MGMRマスフローコントローラー-FCST1005 (M) ZF  /  FCST1005 (M) ZD (DeviceNet)
MGMRマスフローコントローラー-エフコン株式会社

MGMRマスフローコントローラー
エフコン株式会社



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この製品について

マルチガスマルチレンジ (MG/MR) 機能を搭載、ガス種・流量を簡単に変更可能です。 10SCCM~50SLMまで、8種類のレンジで対応しており、半導体やフラットパネルディスプレイ、ソーラーパネルなど先端技術産業から一般工業まで幅広い分野で使用できます。

  • シリーズ

    MGMRマスフローコントローラー

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MGMRマスフローコントローラー 品番3件

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まとめて問合せ・見積 商品画像 品番 価格 (税抜) 流量(N2換算流量) バルブタイプ 制御流量範囲 流量精度 流量設定信号 流量出力信号 再現性 応答時間 必要差圧 最大動作圧力 耐圧力 使用保証温度 外部リーク 取付姿勢 供給電源電圧、消費電流 通信方式 接ガス部材質 シール部材質 アクチュエータ方式 表面処理 接続継手 デジタル通信
MGMRマスフローコントローラー-品番-FCST1005 (M) ZF  /  FCST1005 (M) ZD (DeviceNet)

FCST1005 (M) ZF / FCST1005 (M) ZD (DeviceNet)

要見積もり Bin1:30SCCM、Bin2:100SCCMBin3:300SCCM、Bin4:1SLMBin5:3SLM NC:ノーマルクローズNO:ノーマルオープン 2~100%F.S 100~25%:±1.0%S.P、25~2%:±0.25%F.S(精度保証範囲15~35℃) 0.1~5VDC 0~5VDC ±0.2%F.S ≦1sec 50~300KPa(Ar:100~300kPa) 400KPaG(Ar:500kPaG) 1MPaG 5~50℃ メタルシール:1×10-11Pa・m3/secHeラバーシール:1×10-7Pa・m3/secHe 指定なし(自由) +15VDC:50mA、-15VDC:200mADeviceNet:+11~24VDC、5.5VA(5.5W) アナログ:0~5VDC/デジタル:RS485(フジキンプロトコル)、DeviceNet SUS316L、磁性ステンレス、Hastelloy(センサー部)、PTFE メタルシール:SUS316Lラバーシール:フッ素ゴム又はクロロプレンゴム ソレノイドアクチュエータ EP処理オプション、ラバーシールはオプション無し 1/4インチUJR、1/4インチF900、1.5W-Seal、1.125W-Seal、1.125C-Seal RS485、標準通信速度38400bps、最大接続台数127台
MGMRマスフローコントローラー-品番-FCST1030 (M) ZF  /  FCST1030 (M) ZD (DeviceNet)

FCST1030 (M) ZF / FCST1030 (M) ZD (DeviceNet)

要見積もり Bin6:10SLMBin7:30SLM NC:ノーマルクローズNO:ノーマルオープン 2~100%F.S 100~25%:±1.0%S.P、25~2%:±0.25%F.S(精度保証範囲15~35℃) 0.1~5VDC 0~5VDC ±0.2%F.S ≦1sec NO50~300KPa(3~10SLM)(Ar:250~450kPa)150~300KPa(11~30SLM)NC50~300KPa(3~10SLM)100~300KPa(11~30SLM)(Ar:150~400kPa) 400KPaG(Ar:500kPaG) 1MPaG 5~50℃ メタルシール:1×10-11Pa・m3/secHeラバーシール:1×10-7Pa・m3/secHe 指定なし(自由) +15VDC:50mA、-15VDC:200mADeviceNet:+11~24VDC、5.5VA(5.5W) アナログ:0~5VDC/デジタル:RS485(フジキンプロトコル)、DeviceNet SUS316L、磁性ステンレス、Hastelloy(センサー部)、PTFE メタルシール:SUS316Lラバーシール:フッ素ゴム又はクロロプレンゴム ソレノイドアクチュエータ EP処理オプション、ラバーシールはオプション無し 1/4インチUJR、1/4インチF900、1.5W-Seal、1.125W-Seal、1.125C-Seal RS485、標準通信速度38400bps、最大接続台数127台
MGMRマスフローコントローラー-品番-FCST1050 (M) ZF  /  FCST1050 (M) ZD (DeviceNet)

FCST1050 (M) ZF / FCST1050 (M) ZD (DeviceNet)

要見積もり Bin8:50SLM NC:ノーマルクローズNO:ノーマルオープン 2~100%F.S 100~25%:±1.0%S.P、25~2%:±0.25%F.S(精度保証範囲15~35℃) 0.1~5VDC 0~5VDC ±0.2%F.S ≦1sec 200~300KPa(Ar:250~450kPa) 400KPaG(Ar:500kPaG) 1MPaG 5~50℃ メタルシール:1×10-11Pa・m3/secHeラバーシール:1×10-7Pa・m3/secHe 指定なし(自由) +15VDC:50mA、-15VDC:200mADeviceNet:+11~24VDC、5.5VA(5.5W) アナログ:0~5VDC/デジタル:RS485(フジキンプロトコル)、DeviceNet SUS316L、磁性ステンレス、Hastelloy(センサー部)、PTFE メタルシール:SUS316Lラバーシール:フッ素ゴム又はクロロプレンゴム ソレノイドアクチュエータ EP処理オプション、ラバーシールはオプション無し 1/4インチUJR、1/4インチF900、1.5W-Seal、1.125W-Seal、1.125C-Seal RS485、標準通信速度38400bps、最大接続台数127台

のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。

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会社概要

エフコン株式会社は、高知県南国市に本社を置き、2013年に設立された産業用機械製造メーカーです。 製品の納入先として、高知工科大学やパナソニック株式会社、株式会社グリーンテックなどがあります。 主な事業内容としては、マ...

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