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概要メーカー製品

位置決めステージ
メーカー13社・151製品一覧【2024年】

位置決めステージについての概要、用途、原理などをご説明します。また、位置決めステージのメーカー13社一覧や企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。位置決めステージ関連企業の2024年3月注目ランキングは1位:神津精機株式会社、2位:株式会社モーショントラスト、3位:CKD日機電装株式会社となっています。

位置決めステージとは？
位置決めステージのメーカー13社一覧
位置決めステージの製品151件一覧
位置決めステージの価格・相場

位置決めステージとは

位置決めステージ

位置決めステージ (英: positioning stage) とは、位置決めが可能な台のことです。

モータとボールネジなどを組み合わせた構造が多く使われ、位置決めステージは、移動する部分です。位置決めステージは、精密な位置決めを行うことができます。

半導体やディスプレイ関連などの製造や検査をはじめとして、精密加工の分野において様々な用途で使用されます。xyステージは、2次元で自由な動きを可能にするなど、ステージの種類によって特性を活かした用途で使用されます。

位置決めステージの使用用途

位置決めステージは、精密機器の分野において位置決めを行うために使用されます。具体的には、半導体やプリント基板などの分野で、検査・加工装置用、露光・高精度検査装置用、ウエハ・基板の高速位置決めなどの用途です。

また、液晶の検査装置、レーザー関連装置、基板の移載装置・精密検査装置、基板と加工ヘッドの高精度位置決め、カメラやファイバのアライメント、試料の検査・分析治具などにも用いられます。ステージを目標位置に分解能単位で精密に移動させることで、定められた加工・検査・移動などが可能になります。

位置決めステージの原理

位置決め装置は、駆動するアクチュエータ、アクチュエータが動作するための信号を制御する制御装置、移動体であるステージ、ステージを支えるガイドなどから構成されます。高い精度を保持しながら高速で作業を行えるように、移動体である位置決めステージの振動などが小さくなるよう特性や制御機能を充実させなければなりません。

閉ループ制御やオープンループ制御、セミクローズド制御などの制御方式を用いることで、ステージの移動誤差を計測して目標位置に部品を移動させます。この際、アッベの原理を利用して測定誤差を小さくします。アッベの原理とは、「測定精度を高めるためには、測定対象物と測定器具の目盛を測定方向の同一線上に配置しなければならない」ことです。

位置決めステージの種類

位置決めステージには、1軸型、2軸直交型、3軸直交型、回転型、組合わせ型などがあります。

1. 1軸～3軸型

1軸型は、最もシンプルな構成で、x1方向のみの移動が可能です。縦方向のz型もあります。2軸直交型は、xy2方向またはx方向とz方向に移動できるタイプです。

3軸直交型は水平xy2方向に、縦z方向を加えたもので、構造が複雑です。

2. 回転型・組合せ型

回転型は、回転運動θのみが可能なタイプです。組合せ型は、回転型に1軸・2軸の移動を加えたx-θ,z-θ,xy-θ型などです。

位置決めステージの構造

1. ボールねじ

回転モータと組む合わせて、多く使われます。ボールがねじ溝を循環することで、摺動ねじに比べ大幅に摩擦が減り、軽く動きます。

2. リニアガイド

リニアガイドは、ステージを支持するガイドです。アリ溝、クロスローラ、ローラウェイ、ボールウェイ、ボールブッシュ、回転ベアリングなど、多くの種類があります。

移動精度に優れ、耐荷重が大きく、剛性が高い方式を選択する必要があります。　　　

3. 制御装置

位置決めステージの制御装置には、オープンループ制御、セミクローズド制御、フルクローズド制御などが使用されます。

位置決めステージのその他情報

1. 位置決めステージの方式

ステージの位置決めをする方法は、間欠位置決め方式と連続位置決め方式があります。間欠位置決め方式はある地点から出発して、途中の経路や時間を問わないで、目標の地点に停止させる方法です。

連続位置決め方式は、移動途中の経路や時間を測定しながら、目標点に停止させる方法です。

2. 位置決めステージの稼働方式

位置決めステージの駆動は、回転モータ、リニアモータが主力です。圧電素子を使う方法もあります。空気や油圧を使う方法は、少なくなっています。

回転モータ
回転モータは、サーボモータとボールねじの組み合わせが多く使われます。

リニアモータ
リニアモータには多くの利点があり、具体的には高速が可能でコンタミの問題がないこと、構造が簡単で騒音が少なくなることなどが挙げられます。

そのほか、剛性も大きくできます。ただし、ステージの位置検出が必要でコスト高の要因になるのが欠点です。また、発熱が大きいので冷却装置が必要になる場合があります。　　　

参考文献
https://www.jstage.jst.go.jp/article/jjspe/77/7/77_7_656/_pdf
https://www.ntn.co.jp/japan/products/catalog/pdf/6104.pdf
https://jp.misumi-ec.com/tech-info/categories/machine_design/md05/d0015.html
https://www.shi.co.jp/products/precision/position/

