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形状解析レーザー顕微鏡のメーカー7社一覧や企業ランキングを掲載中!形状解析レーザー顕微鏡関連企業の2025年5月注目ランキングは1位:株式会社キーエンス、2位:株式会社島津製作所となっています。 形状解析レーザー顕微鏡の概要、用途、原理もチェック!
形状解析レーザー顕微鏡 (英: 3D laser scanning confocal microscope) とは、レーザー光を用いて、物体の表面形状を測定できる顕微鏡です。
同様の機能を持ったものに、カンチレバーのような接触式のプローブを搭載した顕微鏡もありますが、表面に触れるため試料を傷つけたり、破損したりする恐れがあります。一方、形状解析レーザー顕微鏡は光の反射を利用するので、非接触での検査が可能です。
光学系は一般的な共焦点レーザー顕微鏡と全く同じですが、3次元の情報を得るために、高速のMEMSスキャナーやレゾナントスキャナーを採用することで、スキャン時間を短縮する製品が多く販売されています。
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