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マスフローコントローラのメーカー25社一覧や企業ランキングを掲載中！マスフローコントローラ関連企業の2025年6月注目ランキングは1位:株式会社リンテック、2位:株式会社プロテリアル、3位:椿本興業株式会社となっています。 マスフローコントローラの概要、用途、原理もチェック！
マスフローコントローラーとは、流体の流量計測を行い、流量を制御する機器です。
高度な流量制御が求められるプロセスの現場等で活用されています。マスフロー(mass flow)とは質量流量を意味します。流量には、体積流量と質量流量の2種類があります。マスフローセンサーは体積流量ではなく質量流量を測定の対象としています。
質量流量は流体の種類や特性・温度等の環境周囲の条件による影響を受けないため、体積圧力よりも精度良く流量の測定・制御ができます。
2025年6月の注目ランキングベスト10
| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | 株式会社リンテック |
11.4%
|
| 2 | 株式会社プロテリアル |
10.6%
|
| 3 | 椿本興業株式会社 |
6.8%
|
| 4 | 日立Astemo＆ナガノ株式会社 |
6.1%
|
| 5 | 東フロコーポレーション株式会社 |
6.1%
|
| 6 | 東京計装株式会社 |
5.3%
|
| 7 | コフロック株式会社 |
4.5%
|
| 8 | 株式会社フジキン |
4.5%
|
| 9 | 株式会社旭精機 |
4.5%
|
| 10 | ビュルケルトジャパン株式会社 |
4.5%
|
コフロック株式会社
130人以上が見ています
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.3時間 返答時間
■概要 ・PI… Pressure Insensitive：圧力変動に対し安定した流量制御が可能（ST-500のみ） ・ダイヤフラム式バルブ採用のメタルシールMF...
東京計装株式会社
110人以上が見ています
返信の早い企業
4.5 会社レビュー
100.0% 返答率
6.6時間 返答時間
EP-TF-5300シリーズは耐圧防爆形・気体用熱式質量流量計です。各種ガスの質量流量を圧力、温度などプロセス条件に依存せず、計測するこ...
日本スターテクノ株式会社
580人以上が見ています
最新の閲覧: 10時間前
返信の早い企業
100.0% 返答率
8.9時間 返答時間
特長 ■安定した納期を実現 ALICATはアメリカのアリゾナに自社工場を構え、長年培った経験と知識により発展してまいりました。様々な用途...
10種類の品番
エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社
170人以上が見ています
100.0% 返答率
57.1時間 返答時間
■概要 SECシリーズは、堀場エステックの流量計測・制御技術の粋を結集し開発された純国産の高性能マスフローコントローラです。マスフロ...
株式会社リンテック
50人以上が見ています
■製品説明 応答時間200msecの超高速マスフローコントローラ。 サーマルセンサで100msec (typical) の高速流量制御を実現。リンテック独...
エフコン株式会社
1830人以上が見ています
最新の閲覧: 1時間前
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
4.8時間 返答時間
高精度な流量制御が可能な質量流量計測制御器です。医薬・培養・バイオ・蒸着コーティング・分析・各種研究や実験など一般産業分野でも...
8種類の品番
岡本機工株式会社
10人以上が見ています
返信のとても早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
3.5時間 返答時間
■特長 ・対応ガス:AsH3,BF3,PH3,SiF4,PF3 ・マルチレンジモデルも対応:ロータリースイッチによるガス種切替仕様
株式会社リガルジョイント
260人以上が見ています
最新の閲覧: 19時間前
100.0% 返答率
72.7時間 返答時間
■特長 ・装置の運転を停止させずに簡単にガス種、流量の変更が出来る。 ・精度を損なうことなく、フルスケールの値を変更できる。 ・仕...
エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社
180人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
100.0% 返答率
57.1時間 返答時間
■概要 SECシリーズは、堀場エステックの流量計測・制御技術の粋を結集し開発された純国産の高性能マスフローコントローラです。マスフロ...
株式会社リンテック
120人以上が見ています
■製品説明 EtherCAT通信用高性能マスフローコントローラ。 半導体プロセス向け高性能マスフローコントローラEtherCAT通信版。SEMIに準...
