【2021年版】2軸ステージ メーカー28社一覧
2軸ステージについての概要、用途、原理などをご説明します。また、2軸ステージのメーカー28社一覧や企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。2軸ステージ関連企業の2021年9月注目ランキングは1位:日本精工株式会社、2位:THK株式会社、3位:株式会社東京精密となっています。
2軸ステージとは
2軸ステージ(XY軸ステージ)とは、左右方向の移動を行うX軸と縦方向の移動を行うY軸の2つの軸を持った位置決めステージのことです。これを使用することにより、位置決めがしやすくなるという利点があります。装置構成としては、それぞれの軸方向に動くステージを重ねる形で構成されることが一般的です。
ステージのガイド方式や送りの機構の違いなどで、精度や特長が異なるため、用途に合わせた選定が必要となります。
2軸ステージの使用用途
主な使用用途は、位置決めが必要となる作業を伴う、半導体装置の製造や顕微鏡での観察などです。ガイド方式や送り機構の違いによって、低精度なものから高精度なものまで様々な位置決め精度のステージが存在し、特長も異なるため、使用用途によって適切な精度と特徴を持ったステージを選択する必要があります。
2軸ステージの原理
2軸ステージは、ステージの「ガイド機構」と「送り機構」によって構成されます。それぞれの機構の方式により特徴が異なるため、代表的なものを説明します。
ガイド機構
- アリ溝方式: オスとメスの台形溝を摺動させてガイドする方式の機構で、摩擦係数が高いため、精度の高い位置決めには不向きですが、コストが抑えられるため、簡単な位置決めを行う用途においては最適です。
- クロスローラー方式: ローラーとV溝のレールによる線接触で移動する方式の機構で、高い剛性が得られます。また、低摩擦で微小な送りが可能なため、正確な位置決めにも適しています。
- ボール方式: 円弧に沿った加工を施したR溝とボールの接触による移動方式の機構で、R溝とボールとの接触がよく、あらゆる方向の荷重に対し、安定した負荷能力があります。移動精度もクロスローラー方式と大きな差はなく、正確な位置決めにも適しています。
送り機構
- ラック＆ピニオン: 「ラックギア」と呼ばれる歯を切ったレールと、「ピニオン」と呼ばれる歯車を組み合わせた送り機構です。素早くステージを送ることができるのが特長ですが、高精度な位置決めには不向きです。
- 送りねじ: おねじとめねじの関係を利用した、ねじ方式の送り機構です。ねじのピッチの分解能でステージを送ることができるので、細かな送りが可能ですが、送りの速度は遅く、長いストロークでの位置決めには不向きです。
- マイクロメータ: 送りねじよりも細かな精度での送りが可能な機構です。内部の構造としては送りねじとほとんど同じですが、目盛りもついているため、正確な移動量を把握することができます。こちらも送りの速度は遅いため、長いストロークでの位置決めには不向きです。
上記のようなガイド機構と送り機構の選択肢から、用途に合わせた組み合わせを選択し、2軸ステージを構成します。
また、2軸ステージの操作は手動での位置決めに限らず、各軸の駆動をモーターで行い、自動で位置決め可能な2軸ステージとして使用することもあります。この場合、位置決めの精度は送り機構の種類と駆動用モーターの分解能によって決まるため、モーターの仕様選定も重要になります。
一般的には、精密な位置決めが必要となる場合には、サーボモーターもしくはステッピングモーターを使用することが多いです。
参考文献
https://jp.misumi-ec.com/maker/misumi/mech/product/xy/faq/faq01.html
https://www.shodensha-inc.co.jp/solution/what-is-xy-stage/
2軸ステージのメーカー28社一覧
*一部商社などの取扱い企業なども含みます
企業の並び替え
2軸ステージのメーカーランキング
*一部商社などの取扱い企業なども含みます社員数の規模
- 1 日本精工株式会社
- 2 住友重機械工業株式会社
- 3 THK株式会社
設立年の新しい会社
- 1 ハイフィネス・ジャパン株式会社
- 2 コアーテック株式会社
- 3 株式会社スターマイクロ
歴史のある会社
- 1 鍋屋バイテック会社
- 2 住友重機械工業株式会社
- 3 日本精工株式会社
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