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シンフォニアテクノロジー株式会社
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インターワイヤード株式会社
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【2021年版】位置決めステージ5選 / メーカー13社一覧

位置決めステージのメーカー13社を一覧でご紹介します。まずは使用用途や原理についてご説明します。


目次


位置決めステージとは

位置決めステージとは、モーターとボールねじを組み合わせた構造をした位置決め装置の移動体であるステージ部分のことで、ステージの目標位置に部品を移動させることで、位置を決定することができます。

精密な位置決めを行うことができるため、半導体やディスプレイ関連などの製造や検査をはじめとして、精密加工の分野において様々な用途で使用されています。

XYステージでは、二次元で自由な動きをすることが可能など、ステージの種類によってその特性をいかした用途で使用することが出来ます。

位置決めステージの使用用途

ここで、位置決めステージの使用用途について説明します。

位置決めステージは、精密機器の分野において位置決めを行うための位置決め装置における移動体として使用されています。

ステージを目標位置に分解能単位で精密に移動させることで、設計通りの規格にすることができます。

ステージの種類には、XYステージという2軸直交型や、XYステージに上下方向の運動を加えたXYZステージという3軸直交型や、二次元平面に回転運動を加えたXY-Θ型ステージなどがあります。

具体的には、半導体やプリント基板などの分野や、液晶検査装置、レーザー関連装置、基板関連装置・各種移載装置・精密検査装置などで用いられています。

位置決めステージの原理

続いて、位置決めステージの原理について説明します。

位置決め装置は、力を出すアクチュエータ、アクチュエータが動作するための信号を制御するコントローラ、移動体であるステージ、ステージを支えるガイドなどから構成されています。

高い精度を保持しながら高速で作業を行える位置決め装置にするためには、移動体である位置決めステージの振動などが小さくなるようにするために、性質や制御機能を充実させる必要があります。

閉ループ制御やオープンループ制御、セミクローズド制御といった制御方式を用いることで、ステージの移動誤差を計測して、目標位置に部品を移動させます。
この際に、アッベの原理を利用して、アッベ誤差が小さくなるように調整します。

参考文献
https://www.jstage.jst.go.jp/article/jjspe/77/7/77_7_656/_pdf
https://www.ntn.co.jp/japan/products/catalog/pdf/6104.pdf
https://jp.misumi-ec.com/tech-info/categories/machine_design/md05/d0015.html
https://www.shi.co.jp/products/precision/position/
http://www.nichiei-industry.co.jp/product/stage.html

位置決めステージのメーカー情報

位置決めステージのメーカー13社一覧


位置決めステージのメーカーランキング

社員数の規模

  1. 1 住友重機械工業株式会社
  2. 2 シンフォニアテクノロジー株式会社
  3. 3 インターワイヤード株式会社

設立年の新しい会社

  1. 1 ハイフィネス・ジャパン株式会社
  2. 2 株式会社モーショントラスト
  3. 3 THKプレシジョン株式会社

歴史のある会社

  1. 1 住友重機械工業株式会社
  2. 2 シンフォニアテクノロジー株式会社
  3. 3 インターワイヤード株式会社

位置決めステージ5選

電動直進ステージ(自動直進ステージ)

株式会社日本レーザー 電動直進ステージ(自動直進ステージ) 画像出典: 株式会社日本レーザー公式サイト

特徴

株式会社日本レーザーの電動直進ステージ(自動直進ステージ)は、ストローク距離25mmの小型タイプからストローク距離1200mmの長可動距離タイプにわたって、nm分解能による位置決め精度を実現する高精度の1軸ステージです。

1軸ステージを組み合わせることで、2軸(XY)ステージ、3軸(XYZ)ステージを構成することも可能です。

これまでに航空宇宙産業や防衛産業といった環境下での実用によって培われたデータにより、過酷な環境下にも耐えうる耐久性に優れた電動ステージとして、幅広い市場・用途で利用されている産業用精密ステージです。

株式会社日本レーザーの会社概要

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位置決め基本機器

有限会社永信光機

特徴

有限会社永信光機では、主に研究用光学機器などに使用される回転ステージやXYZステージなどの位置決め基本機器(位置決めステージ)の開発・製造を行っています。

通常加工の位置決め機器以上の精度を実現するために、部品加工からアセンブリ、最終アライメントまでを各工程で微調整を加えながら一貫して行っています。

こうした丁寧な製造工程によって、1メモリ2.5µmという高精度な位置決めを実現可能にするステージの開発に成功しています。

有限会社永信光機の会社概要

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精密位置決め装置

住友重機械工業株式会社 精密位置決め装置 画像出典: 住友重機械工業株式会社公式サイト

特徴

住友重機会工業株式会社は、半導体、プリント基板などの用途に用いられる「小型サーフェスステージ」と「スタック型リニアガイドステージ」の2種類の精密位置決め装置(XYステージ)を取扱っています。

「小型サーフェスステージ」は、低重心構造を採用した反力処理機構により、高い位置決め精度を高速(1m/s)かつ高加減速(1G)で実現しています。

「スタック型リニアガイドステージ」は、リニアモータによるXYステージと反力処置機構により、高スループットかつ高い位置決め精度を実現しています。

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位置決めステージ XYθステージ、Zチルトステージ、XYθZステージ、Z軸ステージ

ヒーハイスト株式会社 位置決めステージ XYθステージ、Zチルトステージ、XYθZステージ、Z軸ステージ 画像出典: ヒーハイスト株式会社公式サイト

特徴

ヒーハイスト精工株式会社では、XYθステージ、Zチルトステージ、XYθZステージ、Z軸ステージの4種類の位置決めステージを開発・製造しています。

XYθステージは、電動アクチュレーターを平面状に配置することで低重心化を実現し、スムーズな駆動を可能にしています。

Zチルトステージは、くさび型機構により、加重を書けてもテーブル面がフレキシブルにチルト調整することが可能です。

XYθZステージは、XYθステージにZステージの機能を組み込む(ビルドイン)することで、低重心かつコンパクトな高精度他熟ステージを実現しています。

Z軸ステージは、高負荷状態でも高い精度で上下方向の位置決めが可能です。

ヒーハイスト株式会社の会社概要

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HDモータ式超薄形X-Y-θ精密位置決めステージ

シンフォニアテクノロジー株式会社

特徴

シンフォニアテクノロジー株式会社のHDモータ式超薄形X-Y-θ精密位置決めステージは、小型HDリニアモータと薄型HDモータを採用した国内最高水準の高い位置決め精度をもつ3軸アライメントステージです。

X-Yステージのストローク幅は±3mm、位置決め分解能は0.1µm、θ回転軸のセンサー分解能は200万p/r、回転角は360度です。

高精度で駆動可能なHDリニアモータとHDモータを搭載することで、バックラッシュによる位置決め誤差を抑えたダイレクト駆動による高精度のアライメントを実現しています。

シンフォニアテクノロジー株式会社の会社概要

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