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半導体露光装置のメーカー20社一覧や企業ランキングを掲載中！半導体露光装置関連企業の2025年12月注目ランキングは1位:株式会社オーク製作所、2位:日本電波工業株式会社、3位:長浜キヤノン株式会社です。
半導体露光装置は、半導体製造工程の内、シリコンウェーハに回路パターンを描写するための装置になります。回路パターンの原型となるフォトマスクに強力な紫外光を透過させ、フォトレジストを塗布したシリコンウェーハに回路パターンを転写します。近年では、細かい回路パターンを微細化するためにEUVと呼ばれる波長が13nmのレーザーを使用する装置もあります。位置決めなどが非常に高精度で要求されるため、装置の値段が高価です。
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2025年12月の注目ランキングベスト10
| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | 株式会社オーク製作所 |
20.0%
|
| 2 | 日本電波工業株式会社 |
18.0%
|
| 3 | 長浜キヤノン株式会社 |
11.0%
|
| 4 | 株式会社ニコン |
10.0%
|
| 5 | 日本ゴア合同会社 |
8.0%
|
| 6 | 株式会社SCREENホールディングス |
5.0%
|
| 7 | 株式会社川崎製作所 |
4.0%
|
| 8 | 壺坂電機株式会社 |
4.0%
|
| 9 | 株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ |
3.0%
|
| 10 | ネオアーク株式会社 |
3.0%
|
項目別
使用用途
#ナノテクノロジー
#高解像度
#周期的構造
#LED
#PCB
#研究開発
#非平坦基板
#フォトニクス
#光回折
露光方式
ステッパ型
スキャナ型
フラッシュ型
ダイレクト描画型
光源種類
紫外光型
エキシマレーザー型
対応基板サイズ
6インチ対応型
8インチ対応型
12インチ対応型
精度制御方式
光学制御型
ステージ制御型
光源波長 nm
300 - 400
400 - 500
500 - 600
最小露光線幅 μm
0 - 10
10 - 20
ワークサイズ mm
0 - 100
100 - 200
200 - 300
露光領域 mm
0 - 50
50 - 100
100 - 150
ステージ
手動XYZθステージ
電動XYZθステージ
5軸ステージ
重量 kg
0 - 50
50 - 100
100 - 300
300 - 400
400 - 1,300
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