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位置決めステージメーカー 13社

*一部商社などの取扱い企業なども含みます。

高精度位置決めステージの難要求は1～6軸動作のヘキサポッドが実現注目製品
ピーアイ・ジャパン株式会社

積上ステージとの違いを比較して下さい
・最小径130mmのベースサイズと省スペース
・ケーブルの移動がなく、ベースから2本のみ
・モーション誤差の蓄積なく、高負荷と精度を必要とする複雑な用途に
・回転中心は空間内のあらゆる地点に設定可能
・精密部品アライメントや天体観測、真空環境で実績

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超高精度位置決めステージ注目製品
神津精機株式会社

・サブミクロンの高精度位置決めが可能な精密ステージを300機種以上ラインナップ
・各ステージは組み合わせが可能で、用途にベストマッチする多軸ステージを提案可能
・モーター変更、リニアスケール取付、真空などの特殊環境仕様、等、多様な改造に対応
・精度実力値をホームページで公開中

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- - ピーアイ・ジャパン株式会社
    位置決めステージのラインナップ一覧
  - 会社サイト創業: 1991年従業員数: 15人資本金: 20,000,000円会社詳細
  - 住所: 神奈川県幸区堀川町580番地　ソリッドスクエア西館17F
- ピエゾ高精度位置決め多軸精密位置決めグラナイトベース
  
  PI社はナノメートル精度の精密位置決め分野で50年の実績を持つグローバルリーダーです。
  ・高精度計測＆検査装置
  ・光学測定器
  ・キャリブレーション
  ・XCTスキャニング
  ・真空対応製品
  
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- - 神津精機株式会社
    位置決めステージ
  - 会社サイト創業: 1957年従業員数: 115人資本金: 99,653,000円会社詳細
  - 住所: 神奈川県川崎市麻生区栗木2-6-15
- デモ機貸し出し可能
  
  当社は、1957年の創業以来、「技術と誠意で科学（ミライ）を拓く」をモットーに、官公庁の実験研究用装置、最先端の半導体製造・検査装置のなかで、微細かつ正確な位置決めを行う精密機器を供給して参りました。
  
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- - 住友重機械工業株式会社メーカー
    精密位置決め装置
  - 会社サイト上場(東証プライム) 創業: 1888年従業員数: 24,584人会社詳細
  - 住所: 東京都品川区大崎2丁目1番1号Thinkpark Tower
- - ヒーハイスト株式会社メーカー
    位置決めステージ XYθステージ
  - 会社サイト創業: 1962年資本金: 732,552,000円会社詳細
  - 住所: 埼玉県川越市今福580番地1
- - CKD日機電装株式会社メーカー
    位置決めステージ一覧
  - 会社サイト創業: 1967年従業員数: 230人資本金: 100,000,000円会社詳細
  - 住所: 神奈川県川崎市宮前区有馬2-8-24
- - オリムベクスタ株式会社メーカー商社・代理店
    位置決めステージ一覧
  - 会社サイト創業: 1984年従業員数: 62人会社詳細
  - 住所: 東京都台東区小島2-19-10
- - 株式会社モーショントラスト
    精密XYステージ一覧
  - 会社サイト創業: 2002年従業員数: 40人資本金: 99,000,000円会社詳細
  - 住所: 福井県あわら市柿原46-1-1
- - 有限会社永信光機
    位置決め基本機器
  - 会社サイト創業: 1964年従業員数: 8人資本金: 3,000,000円会社詳細
  - 住所: 埼玉県和光市新倉4-3-2
- - ハイフィネス・ジャパン株式会社
    小型精密位置決めステージ一覧
  - 会社サイト創業: 2011年会社詳細
  - 住所: 埼玉県川越市脇田町12-3 脇田町アーバンS 707
- - コムス株式会社
    高精度自動ステージ（位置決めステージ）
  - 会社サイト創業: 1998年従業員数: 9人会社詳細
  - 住所: 兵庫県尼崎市道意町7-1-3 尼崎リサーチコアセンタービル5F
- - エドモンド・オプティクス・ジャパン株式会社
    位置決めステージ一覧
  - 会社サイト創業: 1995年従業員数: 232人資本金: 86,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都文京区本駒込2-29-24パシフィックスクエア千石4F
- - THKプレシジョン株式会社
    位置決めステージ一覧
  - 会社サイト創業: 2002年従業員数: 12人会社詳細
  - 住所: 東京都大田区東糀谷4-9-16　THKテクノセンター2F
- - 株式会社日本レーザー商社・代理店
    電動直進ステージ（自動直進ステージ）
  - 会社サイト創業: 1968年従業員数: 56人会社詳細
  - 住所: 東京都新宿区西早稲田2-14-1

位置決めステージ 2024年3月のメーカーランキング

*一部商社などの取扱い企業なども含みます

2024年3月の注目ランキングベスト10

注目ランキング導出方法

順位	会社名	クリックシェア
1	神津精機株式会社	17.8%
2	株式会社モーショントラスト	11.1%
3	CKD日機電装株式会社	11.1%
4	ピーアイ・ジャパン株式会社	8.9%
5	ヒーハイスト株式会社	8.9%
6	オリムベクスタ株式会社	8.9%
7	住友重機械工業株式会社	8.9%
8	株式会社日本レーザー	6.7%
9	有限会社永信光機	4.4%
10	エドモンド・オプティクス・ジャパン株式会社	4.4%