株式会社リガルジョイント
250人以上が見ています
最新の閲覧: 11時間前
100.0% 返答率
72.7時間 返答時間
■特長 ・システム稼働時間を増加させ保守の低減や定期的なレシピ調整や再校正の削減によってCOO (Cost of Ownership) も削減します ・単...
コフロック株式会社
110人以上が見ています
最新の閲覧: 19時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.3時間 返答時間
■概要 ・コンパクト設計 ・全流量制御範囲 応答1sec以内 ・ロータリースイッチによるガス種切替可能 ・RS485通信機能あり、アナログ入出...
エフコン株式会社
860人以上が見ています
最新の閲覧: 1分前
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
4.8時間 返答時間
半導体、ソーラーパネル、燃料電池、一般産業など幅広い分野で使用可能です。RoHS規制に対応しており、地球環境に配慮した製品です。
3種類の品番
株式会社リンテック
50人以上が見ています
■製品説明 DeviceNet通信対応マスフローコントローラ。 最新の半導体製造装置搭載の制御機器は、アナログ制御ではなく、高速制御や配線...
コフロック株式会社
110人以上が見ています
最新の閲覧: 19時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.3時間 返答時間
■概要 ・メタルシール ・S.P.精度で高精度な計測が可能、全流量制御範囲 応答1sec以内 ・ロータリースイッチによるガス種切替可能 ・RS4...
エフコン株式会社
1690人以上が見ています
最新の閲覧: 6時間前
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
4.8時間 返答時間
半導体やソーラーパネルから一般産業まで幅広い分野で使用可能です。1sec以下の高速応答［ソレノイドバルブ採用］を実現し、インテリジ...
9種類の品番
株式会社リンテック
60人以上が見ています
■製品説明 ±1%S.P.保証を実現した高性能デジタルマスフローコントローラ。 リンテック独自の周囲温度補償式センサにより低温でも高精度...
タカノ株式会社
250人以上が見ています
最新の閲覧: 19時間前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
12.0時間 返答時間
■製品の特徴 ・低コスト 比例ソレノイドバルブに、流量センサーによる計測とコントローラーを加え、高い信頼性と低コスト化を実現しまし...
コフロック株式会社
150人以上が見ています
最新の閲覧: 1時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.3時間 返答時間
■概要 ・幅広い流量レンジに対応 (N2換算でF.S.10SCCMからF.S.100SLMまで) ・表示器一体型で各種機能使用可能 ・瞬時/積算流量表示、ア...
株式会社リガルジョイント
250人以上が見ています
最新の閲覧: 19時間前
100.0% 返答率
72.7時間 返答時間
■特長 ・MultiFloテクノロジーよるガス種とフルスケール流量レンジを選択・変更 ・ユーザーフレンドリーなインターフェイスの診断機能と...
エフコン株式会社
930人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
4.8時間 返答時間
マルチガスマルチレンジ (MG/MR) 機能を搭載、ガス種・流量を簡単に変更可能です。 10SCCM～50SLMまで、8種類のレンジで対応しており、...
3種類の品番
コフロック株式会社
90人以上が見ています
最新の閲覧: 19時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.3時間 返答時間
■概要 幅広い流量レンジに対応 (N2換算でF.S.10SCCMからF.S.100SLMまで)
株式会社柳生商会
240人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信の早い企業
4.5 会社レビュー
100.0% 返答率
8.2時間 返答時間
■特徴 超微小の流量制御が可能なニードルが付いた精密流量計です。 ■仕様 ・ボディ材質：SUS316 ・接続口：Rc1/4 ・供給圧力：0.1MPa ...
株式会社リンテック
60人以上が見ています
■製品説明 流量制御Max120℃、非通電時Max150℃の環境で使用可能な高温用マスフローコントローラ。 高温になる接ガス部分と熱に弱い基板...
センシリオン株式会社
330人以上が見ています
100.0% 返答率
61.4時間 返答時間
SFM6000 は、SFC6000 マスフローコントローラーのバルブレス姉妹品で、優れた性能をさらに低価格で提供します。 SFC6000マスフローコン...
