位置決めステージのメーカー14社を一覧でご紹介します。まずは使用用途や原理についてご説明します。
目次
位置決めステージとは、モーターとボールねじを組み合わせた構造をした位置決め装置の移動体であるステージ部分のことで、ステージの目標位置に部品を移動させることで、位置を決定することができます。
精密な位置決めを行うことができるため、半導体やディスプレイ関連などの製造や検査をはじめとして、精密加工の分野において様々な用途で使用されています。
XYステージでは、二次元で自由な動きをすることが可能など、ステージの種類によってその特性をいかした用途で使用することが出来ます。
ここで、位置決めステージの使用用途について説明します。
位置決めステージは、精密機器の分野において位置決めを行うための位置決め装置における移動体として使用されています。
ステージを目標位置に分解能単位で精密に移動させることで、設計通りの規格にすることができます。
ステージの種類には、XYステージという2軸直交型や、XYステージに上下方向の運動を加えたXYZステージという3軸直交型や、二次元平面に回転運動を加えたXY-Θ型ステージなどがあります。
具体的には、半導体やプリント基板などの分野や、液晶検査装置、レーザー関連装置、基板関連装置・各種移載装置・精密検査装置などで用いられています。
続いて、位置決めステージの原理について説明します。
位置決め装置は、力を出すアクチュエータ、アクチュエータが動作するための信号を制御するコントローラ、移動体であるステージ、ステージを支えるガイドなどから構成されています。
高い精度を保持しながら高速で作業を行える位置決め装置にするためには、移動体である位置決めステージの振動などが小さくなるようにするために、性質や制御機能を充実させる必要があります。
閉ループ制御やオープンループ制御、セミクローズド制御といった制御方式を用いることで、ステージの移動誤差を計測して、目標位置に部品を移動させます。
この際に、アッベの原理を利用して、アッベ誤差が小さくなるように調整します。
参考文献
https://www.jstage.jst.go.jp/article/jjspe/77/7/77_7_656/_pdf
https://www.ntn.co.jp/japan/products/catalog/pdf/6104.pdf
https://jp.misumi-ec.com/tech-info/categories/machine_design/md05/d0015.html
https://www.shi.co.jp/products/precision/position/
http://www.nichiei-industry.co.jp/product/stage.html
社員数の規模
設立年の新しい会社
歴史のある会社