X線分析装置
メーカー14社【2025年】

X線分析装置についての概要、用途、原理などをご説明します。また、X線分析装置のメーカー14社一覧や企業ランキングも掲載しております。X線分析装置関連企業の2025年2月注目ランキングは1位:株式会社リガク、2位:株式会社島津製作所、3位:株式会社日立ハイテクサイエンスとなっています。

X線分析装置とは？
X線分析装置のメーカー14社
X線分析装置52製品

X線分析装置とは

x線分析装置

X線分析装置とは、対象物にX線を照射した際の蛍光X線スペクトルによって元素の含有量を解析する装置のことです。

粉末状の試料だけでなく、固体や液体でも測定が可能で、試料を破壊することなく短時間で調べることができるため、物質の組成分析方法として幅広く活用されています。 X線分析装置は、粉末試料の成分分析や結晶構造解析など、様々な分野で利用されています。

X線分析装置は、物質の定性分析（どのような元素が含まれているか）や定量分析（各元素がどのくらいの割合で含まれているか）に利用されており、信頼性が高い検査装置です。

X線分析装置の使用用途

X線分析装置は、固体、液体を問わず試料の定性分析、定量分析を非破壊で行うことができます。特に合金材料や土壌に含まれる有害金属の有無とその含有量を調べるために利用されています。

例えば、岩石、隕石など成分が未知の物質の組成を調べる際にはX線分析が有効です。最近では、環境や安全保全の観点からプリント配線のハロゲンフリー化が進められており、その保証のためにX線分析装置で分析がされています。他にも、有害性化学物質の定性と定量に利用され、RoHS指令で定める物質の検査に利用されます。また、簡単に持ち運べる携帯型装置も販売され、用途が広がっています。

X線分析装置の原理

図1. X線分析装置の構造

図1. (a) 蛍光X線の発生　(b) X線分析装置の構造

X線分析装置では、対象にX線を照射して放出される蛍光X線の波長 (またはエネルギー) と強度を計測しています。

物質にX線を照射するとその原子はエネルギーを吸収して励起し、蛍光X線を発します。蛍光X線の波長 (またはエネルギー) は元素ごとに固有であるため、検出した蛍光X線スペクトルの波長から物質の種類を特定し、その強度から定量をすることも可能です。

X線分析装置は、X線を発生させるX線源、試料を保持する試料室、生じた蛍光X線を分光・検出する検出部で構成されています。

X線源では、高電圧をかけて発生させた電子線を、タングステン等のターゲットに照射しX線を発生させます。生じたX線を試料の上面または下面に照射します。このとき、試料室内は大気や窒素、真空など雰囲気が選択できることがあります。

また、試料観察モードが付属しているX線分析装置では試料を観察しながら照射位置を選択できることがあります。試料から放出される元素由来の蛍光X線を検出器で検出し、定性分析を行います。定量分析においては蛍光X線の強度を測定し検量線やファンダメンタルパラメーター法 (FP法) を用いて含有率を求めます。

X線分析装置の分光・検出方法には波長分散型とエネルギー分散型があります。

1. エネルギー分散型蛍光X線分析装置

図2. エネルギー分散型X線分析装置の測定イメージ

図2. エネルギー分散型X線分析装置の測定イメージ

エネルギー分散型蛍光X線分析装置 (略称: ED-XRF、またはEDX、EDS) は、蛍光X線のエネルギーに対してその強度を測定する方法です。

具体的には、検出器に入射した蛍光X線を検出器内の半導体でパルス電流に変換し、増幅したのちにパルス1個の電流値から波高を測定します。電流値から入射したX線のエネルギーは電流値に比例するため、蛍光X線のエネルギーに対するその強度のグラフが得られます。

2. 波長分散型蛍光X線分析装置

図3. 波長分散型X線分析装置の測定イメージ

図3. 波長分散型X線分析装置の測定イメージ

波長分散型蛍光X線分析装置 (略称: WD-XRF、またはWDX、WDS) では、蛍光X線の波長に対してその強度を測定する方法です。

波長分散型では、試料から発生した蛍光X線を分光結晶により分光し、検出器で測定します。分光結晶に入射した蛍光X線はブラッグの回折条件に従ってある特定の方向に強く散乱されます。

ブラッグの回折条件とは、波長λの光が格子面間隔dの物質に入射したとき、2dsinθ＝nλ (θ: ブラッグ角 n: 整数) を満たす回折角2θの方向に強く散乱されるという法則です。つまり、分光結晶の面間隔dは固定されているため、様々な波長のX線が入射しても、回折角2θの方向に検出器がある時は1種類の波長のX線のみが検出されます。検出部を回転させ広い角度で蛍光X線を測定すると、蛍光X線の波長に対するその強度のグラフを得ることができます。

X線分析装置のその他情報

エネルギー分散型と波長分散型の特徴

エネルギー分散型と波長分散型の検出方法にはそれぞれ特徴があり、用途に応じて適切に選択する必要があります。

1. エネルギー分散型
エネルギー分散型は分光の必要がなく、半導体の検出器が直接蛍光X線の波長を分析することができるため、小型化することが可能です。また、分光の必要がなく一度に複数種類の元素分析が行えるため、短時間で測定が可能です。試料の形状や凹凸に関係せずに測定できるため、電子顕微鏡などと併用して使われることがあります。

