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ノンパターンウェーハのパーティクルを高感度で測定 ウェハー表面検査装置 WM-7S取扱企業
入江株式会社カテゴリ
Metoree経由で見積もりをしたユーザーからのレビュー
投稿した日時: 2024年5月20日
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半導体外観検査装置の製品11点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 対応ウェーハサイズ | 最高検出感度 | 光源 | 走査方式 | 大きさ (mm) | 装置電源 | 到達真空度 | 圧力空気 |
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WM-7S |
要見積もり | 50mm~200mm | Bare-Siウェーハ:0.079㎛ | Violet LD (約405nm) | スパイラルスキャン | 860 (W) ×900 (D) ×1,650 (H) | 単相AC200V、20A | -101kPa~-73kPa (-80kPa目安) 20~50ℓ/min (真空ポンプ能力相当) 口径 1/4 in | 490kPa~980kPa (500kPa目安) 2ℓ/min 口径 1/4 in |