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ピエゾステージについての概要、用途、原理などをご説明します。また、ピエゾステージのメーカー18社一覧や企業ランキングも掲載しております。ピエゾステージ関連企業の2025年3月注目ランキングは1位:神津精機株式会社、2位:THKインテックス株式会社、3位:エドモンド・オプティクス・ジャパン株式会社となっています。
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水晶やある種のセラミックに電圧を印加すると変形する現象をピエゾ効果（逆圧電効果）と呼びます。この現象を直線運動や回転などの位置変化に利用したステージを、一般的にピエゾステージと呼びます。
ピエゾステージはナノメートルオーダーの微細な移動および位置分解能と、精確な位置再現性が最大の特長で、エンコーダと組み合わせることで精密なフィードバックシステムの構築が可能なため、科学研究分野や工業分野で広く活用されています。
ピエゾステージは微細な移動と位置分解能、精確な位置再現性、さらには応答が非常に速く、寿命が長いことが特長です。
また、エンコーダを利用し絶対的な位置情報を得ることで、精密なフィードバックシステムを構築することができます。
科学研究および工業分野で、下記のような用途に利用されています。
ある種のセラミックに電圧を印加すると変形する現象をピエゾ効果（逆圧電効果）と呼び、ピエゾ効果を示す物質を特にピエゾ素子と呼びます。
ピエゾ素子に見られる変形は、変化量が印加電圧に比例し、応答が非常に速く、可逆的であるという特徴を持ちます。
ピエゾ素子を位置決め用メカニズムとして形成したものをピエゾアクチュエータと呼び、ピエゾアクチュエータを組み込んだステージを一般的にピエゾステージと呼びます。
ピエゾステージは通常のモーターを利用したステージとは異なり、高い位置分解能と位置再現性、少ない消費電力での高負荷、速い位置応答という特徴があり、精確で速い位置決めが必要な場所で広く活用されています。
また磁石を利用しないので、周囲の磁場の影響をうけず、逆に周辺環境に磁場の影響を与えません。
真空中でも使用可能です。
一方で大きな移動量が必要な場合には機械的サポートを付加する必要があります。
またピエゾ素子の発熱と変形量の温度依存性には注意が必要です。
参考文献
https://www.rockgateco.com/product/scate/pos-ecs
http://www.keystone-intl.co.jp/products/encyclopedia/index.html
*一部商社などの取扱い企業なども含みます。
| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | 神津精機株式会社 |
15.6%
|
| 2 | THKインテックス株式会社 |
12.5%
|
| 3 | エドモンド・オプティクス・ジャパン株式会社 |
9.4%
|
| 4 | 株式会社メステック |
9.4%
|
| 5 | 株式会社フィジックステクノロジー |
6.3%
|
| 6 | ピーアイ・ジャパン株式会社 |
6.3%
|
| 7 | 株式会社日本レーザー |
6.3%
|
| 8 | 翔栄システム株式会社 |
6.3%
|
| 9 | ロックゲート株式会社 |
6.3%
|
| 10 | THKプレシジョン株式会社 |
6.3%
|
項目別
ドライブの種類
PICMA移動範囲 µm
0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000分解能 nm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2共振周波数 Hz
0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000剛性 N/μm
0 - 0.5 0.5 - 1双方向再現性 nm
0 - 1 1 - 2 2 - 10直線性誤差 %
0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2電気容量 µF
0 - 1 2 - 5 5 - 10回転クロストーク µrad
1 - 5 5 - 10 10 - 5020 点の製品がみつかりました
20 点の製品
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