一方、得られるスペクトルのピークが重なることがあり分解能が低い傾向にあり、測定対象に微量しか含まれない元素の検出が難しいといったデメリットもあります。

2. 波長分散型
波長分散型では蛍光X線を分光結晶で分光し、検出器で測定します。波長で分光するため、隣接ピークの分離が容易で高感度かつ分解能も高い傾向にあります。

一方で、複雑な分光系を有するため装置自体は大型で高価になる傾向があります。また、回折角を変化させながら測定するためエネルギー分散型に比べて測定に時間がかかり、試料表面は平滑である必要があります。

参考文献
https://www.jaima.or.jp/jp/analytical/basic/xray/eds/
http://www.rada.or.jp/database/home4/normal/ht-docs/member/synopsis/040303.html
https://www.researchgate.net/profile/Keita_Yamasaki2/publication/
http://www.pref.mie.lg.jp/common/content/000171791.pdf
https://www.researchgate.net/profile/Keita_Yamasaki2/publication/
https://www.jaima.or.jp/jp/analytical/basic/xray/wds/

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X線分析装置メーカー 14社

*一部商社などの取扱い企業なども含みます。

- - 株式会社日立ハイテクサイエンスメーカー
    蛍光X線分析装置（XRF）一覧
  - 会社サイト創業: 2000年従業員数: 671人資本金: 100,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都港区虎ノ門一丁目17番1号虎ノ門ヒルズビジネスタワー
- - 株式会社島津製作所メーカー
    X線回折装置
  - 会社サイト上場(東証プライム) 創業: 1875年従業員数: 13,499人会社詳細
  - 住所: 京都府京都市中京区西ノ京桑原町1番地
- - 株式会社リガクメーカー
    蛍光X線分析装置（XRF）一覧
  - 会社サイト創業: 1951年従業員数: 780人資本金: 100,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都昭島市松原町3-9-12
- - 株式会社エビデントメーカー
    蛍光x線分析装置一覧
  - 会社サイト創業: 2021年従業員数: 4,000人資本金: 100,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都新宿区西新宿2-3-1　新宿モノリス
- - 日本電子株式会社メーカー
    JSX-1000S エネルギー分散形蛍光X線分析装置(XRF)
  - 会社サイト上場(東証プライム) 創業: 1949年従業員数: 3,291人会社詳細
  - 住所: 東京都昭島市武蔵野3丁目1番2号
- - 川重テクノロジー株式会社メーカー
    全反射X線光電子分光分析装置
  - 会社サイト創業: 1978年従業員数: 369人会社詳細
  - 住所: 兵庫県明石市川崎町3-1
- - フォス･ジャパン株式会社メーカー
    分析装置
  - 会社サイト創業: 1974年従業員数: 30人会社詳細
  - 住所: 東京都江東区青海2-4-14　青海フロンティアビル11F
- - 株式会社日立ハイテクソリューションズメーカー商社・代理店
    エネルギー分散型X線分析装置
  - 会社サイト創業: 1987年従業員数: 693人資本金: 400,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都港区虎ノ門一丁目17番1号虎ノ門ヒルズビジネスタワー
- - 株式会社光子発生技術研究所
    XAFS
  - 会社サイト会社詳細
  - 住所: 滋賀県草津市穴村町576番地1
- - 株式会社アールエフ
    【小型・手頃な値段】X線分析装置
  - 会社サイト創業: 1998年従業員数: 350人資本金: 1,782,200,000円会社詳細
  - 住所: 長野県長野市南長池299-16
- - プロトマニュファクチュアリング株式会社
    X線分析装置一覧
  - 会社サイト創業: 2009年会社詳細
  - 住所: 愛知県稲沢市奥田中切町82
- - スペクトリス株式会社マルバーン・パナリティカル事業部
    X線分析装置
  - 会社サイト創業: 1948年従業員数: 2,000人会社詳細
  - 住所: 兵庫県神戸市中央区港島南町5-5-2 神戸国際ビジネスセンター北館511
- - 竹田理化工業株式会社商社・代理店
    エネルギー分散型蛍光X線分析装置
  - 会社サイト創業: 1948年従業員数: 156人会社詳細
  - 住所: 東京都渋谷区恵比寿西2丁目7-5
- - 株式会社鈴峯商社・代理店
    蛍光X線分析装置
  - 会社サイト会社詳細
  - 住所: 東京都品川区上大崎3-14-34　プラスワンビル２F

X線分析装置 2025年2月のメーカーランキング

*一部商社などの取扱い企業なども含みます

2025年2月の注目ランキングベスト10

順位	会社名	クリックシェア
1	株式会社リガク	30.4%
2	株式会社島津製作所	17.4%
3	株式会社日立ハイテクサイエンス	13.9%
4	日本電子株式会社	7.0%
5	株式会社アールエフ	5.2%
6	株式会社エビデント	5.2%
7	川重テクノロジー株式会社	4.3%
8	スペクトリス株式会社マルバーン・パナリティカル事業部	4.3%
9	フォス･ジャパン株式会社	3.5%
10	竹田理化工業株式会社	2.6%