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マスフローコントローラについての概要、用途、原理などをご説明します。また、マスフローコントローラのメーカー26社一覧や企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。マスフローコントローラ関連企業の2024年10月注目ランキングは1位:株式会社プロテリアル、2位:コフロック株式会社、3位:株式会社リンテックとなっています。
博士研究員として大阪府立大学の装置工学グループで全固体電池のための正極複合粒子の製造に関する研究に従事。<> 長岡技術科学大学では、資源エネルギー循環研究室に所属し、CO2分離を目的としたDDR型ゼオライト膜の開発とそれを用いた下水処理場から発生する消化ガスからのCO2回収
マスフローコントローラーとは、流体の流量計測を行い、流量を制御する機器です。
高度な流量制御が求められるプロセスの現場等で活用されています。マスフロー(mass flow)とは質量流量を意味します。流量には、体積流量と質量流量の2種類があります。マスフローセンサーは体積流量ではなく質量流量を測定の対象としています。
質量流量は流体の種類や特性・温度等の環境周囲の条件による影響を受けないため、体積圧力よりも精度良く流量の測定・制御ができます。
マスフローコントローラーは、流量の測定に加えて、流体制御ができます。また、高精度で安定した制御ができるので、あらゆるプロセスの現場や実験室において使用されています。半導体の製造工程では、成膜やエッチングなどのプロセスにおいて活用されています。半導体以外にも光ファイバー、液晶、バイオなど使われている製品は多岐に渡ります。また、実験室では、分析機器でのキャリアガスなどの制御に用いられています。
図1. マスフローコントローラーの原理
マスフローコントローラーは、センサー、バイパス、流体制御バルブ、電気回路から構成されます。流量センサーには熱式流量センサーが用いられていることが多いです。流体は、マスフローコントローラー内でセンサーとバイパスへ通されます。センサーでは、流体が通るチューブにヒーターが巻きつけられており、チューブの上流側と下流側に流れるガスの温度差を電気信号へと変換して、流量計測を行います。熱式質量センサーでは、センサー部に送ることができる流体の量に限界があります。
そのため、一部をセンサーへ流し、残りをバイパスに送ることで分流の比率を一定に保つことができるため流量が大きい場合でも、高い精度で流量を制御することができます。センサーで測定した流量を受けて、流体制御バルブで流量の調整を行います。流体制御バルブにはアクチュエータ(電気信号を物理的運動に変換する装置)として、ソレノイドアクチュエータ、サーマルアクチュエーター、ピエゾアクチュエータが使用されています。
マスフローコントローラーの選定のためにはガス種、最大流量、使用圧力の条件が必要です。マスフローコントローラーは使用するガス種に応じた設定をしているため、異なるガス種では正しく測定できません。
また、腐食性ガスの場合、シール材等は腐食耐性の高いものを選ぶ必要があります。マスフローコントローラーの流量制御範囲は一般的には2-100% F.S.(最大流量)であるため、使用する流量に合わせた最大流量を選ぶ必要があります。マスフローコントローラーで使用される流量調整バルブはバルブ開度で流量を調整するため、一次側と二次側で圧力差が必要となります。一般的には50-300kPaが適正とされていますが、圧力差が大きすぎたりまたは小さすぎると正しく流量調整ができません。そのほかにも、制御する温度や継ぎ手なども場合によっては選定時に注意を払う必要があります。
*一部商社などの取扱い企業なども含みます。
2024年10月の注目ランキングベスト10
注目ランキング導出方法順位 | 会社名 | クリックシェア |
---|---|---|
1 | 株式会社プロテリアル |
13.2%
|
2 | コフロック株式会社 |
11.6%
|
3 | 株式会社リンテック |
9.3%
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4 | 椿本興業株式会社 |
9.3%
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5 | アズビル株式会社 |
6.2%
|
6 | 東京計装株式会社 |
5.4%
|
7 | 株式会社フジキン |
4.7%
|
8 | アズビル金門株式会社 |
4.7%
|
9 | ヤマト科学株式会社 |
3.9%
|
10 | 株式会社クローネ |
3.9%
|
注目ランキング導出方法について
注目ランキングは、2024年10月のマスフローコントローラページ内でのクリックシェアを基に算出しています。クリックシェアは、対象期間内の全企業の総クリック数を各企業のクリック数で割った値を指します。社員数の規模
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94 点の製品がみつかりました
センシリオン株式会社
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SFC6000マスフローコントローラーはセンシリオン社の次世代マスフローコントローラーで、比類のない価格性能比と納期が8週間という非常に魅力的な製品です。...
