マスフローコントローラー-C2005
マスフローコントローラー-C1005
マスフローコントローラー-CUBE MFC 1005 / 1020 / 1030 / 1050 / 1100
マスフローコントローラー-エフコン株式会社

マスフローコントローラー
エフコン株式会社



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この製品について

高精度な流量制御が可能な質量流量計測制御器です。医薬・培養・バイオ・蒸着コーティング・分析・各種研究や実験など一般産業分野でも使用できます。

  • シリーズ

    マスフローコントローラー

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マスフローコントローラー 品番8件

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まとめて問合せ・見積 商品画像 品番 価格 (税抜) 流量(N2換算流量) 対応ガス種 バルブタイプ 制御流量範囲 流量精度 流量設定(メーターの場合は対象外) 流量出力 再現性 応答時間 必要差圧 耐圧力 使用保証温度 外部リーク 取付姿勢 供給電源電圧、消費電流 通信方式 接ガス部材質 シール部材質 アクチュエータ方式 表面処理 接続継手 ガス種 流量設定 流量設定・出力信号/表示 電源、消費電流 付属品
マスフローコントローラー-品番-C2005

C2005

要見積もり 10,20,30,50,100,200,300,500SCCM1,2,3,5SLM 各種ガス(腐食性ガスはご相談下さい) NC:ノーマルクローズ(メーターの場合は対象外) 2~100%F.S(メーターの場合は対象外) ±1%F.S(精度保証範囲15~35℃) 本体表示設定器・イベント入出力切替デジタル:RS485アナログ:0.1~5VDC/4.3~20mA(任意切替) 本体表示器:7セグメントLEDデジタル:RS485アナログ:0~5VDC/4~20mA(任意切替) ±0.2%F.S ≦2sec 50~300KPa 1MPa(G) 5~50℃、85%RH以下 1×10-7Pa・m3/secHe 指定なし(自由) +24VDC、250mA未満 デジタル:RS485アナログ:0~5VDC/4~20mA(任意切替) SUS316、PTFE、フッ素ゴム フッ素ゴム ソレノイド(メーターの場合は対象外) 機械加工仕上げ 1/4in.SWL(相当品)、ワンタッチ継手、その他の継手形状についてはご相談下さい。 - - - - -
マスフローコントローラー-品番-C2020

C2020

要見積もり 10SLM 各種ガス(腐食性ガスはご相談下さい) NC:ノーマルクローズ(メーターの場合は対象外) 2~100%F.S(メーターの場合は対象外) ±1%F.S(精度保証範囲15~35℃) 本体表示設定器・イベント入出力切替デジタル:RS485アナログ:0.1~5VDC/4.3~20mA(任意切替) 本体表示器:7セグメントLEDデジタル:RS485アナログ:0~5VDC/4~20mA(任意切替) ±0.2%F.S ≦2sec 100~300KPa 1MPa(G) 5~50℃、85%RH以下 1×10-7Pa・m3/secHe 指定なし(自由) +24VDC、250mA未満 デジタル:RS485アナログ:0~5VDC/4~20mA(任意切替) SUS316、PTFE、フッ素ゴム フッ素ゴム ソレノイド(メーターの場合は対象外) 機械加工仕上げ 1/4in.SWL(相当品)、ワンタッチ継手、その他の継手形状についてはご相談下さい。 - - - - -
マスフローコントローラー-品番-C2020

C2020

要見積もり new20SLM 各種ガス(腐食性ガスはご相談下さい) NC:ノーマルクローズ(メーターの場合は対象外) 2~100%F.S(メーターの場合は対象外) ±1%F.S(精度保証範囲15~35℃) 本体表示設定器・イベント入出力切替デジタル:RS485アナログ:0.1~5VDC/4.3~20mA(任意切替) 本体表示器:7セグメントLEDデジタル:RS485アナログ:0~5VDC/4~20mA(任意切替) ±0.2%F.S ≦2sec 200~300KPa 1MPa(G) 5~50℃、85%RH以下 1×10-7Pa・m3/secHe 指定なし(自由) +24VDC、250mA未満 デジタル:RS485アナログ:0~5VDC/4~20mA(任意切替) SUS316、PTFE、フッ素ゴム フッ素ゴム ソレノイド(メーターの場合は対象外) 機械加工仕上げ 1/4in.SWL(相当品)、ワンタッチ継手、その他の継手形状についてはご相談下さい。 - - - - -
マスフローコントローラー-品番-C1005

C1005

要見積もり 10,20,30,50,100,200,300,500SCCM1,2,3,5SLM 各種ガス(腐食性ガスはご相談下さい) NO:ノーマルオープンnewNC:ノーマルクローズ(メーターの場合は対象外) 5~100%F.S(メーターの場合は対象外) ±2%F.S[※±1%F.S対応可](精度保証範囲15~35℃)※詳細はお問い合わせ下さい。 0.25~5VDC(メーターの場合は対象外) 0~5VDC ±0.2%F.S ≦6sec 50~300KPa 1MPa(G) 5~50℃、85%RH以下 1×10-7Pa・m3/secHe 指定なし(自由) +15VDC:60mA、-15VDC:150mA アナログ:0~5VDC SUS316L、PTFE、フッ素ゴム フッ素ゴム サーマル(メーターの場合は対象外) 機械加工仕上げ 1/4in.SWL(相当品)、ワンタッチ継手、その他の継手形状についてはご相談下さい。 - - - - -
マスフローコントローラー-品番-C1020

