メーカー 19社
製品 501点

位置決めステージ
メーカー19社【2025年】

位置決めステージについての概要、用途、原理などをご説明します。また、位置決めステージのメーカー19社一覧や企業ランキングも掲載しております。位置決めステージ関連企業の2025年2月注目ランキングは1位:神津精機株式会社、2位:株式会社三共製作所、3位:日本シュネーベルガー株式会社となっています。

位置決めステージとは？
位置決めステージのメーカー19社
位置決めステージ501製品
位置決めステージの価格・相場

位置決めステージとは

位置決めステージ

位置決めステージ (英: positioning stage) とは、位置決めが可能な台のことです。

モータとボールネジなどを組み合わせた構造が多く使われ、位置決めステージは、移動する部分です。位置決めステージは、精密な位置決めを行うことができます。

半導体やディスプレイ関連などの製造や検査をはじめとして、精密加工の分野において様々な用途で使用されます。xyステージは、2次元で自由な動きを可能にするなど、ステージの種類によって特性を活かした用途で使用されます。

位置決めステージの使用用途

位置決めステージは、精密機器の分野において位置決めを行うために使用されます。具体的には、半導体やプリント基板などの分野で、検査・加工装置用、露光・高精度検査装置用、ウエハ・基板の高速位置決めなどの用途です。

また、液晶の検査装置、レーザー関連装置、基板の移載装置・精密検査装置、基板と加工ヘッドの高精度位置決め、カメラやファイバのアライメント、試料の検査・分析治具などにも用いられます。ステージを目標位置に分解能単位で精密に移動させることで、定められた加工・検査・移動などが可能になります。

位置決めステージの原理

位置決め装置は、駆動するアクチュエータ、アクチュエータが動作するための信号を制御する制御装置、移動体であるステージ、ステージを支えるガイドなどから構成されます。高い精度を保持しながら高速で作業を行えるように、移動体である位置決めステージの振動などが小さくなるよう特性や制御機能を充実させなければなりません。

閉ループ制御やオープンループ制御、セミクローズド制御などの制御方式を用いることで、ステージの移動誤差を計測して目標位置に部品を移動させます。この際、アッベの原理を利用して測定誤差を小さくします。アッベの原理とは、「測定精度を高めるためには、測定対象物と測定器具の目盛を測定方向の同一線上に配置しなければならない」ことです。

位置決めステージの種類

位置決めステージには、1軸型、2軸直交型、3軸直交型、回転型、組合わせ型などがあります。

1. 1軸～3軸型

1軸型は、最もシンプルな構成で、x1方向のみの移動が可能です。縦方向のz型もあります。2軸直交型は、xy2方向またはx方向とz方向に移動できるタイプです。

3軸直交型は水平xy2方向に、縦z方向を加えたもので、構造が複雑です。

2. 回転型・組合せ型

回転型は、回転運動θのみが可能なタイプです。組合せ型は、回転型に1軸・2軸の移動を加えたx-θ,z-θ,xy-θ型などです。

位置決めステージの構造

1. ボールねじ

回転モータと組む合わせて、多く使われます。ボールがねじ溝を循環することで、摺動ねじに比べ大幅に摩擦が減り、軽く動きます。

2. リニアガイド

リニアガイドは、ステージを支持するガイドです。アリ溝、クロスローラ、ローラウェイ、ボールウェイ、ボールブッシュ、回転ベアリングなど、多くの種類があります。

移動精度に優れ、耐荷重が大きく、剛性が高い方式を選択する必要があります。　　　

3. 制御装置

位置決めステージの制御装置には、オープンループ制御、セミクローズド制御、フルクローズド制御などが使用されます。

位置決めステージのその他情報

1. 位置決めステージの方式

ステージの位置決めをする方法は、間欠位置決め方式と連続位置決め方式があります。間欠位置決め方式はある地点から出発して、途中の経路や時間を問わないで、目標の地点に停止させる方法です。