センシリオン株式会社
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SFC6000マスフローコントローラーはセンシリオン社の次世代マスフローコントローラーで、比類のない価格性能比と納期が8週間という非常に魅力的な製品です。...
センシリオン株式会社
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マスフローコントローラー「SFC5500」シリーズは、ガスフローの精密制御においてセンシリオンが歩んできた20年間の実績の集大成です。このセンサーはマイクロ...
センシリオン株式会社
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マスフローコントローラー「SFC5400」は、優れた精度、長期安定性、再現性で質量流量を測定および制御し、広いダイナミックレンジで測定可能です。設定変更が...
株式会社世奉
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■特徴 応答性・制御性に優れた弊社マスフローコントローラを、大幅に小型化しデジタル通信機能を発展させることで製造装置の小型化・トータルコスト削減・製...
センシリオン株式会社
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SFM6000 は、SFC6000 マスフローコントローラーのバルブレス姉妹品で、優れた性能をさらに低価格で提供します。 SFC6000マスフローコントローラーはセンシリ...
株式会社世奉
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■特徴 ひとめで制御状態が分かる大型LEDと詳細に制御状態が分かる液晶表示器をはじめとした新たな機能を追加し流量制御の課題を解決する高性能なマスフローコ...
センシリオン株式会社
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SFM6000 は、SFC6000 マスフローコントローラーのバルブレス姉妹品で、優れた性能をさらに低価格で提供します。 SFC6000マスフローコントローラーはセンシリ...
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SFM6000 は、SFC6000 マスフローコントローラーのバルブレス姉妹品で、優れた性能をさらに低価格で提供します。 SFC6000マスフローコントローラーはセンシリ...
センシリオン株式会社
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SFM6000 は、SFC6000 マスフローコントローラーのバルブレス姉妹品で、優れた性能をさらに低価格で提供します。 SFC6000マスフローコントローラーはセンシリ...
センシリオン株式会社
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SFC6000マスフローコントローラーはセンシリオン社の次世代マスフローコントローラーで、比類のない価格性能比と納期が8週間という非常に魅力的な製品です。...
センシリオン株式会社
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SFC6000マスフローコントローラーはセンシリオン社の次世代マスフローコントローラーで、比類のない価格性能比と納期が8週間という非常に魅力的な製品です。...
コフロック株式会社
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マスフローコントローラ/メータは、メカニカルなフローメータやバルブに比較して、質量流量計測であるため温度や圧力の影響を受けづらく、また、流量を電気信...
10種類の品番
株式会社クローネ
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圧力又は空気の流れを制御 ■アプリケーション フィルター差圧監視、室間差圧、風道実験、流体・流速試験等
日本スターテクノ株式会社
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特長 ■安定した納期を実現 ALICATはアメリカのアリゾナに自社工場を構え、長年培った経験と知識により発展してまいりました。様々な用途に対応した機種の開発...
18種類の品番
エフコン株式会社
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半導体、ソーラーパネル、燃料電池、一般産業など幅広い分野で使用可能です。RoHS規制に対応しており、地球環境に配慮した製品です。
3種類の品番
エフコン株式会社
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半導体やソーラーパネルから一般産業まで幅広い分野で使用可能です。1sec以下の高速応答[ソレノイドバルブ採用]を実現し、インテリジェンス化されるガス供...
9種類の品番
エフコン株式会社
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マルチガスマルチレンジ (MG/MR) 機能を搭載、ガス種・流量を簡単に変更可能です。 10SCCM~50SLMまで、8種類のレンジで対応しており、半導体やフラットパネ...
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Max80℃の高温用デジタルマスフローコントローラーです。半導体、ソーラーパネル、燃料電池、一般産業など幅広い分野で使用できます。流量制御範囲 (2~100%)...
