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株式会社リガク

【2020年版】X線顕微鏡 メーカー9社・39製品一覧

X線顕微鏡のメーカー9社・39製品を一覧でご紹介します。まずは使用用途や原理についてご説明します。


目次


X線顕微鏡とは

X線顕微鏡は、X線を光源として対象物の構造を観察することができます。一般に電磁波を用いる顕微鏡において、空間分解能はその波長に依存します。X線は、可視光よりも100倍から10000倍波長が短く、精細な画像を取得することができます。また、X線は透過性が高く、物質を透過する際に、内部の構造や厚み、組成に固有の減衰をするため、これによってコントラストのついた画像を得ることができます。また、試料を回転させながら連続的に取得した画像を3D 再構成すると、断層像(いわゆるCT)の取得が可能です。

X線顕微鏡の使用用途

主に工業分野の検査において使われます。X線を用いれば非接触・非破壊の検査ができるため、部品の欠陥検査や特性検査を行う際に使用されます。また、岩石などの構造評価を行い、新規の原材料としての特性評価を行うためのパラメータ取得を行うことができます。また半導体製造分野では超微細加工を施した製品の特性評価を行うために使用されることも多くなってきました。水分を多く含む生体試料を観察する際は、水の吸収が低いX線の波長領域を使用することでコントラストの高い画像を取得できます。

X線顕微鏡の原理

X線顕微鏡は、X線の照射による試料との相互作用を観測します。使用されるX線の波長は、1~10 nmの軟X線と呼ばれるものが多く、特に2.3~4.3 nmの領域は、水の吸収が極端に低く「水の窓」と呼ばれ生体試料の観察などに用いられます。X線の透過率をコントラストとして画像取得を行うものと、X線照射によって発生するX線照射により生じる蛍光X線を検出するものがあります。蛍光X線はX線照射によって物質中の内殻電子が励起されることで生じたホールに外殻の電子が緩和する際に内殻と外殻のエネルギー差に対応したX線線を生じる現象で、放射されるX線を蛍光X線または特定X線と呼びます。蛍光X線は原子により固有の波長を持っているため、元素分析などにも応用できます。
また、光学系も光学素子の有無によって2種類に大別され、光学素子を用いないものには投影拡大法と密着法があります。X線像波レンズを使って拡大することができないので、試料と撮像面を物理的に離して拡大投影する必要があります。光学素子を用いた結像法は、光の解説を用いたゾーンプレートを用いる方法や、全反射や多層膜反射を利用したミラーを用いて実現されます。

参考文献
https://www.jstage.jst.go.jp/article/kenbikyo1950/38/1/38_1_3/_pdf
https://www.toray-research.co.jp/technical-info/analysis/form/for_008.html

X線顕微鏡のメーカー情報

X線顕微鏡のメーカーランキング

社員数の規模

  1. 1 HORIBAグループ
  2. 2 株式会社リガク
  3. 3 東芝ナノアナリシス株式会社

設立年の新しい会社

  1. 1 東芝ナノアナリシス株式会社
  2. 2 日本ビジュアルサイエンス株式会社
  3. 3 有限会社イワキエンジニアリング

歴史のある会社

  1. 1 HORIBAグループ
  2. 2 株式会社リガク
  3. 3 アルファーミラージュ株式会社

X線顕微鏡のメーカー9社一覧


X線顕微鏡の39製品一覧

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