全てのカテゴリ
閲覧履歴
形状解析レーザー顕微鏡についての概要、用途、原理などをご説明します。また、形状解析レーザー顕微鏡のメーカー8社一覧や企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。形状解析レーザー顕微鏡関連企業の2024年11月注目ランキングは1位:カールツァイス株式会社、2位:レーザーテック株式会社、3位:株式会社島津製作所となっています。
形状解析レーザー顕微鏡 (英: 3D laser scanning confocal microscope) とは、レーザー光を用いて、物体の表面形状を測定できる顕微鏡です。
同様の機能を持ったものに、カンチレバーのような接触式のプローブを搭載した顕微鏡もありますが、表面に触れるため試料を傷つけたり、破損したりする恐れがあります。一方、形状解析レーザー顕微鏡は光の反射を利用するので、非接触での検査が可能です。
光学系は一般的な共焦点レーザー顕微鏡と全く同じですが、3次元の情報を得るために、高速のMEMSスキャナーやレゾナントスキャナーを採用することで、スキャン時間を短縮する製品が多く販売されています。
形状解析レーザー顕微鏡は、様々な製品の検査や問題点の探索などに用いられます。特に半導体部品やプリント基板は、部品自体が非常に小さく、精緻な表面構造をもっているため、非接触・非破壊での検査が可能な形状解析レーザー顕微鏡を使用する場合が多いです。
問題のない製品をリファレンスとして用いて、検査品の画像と重ね合わせることで、問題箇所の迅速な発見ができます。また、非接触であるため柔らかい試料にも対応可能で、特殊な前処理なども不要なことから食品などの検査にも使用されます。
形状解析レーザー顕微鏡は、レーザーを照射してその反射光を検出することによって、表面の形状情報を取得します。
光の強度は距離の二乗で減衰するので、反射光の強度をモニターすれば、表面までの距離がわかります。このとき、非焦点からの光が挿入すると、反射光の増減が平均化されて感度が落ちてしまいます。
これを防ぐために、形状解析レーザー顕微鏡では、共役する焦点面にピンホールを配置した共焦点光学系を採用し、非焦点面からの余分な光をカットします。こうして正確に得られる表面までの距離情報を、レーザーのXY方向スキャンにより、2次元情報として得ることが可能です。
さらに対物レンズをZ方向にスキャンすれば、立体的な3次元形状解析を行うことができます。平面方向の空間分解能は、一般的な光学顕微鏡と同様に、アッベの法則によりレーザーの波長に依存します。
そのため、試料に問題が無ければ、より波長の短い405nmなどの近紫外レーザーを用いると、高分解能の測定が可能です。
顕微鏡には、主に光学顕微鏡、電子顕微鏡、走査型プローブ顕微鏡の3種類があります。レーザー顕微鏡は、光学顕微鏡の中の1つです。
レーザー顕微鏡のレーザー照射から画像表示までの手順は、次の6ステップになります。
レーザー顕微鏡における表面の粗さは、部品加工面の凸凹状態を表す指標です。表面粗さは、ハイト (高さ) やディープ (深さ) 、ディスタンス (間隔) が違う山および谷が連続する周期的な形状を指します。
表面粗さによって、手触りや質感が変化しますが、表面粗さの大きい表面ほど触るとざらざらし、光の反射も減少します。逆に、表面粗さが小さいものは表面がなめらかで、ミラーの様に激しく光を反射します。
現代では製品の質感や手触り等が重要視されており、外観の品質管理上における粗さは重要な指標です。表面粗さを示す指標として、平均値を使った算術的な平均の粗さ (Ra) 、山と谷の合計を使った最大高さ (Rz) 等が挙げられます。
参考文献
https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj/57/8/57_8_559/_pdf/-char/ja
https://www.olympus-ims.com/ja/metrology/ols4500/
https://www.keyence.co.jp/ss/3dprofiler/keijou/laser/site/
*一部商社などの取扱い企業なども含みます。
2024年11月の注目ランキングベスト4
注目ランキング導出方法| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | カールツァイス株式会社 |
37.5%
|
| 2 | レーザーテック株式会社 |
25.0%
|
| 3 | 株式会社島津製作所 |
25.0%
|
| 4 | ライカマイクロシステムズ株式会社 |
12.5%
|
注目ランキング導出方法について
注目ランキングは、2024年11月の形状解析レーザー顕微鏡ページ内でのクリックシェアを基に算出しています。クリックシェアは、対象期間内の全企業の総クリック数を各企業のクリック数で割った値を指します。社員数の規模
設立年の新しい会社
歴史のある会社
6 点の製品がみつかりました
6 点の製品
株式会社中山電機
150人以上が見ています
最新の閲覧: 7時間前
100.0% 返答率
73.5時間 返答時間
今まで行っていた、不透明な材料、部品の3D観察が可能に。 内部組織の”3D観察”と”数値化”を実現。 実用的な視野範囲、シリアルセクショニング法。 ■数ヶ月...
コスモトレーディング株式会社
90人以上が見ています
最新の閲覧: 13時間前
返信の比較的早い企業
4.0 会社レビュー
100.0% 返答率
24.3時間 返答時間
多様なニーズに応える6つの機能。2つのコンフォーカル光学系をベースに、微分干渉観察、垂直式白色干渉測定、位相シフト干渉測定、反射分光膜厚測定の6つの機...
カールツァイス株式会社
40人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
34.3時間 返答時間
■独自の共焦点体験 最大36チャンネルを同時検出可能な光効率に優れたビームパスと、近赤外 (NIR) 領域までのスペクトルの柔軟性が、生体試料を用いたマルチカ...
カールツァイス株式会社
20人以上が見ています
最新の閲覧: 6時間前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
34.3時間 返答時間
170年の経験とすべてのデバイスにわたる比類のないデータ処理機能：アプリケーション指向の接続型工業用顕微鏡ソリューションの包括的なポートフォリオを備え...
北野精機株式会社
40人以上が見ています
最新の閲覧: 15時間前
100.0% 返答率
50.9時間 返答時間
■特徴 本装置は、走査型レーザー顕微鏡を使用し、試料を真空中や高温・ガス雰囲気など様々な環境において挙動変化を観る観察・検査装置です。トランスファー...
アルバック販売株式会社
60人以上が見ています
最新の閲覧: 16時間前
100.0% 返答率
125.8時間 返答時間
■概要 世界最高のラマンイメージングに、革新的なユーザビリティが加わりました。ラマン分光は、ここまで進化します。 最高のイメージング性能を誇るナノフ...
製品の閲覧数をもとに算出したランキング
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
一括見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%
96%以上の方が返答を受け取っています
JAIは幅広い分野に高性能・高解像度のエリアスキャンとラインスキャンカメラを中心に幅広い製品を取り揃えています。単板式と独自のプリズム技術をベースに開...
2022年12月6日