株式会社リンテック
50人以上が見ています
■製品説明 最小動作差圧800Paの低差圧マスフローコントローラ。 独自開発した周囲温度補償式センサ低圧損仕様と、±1%F.S.の精度で圧力...
コフロック株式会社
90人以上が見ています
最新の閲覧: 7時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.3時間 返答時間
■概要 ・微少流量に対応 (N2換算でF.S.1SCCMから) ・ダイヤフラムシートバルブによりデッドボリューム低減
エフコン株式会社
590人以上が見ています
最新の閲覧: 2時間前
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
4.8時間 返答時間
Max80℃の高温用デジタルマスフローコントローラーです。半導体、ソーラーパネル、燃料電池、一般産業など幅広い分野で使用できます。流...
3種類の品番
コフロック株式会社
150人以上が見ています
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返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.3時間 返答時間
■概要 ・高性能マスフローコントローラを採用 ・混合ガス流量設定モード/混合ガス比率設定モード切替可能 ・ステップモードで事前に設定...
株式会社クローネ
300人以上が見ています
最新の閲覧: 19時間前
返信の早い企業
4.0 会社レビュー
100.0% 返答率
7.5時間 返答時間
圧力又は空気の流れを制御 ■アプリケーション フィルター差圧監視、室間差圧、風道実験、流体・流速試験等
検索結果 121件 (1ページ/3ページ)
マスフローコントローラーとは、流体の流量計測を行い、流量を制御する機器です。
高度な流量制御が求められるプロセスの現場等で活用されています。マスフロー(mass flow)とは質量流量を意味します。流量には、体積流量と質量流量の2種類があります。マスフローセンサーは体積流量ではなく質量流量を測定の対象としています。
質量流量は流体の種類や特性・温度等の環境周囲の条件による影響を受けないため、体積圧力よりも精度良く流量の測定・制御ができます。
マスフローコントローラーは、流量の測定に加えて、流体制御ができます。また、高精度で安定した制御ができるので、あらゆるプロセスの現場や実験室において使用されています。半導体の製造工程では、成膜やエッチングなどのプロセスにおいて活用されています。半導体以外にも光ファイバー、液晶、バイオなど使われている製品は多岐に渡ります。また、実験室では、分析機器でのキャリアガスなどの制御に用いられています。
図1. マスフローコントローラーの原理
マスフローコントローラーは、センサー、バイパス、流体制御バルブ、電気回路から構成されます。流量センサーには熱式流量センサーが用いられていることが多いです。流体は、マスフローコントローラー内でセンサーとバイパスへ通されます。センサーでは、流体が通るチューブにヒーターが巻きつけられており、チューブの上流側と下流側に流れるガスの温度差を電気信号へと変換して、流量計測を行います。熱式質量センサーでは、センサー部に送ることができる流体の量に限界があります。
そのため、一部をセンサーへ流し、残りをバイパスに送ることで分流の比率を一定に保つことができるため流量が大きい場合でも、高い精度で流量を制御することができます。センサーで測定した流量を受けて、流体制御バルブで流量の調整を行います。流体制御バルブにはアクチュエータ（電気信号を物理的運動に変換する装置）として、ソレノイドアクチュエータ、サーマルアクチュエーター、ピエゾアクチュエータが使用されています。
マスフローコントローラーの選定のためにはガス種、最大流量、使用圧力の条件が必要です。マスフローコントローラーは使用するガス種に応じた設定をしているため、異なるガス種では正しく測定できません。
また、腐食性ガスの場合、シール材等は腐食耐性の高いものを選ぶ必要があります。マスフローコントローラーの流量制御範囲は一般的には2-100％ F.S.（最大流量）であるため、使用する流量に合わせた最大流量を選ぶ必要があります。マスフローコントローラーで使用される流量調整バルブはバルブ開度で流量を調整するため、一次側と二次側で圧力差が必要となります。一般的には50-300kPaが適正とされていますが、圧力差が大きすぎたりまたは小さすぎると正しく流量調整ができません。そのほかにも、制御する温度や継ぎ手なども場合によっては選定時に注意を払う必要があります。
