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ノンパターンウェーハのパーティクルを高感度で測定 ウェハー表面検査装置 WM-7S-WM-7S
ノンパターンウェーハのパーティクルを高感度で測定 ウェハー表面検査装置 WM-7S-入江株式会社

ノンパターンウェーハのパーティクルを高感度で測定 ウェハー表面検査装置 WM-7S
入江株式会社

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この製品について

ウェーハ表面のパーティクルを高感度に検出することが可能で、半導体製造の歩留まり維持に欠かせない装置です。

■特長

・高感度測定⇒短波長レーザの採用による高感度化 ・高ダイナミックレンジ (Bare-Si) ⇒0.079㎛~5.0㎛ ・高い感度安定性⇒繰り返し測定の再現性1%以下 (標準偏差σ/粒子総数の平均値X) ・高コストパフォーマンス ・低ランニングコスト⇒Violet LD採用による長寿命・低消費電力設計

■用途

・デバイス量産工程 プロセス・工程管理設備メンテ前後のパーティクル検査・管理パーティクル座標を用いた分析・解析 ・新規ライン構築・設備導入 設置後のパーティクル検査・管理 ・ウェーハ・再生ウェーハメーカ プロセス・工程管理 ・研究機関・大学 プロセス開発 ・レジスト・薬剤・研磨剤 パーティクル検査・評価 ・装置・設備メーカ 開発・製造・出荷前のパーティクル評価等

■SMIFシステム搭載可能 (ウェーハサイズ200mm)

SMIFとHEPAフィルタの組み合わせで局所クリーン環境を実現

■各種ソフトウェア

・XY座標出力⇒SEM・AFMでの異物分析に使用 ・マップ重ね合わせソフト⇒リファレンスウェーハに対するパーティクルの増減を可視化・洗浄工程の能力確認・プロセス装置によるパーティクル増加の確認が可能 ・ヘイズ測定機能⇒膜付きウェーハの表面状態 (ラフネス) を確認可能

■自動感度補正

・感度補正作業を自動化 ・簡単な操作で感度チェックが可能 ・PSL粒子を塗布した校正用ウェーハを利用して正確な感度補正が可能

  • シリーズ

    ノンパターンウェーハのパーティクルを高感度で測定 ウェハー表面検査装置 WM-7S

企業レビュー 4.5

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投稿した日時: 2024年5月20日

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ノンパターンウェーハのパーティクルを高感度で測定 ウェハー表面検査装置 WM-7S 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 対応ウェーハサイズ 最高検出感度 光源 走査方式 大きさ (mm) 装置電源 到達真空度 圧力空気
ノンパターンウェーハのパーティクルを高感度で測定 ウェハー表面検査装置 WM-7S-品番-WM-7S

WM-7S

要見積もり 50mm~200mm Bare-Siウェーハ:0.079㎛ Violet LD (約405nm) スパイラルスキャン 860 (W) ×900 (D) ×1,650 (H) 単相AC200V、20A -101kPa~-73kPa (-80kPa目安) 20~50ℓ/min (真空ポンプ能力相当) 口径 1/4 in 490kPa~980kPa (500kPa目安) 2ℓ/min 口径 1/4 in

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この商品の取り扱い会社情報

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企業レビュー

4.5

会社概要

入江株式会社は、東京都中央区に本社を置く、製造機械、製造消耗品、測定・検査機器などを販売する、科学技術専門の商社である。 基礎研究分野、大学、半導体エネルギー・液晶産業、二次電池・太陽電池などの新エネルギー、医療・医薬品...

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  • 本社所在地: 東京都
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