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フルスケール流量・測定ガス・出力/設定信号などをパイロットモジュールで簡単操作できるマルチガスマルチレンジです。10種類の測定ガスがインプットされてお...
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エフコン株式会社
310人以上が見ています
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丸洗いが可能な防水・防塵仕様のマスフローコントローラーです。オプションでフランジ継手に変更できます。分析、燃料電池、液晶、有機EL、バイオ、培養、...
5種類の品番
株式会社フロント
240人以上が見ています
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139.2時間 返答時間
本機は、 (株) フロント製の流量調節バルブ「スーパーニードルSNSKシリーズ」を、 (株) エム・システム技研製バルブ駆動装置 (型式:MSP5) を用いて自動化した...
8種類の品番
株式会社リガルジョイント
20人以上が見ています
最新の閲覧: 13時間前
100.0% 返答率
215.1時間 返答時間
■特長 ・MultiFloテクノロジーよるガス種とフルスケール流量レンジを選択・変更 ・ユーザーフレンドリーなインターフェイスの診断機能とサービスポート ・耐...
株式会社柳生商会
10人以上が見ています
最新の閲覧: 1時間前
■特徴 超微小の流量制御が可能なニードルが付いた精密流量計です。 ■仕様 ・ボディ材質:SUS316 ・接続口:Rc1/4 ・供給圧力:0.1MPa ・精度:FS±2%
株式会社柳生商会
10人以上が見ています
最新の閲覧: 4時間前
■特徴 ・視認性、耐久性に優れたポリカーボネート製の浮子式流量計です。 ・取り付け時に表面の飛び出しが少なくなるようなデザインです。 ・流量調節バルブ...
Metoreeに登録されているマスフローコントローラが含まれるカタログ一覧です。無料で各社カタログを一括でダウンロードできるので、製品比較時に各社サイトで毎回情報を登録する手間を短縮することができます。
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コフロック株式会社が取り扱う『流体計測制御機器』の総合カタログです。各種流体計測機器の原理や選定の手引きも掲載しており、製品の選定にお役立てくださ...
2024年3月8日
■対象流体:気体 ■最大流量:気体 100SCCM~30SLM■精度:±1%S.P.(10~100%F.S.) ±0.1%F.S.(2~10%F.S.)■PI … Pressure Insensitive 圧力変動に対し...
2024年3月26日
■マルチガス・マルチレンジ対応 (専用ソフトウェアで変更可能)■コンパクト設計■S.P.精度で高精度な計測が可能、 全流量制御範囲 応答1sec以内■RS485通信...
2024年3月14日
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2024年3月14日
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2024年3月14日
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2024年3月14日
■マスフローコントローラ用流量設定器
2024年3月14日
■マスフローコントローラ/メータ用瞬時流量表示器
2024年3月14日
■マスフローコントローラ/メータ用電源及び流量表示設定器■表示器操作で各種機能使用可能 瞬時/積算流量表示、アラーム設定、マスフローコントローラのバル...
2024年3月14日
■対象流体:気体 N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等■最大流量:気体 5SCCM~10SLM■精度:±1%F.S.■コンパクト設計■全流量制御範囲 応答1sec以内■ロータリース...
2024年3月14日
■対象流体:気体 N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等■最大流量:気体 10SCCM~5SLM■精度:±1%S.P.(25~100%F.S.) ±0.25%F.S.(~25%F.S.)■メタルシール■...
2024年3月14日
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2024年3月14日
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2024年3月14日
掲載内容◆気体用マスフローコントローラ・高速応答マスフローコントローラ・EtherCATマスフローコントローラ・DeviceNetマスフローコントローラ・高性能デジ...
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◆ SFC5500 シリーズガスフローの精密制御においてセンシリオンが歩んできた20年間の実績の集大成です。このセンサーはマイクロサーマル測定原理に基づいてお...
2023年5月24日
マスフローコントローラのカタログ18件分をまとめてダウンロードできます!お迷いの方は便利な無料の一括ダウンロード機能をご利用ください。
企業
コフロック株式会社 株式会社リンテック センシリオン株式会社 株式会社コスモ計器