全てのカテゴリ

閲覧履歴

12インチ対応 ウェハーワックス貼付装置 TEC-1001MB-TEC-1001MB
12インチ対応 ウェハーワックス貼付装置 TEC-1001MB-株式会社くまさんメディクス

12インチ対応 ウェハーワックス貼付装置 TEC-1001MB
株式会社くまさんメディクス



無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

この製品について

ウェハーワックス貼り付け工程は、ウェハーの研磨状態や厚み精度を大きく左右する重要な工程です。高品質な研削・研磨工程を実現する、ウェハーワックス貼り付け専用の装置です。 特長

■貼り付け条件コントロール

ウェハーの特性に合わせ、圧力や温度、時間の条件設定が可能で、デバイスへのダメージも抑制できます。

■ワックス厚みムラ対策

加熱・冷却機構の適正化と高剛性な機構設計により、均一な温度分布や安定した荷重分布を実現し、精度悪化に影響するワックス厚みムラの発生を防ぎます。

■12インチウェハー対応

最大径12インチに対応し、サファイア、SiC、GaAs、GaN、InP、Siはもとより、化合物半導体ウェハーなど、様々なワークに対応可能です。

  • シリーズ

    12インチ対応 ウェハーワックス貼付装置 TEC-1001MB

この製品を共有する


400人以上が見ています

最新の閲覧: 5時間前


無料
見積もり費用は無料のため、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

12インチ対応 ウェハーワックス貼付装置 TEC-1001MB 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) ウェハーワックス貼り付け部 貼付対応プレートサイズ ウェハーワックス貼り付け部 加熱/冷却設定温度範囲 ウェハーワックス貼り付け部 設定単位 ウェハーワックス貼り付け部 温度分布精度 ウェハーワックス貼り付け部 温調精度 ウェハー加圧部 設定単位 ウェハー加圧部 最大圧力 サイズ (幅×奥行×高さ)
12インチ対応 ウェハーワックス貼付装置 TEC-1001MB-品番-TEC-1001MB

TEC-1001MB

要見積もり

φ180~φ320mm、厚さ5~30mm

周囲温度~160℃

1℃

±5℃以内

±3℃以内

1kPa

300kPa

650mm x 850mm x 1,833mm

この商品を見た方はこちらもチェックしています

半導体製造装置をもっと見る

この商品の取り扱い会社情報

Copyright © 2024 Metoree