回転中心を持つ 2 つの直交するチップ/チルト軸 ・平行運動学による両軸の同一の動作特性 ・コンパク...
ピーアイ・ジャパン株式会社
200人以上が見ています
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■特徴 ・先端/傾斜角10mrad、光学偏向角20 mrad (>1°) ・1.6kHz (1インチミラー) までの高い共振周波数により、ダイナミックな動きと高...
ピーアイ・ジャパン株式会社
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■特徴 ・先端/傾斜角35mrad、高光学偏向角70mrad ・0.7kHz (1インチミラー) までの共振周波数により、ダイナミックな動きと高速なステッ...
ピーアイ・ジャパン株式会社
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■特徴 ・先端/傾斜角は最大 5 mrad、光学的偏向角は最大10mrad (0.57°) ・10 kHz (0.5インチミラー) までの高い共振周波数により、ダイ...
ピーアイ・ジャパン株式会社
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■特徴 ・最大20nrad の分解能、優れた位置安定性 ・4mradまでの光ビーム偏向 ・プラットフォームとミラーの間のCTEを調整するためのさま...
ピーアイ・ジャパン株式会社
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■特徴 ・移動範囲305mm×305mm (12'') ・0.05µmまでの一方向の再現性 ・速度90mm/sまで ・2相ステッピングモーターまたはDCモーター ・...
ピーアイ・ジャパン株式会社
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■特徴 ・高い安定性 ・直径0.5インチ、1インチ、または2インチの光学部品用 ・ステップサイズ0.3または0.5µrad ・寿命は周囲条件で>1,00...
ピーアイ・ジャパン株式会社
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■製品概要 PIglideのステージには、プリロードされたエアベアリングと統合されたリニアエンコーダを備えたサーボドライブリニアモータが...
ピーアイ・ジャパン株式会社
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■製品概要 エアベアリング付きPIglide MBリニアステージには、プリロードエアベアリングと統合された光学リニアエンコーダを備えたサー...
ピーアイ・ジャパン株式会社
120人以上が見ています
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■製品概要 ・エアベアリングとボイスコイルドライブを備えたPIglideステージは、コンパクトなパッケージで高速と加速を提供。 ・モーシ...
ピーアイ・ジャパン株式会社
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■製品概要 ・超小型電動エアベアリングリニアステージ ・高性能リニアモーションのための小型ステージ設計 ・高精度、再現性、超滑らか...
ピーアイ・ジャパン株式会社
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■製品特徴 ・スキャンアプリケーションや高精度位置決めに最適 ・クリーンルーム対応 ・モーションプラットフォームのサイズ160mm×200mm...
1 αSTEP AZシリーズ搭載 精密位置決めステージ 自動回転ステージ RAシリーズ (オリエンタルモーター製αSTEP AZシリーズ)
オリムベクスタ株式会社
2 αSTEP AZシリーズ搭載 精密位置決めステージ SAシリーズ 2軸タイプ (オリエンタルモーター製αSTEP AZシリーズ)
オリムベクスタ株式会社
3 αSTEP AZシリーズ搭載 精密位置決めステージ 自動Zステージ ZAシリーズ (オリエンタルモーター製αSTEP AZシリーズ)
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4 αSTEP AZシリーズ搭載 精密位置決めステージ 自動スイベル (ゴ二オ) ステージ SAシリーズ (オリエンタルモーター製αSTEP AZシリーズ)
オリムベクスタ株式会社
5 αSTEP AZシリーズ搭載 精密位置決めステージ 自動Xステージ SXAシリーズ (オリエンタルモーター製ステッピングモーター PK/PKPシリーズ)
オリムベクスタ株式会社
239,363 円
108,010 円
401,660 円
オリムベクスタ
ピーアイ・ジャパン
注目ランキングについて: Metoreeに登録されている位置決めステージ製品136点の中での2023年12月8日時点でのアクセス数を元に算出しています。
価格について: Metoreeに登録されている位置決めステージの製品136点の2023年12月8日時点での価格データを元に算出しています。
Metoreeに登録されている位置決めステージが含まれるカタログ一覧です。無料で各社カタログを一括でダウンロードできるので、製品比較時に各社サイトで毎回情報を登録する手間を短縮することができます。
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位置決め精度、速度安定性能を保証します。豊富な標準ラインナップと、カスタム対応も可能です。
2022年12月15日
搬送用途に最適なローコストタイプのリニアステージです。最長21.3mの高速・長距離搬送や、X/XY/XYΘステージの構築も可能です。
2022年12月15日
セミカスタム~フルカスタムまで、お客様装置にジャストフィットする高品質なリニアステージをご提供します。
2022年12月15日
クサビ方式の高精密リニアステージです。プローバー、レーザー加工機、形状スキャン装置などの接触加圧機構用、焦点高さの微調整用、スキャン移動時の平行度...
2022年12月15日
CKD日機電装と製品ラインナップの紹介です。
2022年12月15日
エドモンド・オプティクス売れ筋の光学関連製品が見やすく掲載されたカタログ。アプリケーションノート(技術解説)や10以上の選定ガイドも掲載。※エドモンド...
2023年3月29日
位置決めステージのカタログ6件分をまとめてダウンロードできます!お迷いの方は便利な無料の一括ダウンロード機能をご利用ください。
企業
CKD日機電装株式会社 エドモンド・オプティクス・ジャパン株式会社株式会社日本レーザーの電動直進ステージ(自動直進ステージ)は、ストローク距離25mmの小型タイプからストローク距離1200mmの長可動距離タイプにわたって、nm分解能による位置決め精度を実現する高精度の1軸ステージです。
1軸ステージを組み合わせることで、2軸(XY)ステージ、3軸(XYZ)ステージを構成することも可能です。
これまでに航空宇宙産業や防衛産業といった環境下での実用によって培われたデータにより、過酷な環境下にも耐えうる耐久性に優れた電動ステージとして、幅広い市場・用途で利用されている産業用精密ステージです。
有限会社永信光機では、主に研究用光学機器などに使用される回転ステージやXYZステージなどの位置決め基本機器(位置決めステージ)の開発・製造を行っています。
通常加工の位置決め機器以上の精度を実現するために、部品加工からアセンブリ、最終アライメントまでを各工程で微調整を加えながら一貫して行っています。
こうした丁寧な製造工程によって、1メモリ2.5µmという高精度な位置決めを実現可能にするステージの開発に成功しています。
住友重機会工業株式会社は、半導体、プリント基板などの用途に用いられる「小型サーフェスステージ」と「スタック型リニアガイドステージ」の2種類の精密位置決め装置(XYステージ)を取扱っています。
「小型サーフェスステージ」は、低重心構造を採用した反力処理機構により、高い位置決め精度を高速(1m/s)かつ高加減速(1G)で実現しています。
「スタック型リニアガイドステージ」は、リニアモータによるXYステージと反力処置機構により、高スループットかつ高い位置決め精度を実現しています。
ヒーハイスト精工株式会社では、XYθステージ、Zチルトステージ、XYθZステージ、Z軸ステージの4種類の位置決めステージを開発・製造しています。
XYθステージは、電動アクチュレーターを平面状に配置することで低重心化を実現し、スムーズな駆動を可能にしています。
Zチルトステージは、くさび型機構により、加重を書けてもテーブル面がフレキシブルにチルト調整することが可能です。
XYθZステージは、XYθステージにZステージの機能を組み込む(ビルドイン)することで、低重心かつコンパクトな高精度他熟ステージを実現しています。
Z軸ステージは、高負荷状態でも高い精度で上下方向の位置決めが可能です。