赤外顕微鏡についての概要、用途、原理などをご説明します。また、赤外顕微鏡のメーカー12社一覧や企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。赤外顕微鏡関連企業の2023年1月注目ランキングは1位:株式会社島津製作所、2位:日本分光株式会社、3位:株式会社オプトサイエンスとなっています。
赤外顕微鏡は赤外線を用いて、対象を非破壊・非接触的に測定できる光学顕微鏡の一種です。顕微鏡としての機能は一般的な光学顕微鏡と同じですが、光源に波長の長い赤外線を使用するので、回折限界によって空間分解能は制限されてしまいます。しかし、物質は赤外線に対して固有の応答を示すことが多く、分光解析を行うことで物質を構成する成分の分析なども行うことができます。現在販売されている赤外顕微鏡は、フーリエ変換赤外分光法(FTIR)や全反射法など一般的な赤外分光器としての機能を兼ね備えたものも多く販売されています。
赤外顕微鏡は、画像を撮影するための顕微鏡機能と、スペクトル解析を行うための分光器としての機能をもっているため、二次元の化学情報を取得できるFTIRイメージングを行うことができます。このようなFTIRはイメージングは生体内の組織学的評価や病理学的な観察に貢献しています。また、工業分野において、赤外線の吸収率の違いなどを利用して固体中の異物混入を検査したり、欠陥品の検査を行う目的でも使用されています。
光学顕微鏡と同様に、光源、ミラー、レンズ、検出器によって構成されています。ただし、赤外顕微鏡では、一般的な屈折を利用したレンズではなく、反射望遠鏡などで使用されるカセグレン光学系という光の反射を利用した対物レンズが用いられます。このような光学系を用いた場合、空間分解能は光源の波長とほぼ同じくらいであることが知られており、数マイクロメートルから数十マイクロメートルに制限されます。赤外顕微鏡で用いて、FTIRイメージングを行う際は通常2.5~25マイクロメートルの赤外光が使用されます。この波長帯は、分子の振動や回転によって変調するため、波長をスキャンした際に物質固有のスペクトルを得ることができます。これをFTIRと同様に、フーリエ解析することで、物質を構成する成分などの化学的な情報を取得し、顕微鏡で取得した2次元画像に重ね合わせてマッピングを行うことができます。スペクトル測定の際の検出器も、一点だけを検出するものと、これをあれ以上に配置してスペクトルをスキャンすること無く一発で取得できるものがあります。
半導体の厚さを測定するための一つの方法として用いられます。半導体は透過域が赤外領域にあることに加え、屈折率が高いという特徴があります。この特徴のため、可視光ではなく赤外光を用いた光学測定が必要となります。
赤外光は屈折率の高さに影響を受けるため、精度が下がるというデメリットがありますが、測定物の表面の凹凸の影響を受けにくいというメリットもあります。
半導体の厚さを赤外顕微鏡で測定する方法として、被測定物の表裏面で反射した光の干渉から得られた光路差から厚みを求める干渉法があります。
フーリエ変換型(FT-IR)は分散型とは異なり、干渉計を使い全波長を同時に検出します。得られたデータをフーリエ変換し、各波長成分を計算します。
フーリエ変換型のメリットは主に4つ挙げられます。
一般的に用いられるフーリエ変換型測定器は2種類です。
2次元アレイ検出器による測定が可能な高性能な赤外顕微鏡は、発熱量が大きいため使用する際には液体窒素での冷却が必要になります。冷却を怠ると、熱により素子がダメージを受け部分的に測定不能になります。この状況を避けるためには、液体窒素量を常に管理する必要があります。また、一般的であるMCT検出器でも液体窒素冷却が必要となっています。
測定可能な厚みや精度は液体窒素使用時と異なりますが、液体窒素を使用せずに測定ができる赤外顕微鏡もあります。
参考文献
http://astro-dic.jp/cassegrain-focus/
http://www.jsac.or.jp/bunseki/pdf/bunseki2013/201302minifile.pdf
http://www.jsir.org/wp/wp-content/uploads/2014/10/1995.12VOL.5NO.2_7.pdf
https://www.jasco.co.jp/jpn/technique/internet-seminar/ftir/ftir2.html
https://www.an.shimadzu.co.jp/ftir/semicustom/ftir-05.htm
https://assets.thermofisher.com/TFS-Assets/MSD/brochures/BR-nicolet%20in10-in10-mx-jp.pdf
https://web-material3.yokogawa.com/rd-tr-r04402-003.jp.pdf
