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12インチ対応 ウェハーワックス貼付装置 TEC-1001MB取扱企業
株式会社くまさんメディクスカテゴリ
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半導体製造装置の製品120点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | ウェハーワックス貼り付け部 貼付対応プレートサイズ | ウェハーワックス貼り付け部 加熱/冷却設定温度範囲 | ウェハーワックス貼り付け部 設定単位 | ウェハーワックス貼り付け部 温度分布精度 | ウェハーワックス貼り付け部 温調精度 | ウェハー加圧部 設定単位 | ウェハー加圧部 最大圧力 | サイズ (幅×奥行×高さ) |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
TEC-1001MB |
要見積もり |
φ180~φ320mm、厚さ5~30mm |
周囲温度~160℃ |
1℃ |
±5℃以内 |
±3℃以内 |
1kPa |
300kPa |
650mm x 850mm x 1,833mm |