C1020

要見積もり 10,20SLM 各種ガス(腐食性ガスはご相談下さい) NO:ノーマルオープンnewNC:ノーマルクローズ(メーターの場合は対象外) 5~100%F.S(メーターの場合は対象外) ±2%F.S[※±1%F.S対応可](精度保証範囲15~35℃)※詳細はお問い合わせ下さい。 0.25~5VDC(メーターの場合は対象外) 0~5VDC ±0.2%F.S ≦6sec 50~300KPa 1MPa(G) 5~50℃、85%RH以下 1×10-7Pa・m3/secHe 指定なし(自由) 15VDC:60mA、-15VDC:150mA アナログ:0~5VDC SUS316L、PTFE、フッ素ゴム フッ素ゴム サーマル(メーターの場合は対象外) 機械加工仕上げ 1/4in.SWL(相当品)、ワンタッチ継手、その他の継手形状についてはご相談下さい。 - - - - -
マスフローコントローラー-品番-C1030 / C1050

C1030 / C1050

要見積もり 30,50SLM Air・N2・Ar・H2・CO2・O2・He NO:ノーマルオープンnewNC:ノーマルクローズ(メーターの場合は対象外) 5~100%F.S(メーターの場合は対象外) ±2%F.S[※±1%F.S対応可](精度保証範囲15~35℃)※詳細はお問い合わせ下さい。 0.25~5VDC(メーターの場合は対象外) 0~5VDC ±0.2%F.S ≦10sec 200~300KPa 1MPa(G) 5~50℃、85%RH以下 1×10-7Pa・m3/secHe 指定なし(自由) 15VDC:60mA、-15VDC:150mA アナログ:0~5VDC SUS316L、PTFE、フッ素ゴム フッ素ゴム サーマル(メーターの場合は対象外) 機械加工仕上げ 1/4in.SWL(相当品)、ワンタッチ継手、その他の継手形状についてはご相談下さい。 - - - - -
マスフローコントローラー-品番-C1100

C1100

要見積もり 100LM Air・N2 NO:ノーマルオープンnewNC:ノーマルクローズ(メーターの場合は対象外) 5~100%F.S(メーターの場合は対象外) ±2%F.S[※±1%F.S対応可](精度保証範囲15~35℃)※詳細はお問い合わせ下さい。 0.25~5VDC(メーターの場合は対象外) 0~5VDC ±0.5%F.S ≦15sec 200~300KPa 1MPa(G) 5~50℃、85%RH以下 1×10-7Pa・m3/secHe 指定なし(自由) 15VDC:60mA、-15VDC:150mA アナログ:0~5VDC SUS316L、PTFE、フッ素ゴム フッ素ゴム サーマル(メーターの場合は対象外) 機械加工仕上げ 1/4in.SWL(相当品)、ワンタッチ継手、その他の継手形状についてはご相談下さい。 - - - - -
マスフローコントローラー-品番-CUBE MFC 1005 / 1020 / 1030 / 1050 / 1100

CUBE MFC 1005 / 1020 / 1030 / 1050 / 1100

要見積もり 10SCCM~100SLM(搭載MFC/MFMに準ずる) - NO:ノーマルオープン、newNC:ノーマルクローズ(メーターの場合は対象外) 5~100%F.S(メーターの場合は対象外) ±2%F.S[※±1%F.S対応可](精度保証範囲15~35℃)詳細はお問い合わせ下さい - - ±0.2%F.S 搭載MFCに準ずる 搭載MFCに準ずる 1MPa(G) 5~50℃(精度保証範囲:15~35℃)、85%RH以下(結露なきこと) 1×10-7Pa・m3/secHe - - アナログ:0~5VDC SUS316L、PTFE、フッ素ゴム フッ素ゴム サーマル(メーターの場合は対象外) 機械加工仕上げ 1/4in.SWL(相当品)、ワンタッチ継手、その他の継手形状についてはご相談下さい。 搭載MFC/MFMに準ずる 0.25~5VDC、10回転ポテンションメーターにて可変(メーターの場合は対象外) 0~5VDC/DP表示:スケーリング表示(トグルスイッチにて設定・出力表示切替、背面設定・出力モニター端子連動) AC100~240V:500mA ACケーブル、取扱説明書

のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。

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会社概要

エフコン株式会社は、高知県南国市に本社を置き、2013年に設立された産業用機械製造メーカーです。 製品の納入先として、高知工科大学やパナソニック株式会社、株式会社グリーンテックなどがあります。 主な事業内容としては、マ...

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