https://www.an.shimadzu.co.jp/ftir/support/faq/faq.htm
https://www.hongo-m.co.jp/2014/01/25/%E3%82%84%E3%81%95%E3%81%97%E3%81%84ftir%E3%81%AE%E5%8E%9F%E7%90%86-7-ft-ir%E3%81%AE%E6%B8%AC%E5%AE%9A%E5%8F%AF%E8%83%BD%E6%B3%A2%E6%95%B0%E5%9F%9F/
*一部商社などの取扱い企業なども含みます。
企業の並び替え
2023年1月の注目ランキングベスト10
注目ランキング導出方法順位 | 会社名 | クリックシェア |
---|---|---|
1 | 株式会社島津製作所 |
13.3%
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2 | 日本分光株式会社 |
12.4%
|
3 | 株式会社オプトサイエンス |
11.4%
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4 | ブルカージャパン株式会社 |
10.5%
|
5 | アイアールスペック株式会社 |
8.6%
|
6 | 和研薬株式会社 |
7.6%
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7 | フィルメトリクス株式会社 |
7.6%
|
8 | ヤマト科学株式会社 |
6.7%
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9 | 株式会社パーキンエルマージャパン |
6.7%
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10 | 株式会社池田理化 |
5.7%
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注目ランキング導出方法について
注目ランキングは、2023年1月の赤外顕微鏡ページ内でのクリックシェアを基に算出しています。クリックシェアは、対象期間内の全企業の総クリック数を各企業のクリック数で割った値を指します。社員数の規模
設立年の新しい会社
歴史のある会社
赤外顕微鏡 AIM-9000は試料の観察画像を見ながら、スペクトルの測定が可能の為、可視光と赤外光の切り替えの手間が無いです。
また、ステージ可動範囲全体で、画像観察と赤外測定ができるため、試料を何度もセットする必要も無いです。
異物自動認識機能が搭載されている為、ボタンひとつで、アパチャーサイズと角度を最適値に設定できます。
異物として検出される可能性が高い物質のスペクトルデータベースにより、測定試料を高い精度で同定できます。
IRLC 赤外レーザー走査型共焦点顕微鏡は、スキャニング共焦点顕微鏡と、近赤外レーザーを用いることで、透明な試料表面の下の薄い部分や光学切片を高い分解能で観察することができます。
試料の表面800μm下の深さまで、画像化することができます。
光学オフセットアジャスタとオートフォーカス6センサと、速Z軸アクチュエータ技術を用いている為、測定方法や計測表面が変化したとしても、フォーカスは一定に保たれます。
IRT-5200はスマートマッピング機能の搭載により、ステージを動かすのではなく、赤外光を動かすことにより試料走査ができます。
そのため、その都度試料をプリズムから離す必要がなく、密着させた状態で走査できるため、短時間で混入物もなく測定ができます。
また密着時でも試料を画像観察することができるため、測定位置を容易に決定することができます。
窒素条件下よりも水や二酸化炭素等の影響が少ない真空条件下での測定が可能です。
F40-UVX 紫外・近赤外対応顕微鏡モデルは、顕微領域内において、紫外領域から近赤外領域までの、分光膜厚測定をすることができます。
パソコンモニターに表示される可視画像を確認しながら、目的箇所の膜厚測定を容易にすることが可能です。
膜厚測定用顕微鏡オプションを付け替えることで、紫外光から赤外光領域に対応した幅広い範囲で膜厚測定が可能です。
測定波長領域は400-1700nmとなっています。
波長1~1.7μm帯の近赤外顕微鏡カメラで暗視野赤外照明用のLEDリングを内蔵しており、簡便に高解像度な赤外顕微鏡撮像ができます。用途に応じて照明光の波長を変更できます。
搭載している赤外線カメラは高感度、高解像度画像センサーを搭載しており、ブルーミングが起き難く、局所的に輝度の高いスポットがあっても鮮明な画像が得られます。またダイナミックレンジが広く(他社の約100倍)、リニア感度、対数応答感度など撮影シーンに応じてさまざまな感度プロファイルを選ぶ事ができます(最小感度は他社の約10倍)。
用途は生体組織構造、水分量分布、脂質分布の観察、鉱物結晶のドメイン観察、集積回路の透視等で、画素単位の数値データによる定量的解析も可能です。