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ピエゾステージのメーカー18社一覧や企業ランキングを掲載中！ピエゾステージ関連企業の2025年5月注目ランキングは1位:株式会社フィジックステクノロジー、2位:フォトニックインストゥルメンツ株式会社、3位:THKインテックス株式会社となっています。 ピエゾステージの概要、用途、原理もチェック！
水晶やある種のセラミックに電圧を印加すると変形する現象をピエゾ効果（逆圧電効果）と呼びます。この現象を直線運動や回転などの位置変化に利用したステージを、一般的にピエゾステージと呼びます。
ピエゾステージはナノメートルオーダーの微細な移動および位置分解能と、精確な位置再現性が最大の特長で、エンコーダと組み合わせることで精密なフィードバックシステムの構築が可能なため、科学研究分野や工業分野で広く活用されています。
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2025年5月の注目ランキングベスト10
| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | 株式会社フィジックステクノロジー |
11.4%
|
| 2 | フォトニックインストゥルメンツ株式会社 |
9.1%
|
| 3 | THKインテックス株式会社 |
9.1%
|
| 4 | ピーアイ・ジャパン株式会社 |
9.1%
|
| 5 | 株式会社アド・サイエンス |
9.1%
|
| 6 | 光貿易株式会社 |
6.8%
|
| 7 | 株式会社東京インスツルメンツ |
6.8%
|
| 8 | 株式会社メステック |
6.8%
|
| 9 | 神津精機株式会社 |
6.8%
|
| 10 | エドモンド・オプティクス・ジャパン株式会社 |
6.8%
|
項目別
使用用途
#精密位置決め #顕微鏡制御 #光学調整 #半導体製造 #ナノ操作 #干渉計測ドライブの種類
PICMA移動範囲 µm
50 - 100 100 - 200分解能 nm
0 - 0.5共振周波数 Hz
0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000剛性 N/μm
0 - 0.5 2 - 3双方向再現性 nm
0 - 1 1 - 2 2 - 10直線性誤差 %
0 - 0.05 0.1 - 0.2電気容量 µF
0 - 1 2 - 5回転クロストーク µrad
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 507 点の製品がみつかりました
7 点の製品
ピーアイ・ジャパン株式会社
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■応用分野 ・度量衡 ・干渉計 ・フォトニクス/集積光学 ・リトグラフ ・ナノポジショニング ・走査型顕微鏡 ・サンプルアライメント ・...
ピーアイ・ジャパン株式会社
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■応用分野 ・干渉計 ・顕微鏡 ・ナノポジショニング ・バイオテクノロジー ・テストアプリケーション ・半導体技術 ・フォトニクス ・フ...
ピーアイ・ジャパン株式会社
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■応用分野 ・干渉計 ・顕微鏡 ・ナノポジショニング ・バイオテクノロジー ・テストアプリケーション ・半導体技術 製品概要 ■PICMA®ピ...
ピーアイ・ジャパン株式会社
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■応用分野 ・干渉計 ・顕微鏡 ・ナノポジショニング ・バイオテクノロジー ・テストアプリケーション ・半導体技術 ・フォトニクス ・フ...
ピーアイ・ジャパン株式会社
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■特徴 ・コンパクト：面60mm×60mm ・100μm×100μm閉ループ移動範囲 (130μm×130μm、開ループ) ・コスト重視のアプリケーション向け ・有...
ピーアイ・ジャパン株式会社
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■特徴 ・移動範囲50～1,800µm ・0.1nmまでの分解能 ・位置決め精度 0.02% ・静電容量センサーによる直接位置測定 ・X、XY、Z、XYZバージ...
株式会社日本レーザー
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高精度ピエゾ駆動モータおよび位置決め製品。超高真空・非磁性対応。高精度アライメント用途などのナノポジショナーとして産業分野での...
水晶やある種のセラミックに電圧を印加すると変形する現象をピエゾ効果（逆圧電効果）と呼びます。この現象を直線運動や回転などの位置変化に利用したステージを、一般的にピエゾステージと呼びます。
ピエゾステージはナノメートルオーダーの微細な移動および位置分解能と、精確な位置再現性が最大の特長で、エンコーダと組み合わせることで精密なフィードバックシステムの構築が可能なため、科学研究分野や工業分野で広く活用されています。
ピエゾステージは微細な移動と位置分解能、精確な位置再現性、さらには応答が非常に速く、寿命が長いことが特長です。
また、エンコーダを利用し絶対的な位置情報を得ることで、精密なフィードバックシステムを構築することができます。
科学研究および工業分野で、下記のような用途に利用されています。
ある種のセラミックに電圧を印加すると変形する現象をピエゾ効果（逆圧電効果）と呼び、ピエゾ効果を示す物質を特にピエゾ素子と呼びます。
ピエゾ素子に見られる変形は、変化量が印加電圧に比例し、応答が非常に速く、可逆的であるという特徴を持ちます。
ピエゾ素子を位置決め用メカニズムとして形成したものをピエゾアクチュエータと呼び、ピエゾアクチュエータを組み込んだステージを一般的にピエゾステージと呼びます。
ピエゾステージは通常のモーターを利用したステージとは異なり、高い位置分解能と位置再現性、少ない消費電力での高負荷、速い位置応答という特徴があり、精確で速い位置決めが必要な場所で広く活用されています。
また磁石を利用しないので、周囲の磁場の影響をうけず、逆に周辺環境に磁場の影響を与えません。
真空中でも使用可能です。
一方で大きな移動量が必要な場合には機械的サポートを付加する必要があります。
またピエゾ素子の発熱と変形量の温度依存性には注意が必要です。
参考文献
https://www.rockgateco.com/product/scate/pos-ecs
http://www.keystone-intl.co.jp/products/encyclopedia/index.html