連続位置決め方式は、移動途中の経路や時間を測定しながら、目標点に停止させる方法です。

2. 位置決めステージの稼働方式

位置決めステージの駆動は、回転モータ、リニアモータが主力です。圧電素子を使う方法もあります。空気や油圧を使う方法は、少なくなっています。

回転モータ
回転モータは、サーボモータとボールねじの組み合わせが多く使われます。

リニアモータ
リニアモータには多くの利点があり、具体的には高速が可能でコンタミの問題がないこと、構造が簡単で騒音が少なくなることなどが挙げられます。

そのほか、剛性も大きくできます。ただし、ステージの位置検出が必要でコスト高の要因になるのが欠点です。また、発熱が大きいので冷却装置が必要になる場合があります。　　　

参考文献
https://www.jstage.jst.go.jp/article/jjspe/77/7/77_7_656/_pdf
https://www.ntn.co.jp/japan/products/catalog/pdf/6104.pdf
https://jp.misumi-ec.com/tech-info/categories/machine_design/md05/d0015.html
https://www.shi.co.jp/products/precision/position/

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位置決めステージメーカー 19社

*一部商社などの取扱い企業なども含みます。

超高精度【位置決めステージ】注目製品
神津精機株式会社

・サブミクロンの高精度位置決めが可能な精密ステージを300機種以上ラインナップ
・各ステージは組み合わせが可能で、用途にベストマッチする多軸ステージを提案可能
・モーター変更、リニアスケール取付、真空などの特殊環境仕様、等、多様な改造に対応
・精度実力値をホームページで公開中

- - 神津精機株式会社
    位置決めステージ
  - 会社サイト創業: 1957年従業員数: 130人資本金: 99,653,000円会社詳細
  - 住所: 神奈川県川崎市麻生区栗木2-6-15
- デモ機貸し出し可能特注対応も可能高精度
  
  当社は、1957年の創業以来、「技術と誠意で科学（ミライ）を拓く」をモットーに、官公庁の実験研究用装置、最先端の半導体製造・検査装置のなかで、微細かつ正確な位置決めを行う精密機器を供給して参りました。
- - 株式会社大和テクノシステムズメーカー
    アパーチャー
  - 会社サイト創業: 1967年従業員数: 46人会社詳細
  - 住所: 東京都町田市玉川学園4-24-24
- - 株式会社三共製作所メーカー
    任意位置決め装置
  - 会社サイト創業: 1938年従業員数: 630人会社詳細
  - 住所: 東京都北区田端新町3-37-3
- - 日本シュネーベルガー株式会社メーカー
    超精密位置決めステージシステム
  - 会社サイト会社詳細
  - 住所: 東京都港区虎ノ門3丁目20番5号クレイン虎ノ門7階
- - 住友重機械工業株式会社メーカー
    精密位置決め装置
  - 会社サイト上場(東証プライム) 創業: 1888年従業員数: 24,584人会社詳細
  - 住所: 東京都品川区大崎2丁目1番1号Thinkpark Tower
- - ヒーハイスト株式会社メーカー
    位置決めステージ XYθステージ
  - 会社サイト創業: 1962年資本金: 732,552,000円会社詳細
  - 住所: 埼玉県川越市今福580番地1
- - パーカー・ハネフィン日本株式会社メーカー
    電動式位置決めステージ
  - 会社サイト創業: 1976年資本金: 490,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都品川区東品川二丁目3番14号東京フロントテラス16F
- - CKD日機電装株式会社メーカー
    位置決めステージ一覧
  - 会社サイト創業: 1967年従業員数: 230人資本金: 100,000,000円会社詳細
  - 住所: 神奈川県川崎市宮前区有馬2-8-24
- - オリムベクスタ株式会社メーカー商社・代理店
    位置決めステージ一覧
  - 会社サイト創業: 1984年従業員数: 62人会社詳細
  - 住所: 東京都台東区小島2-19-10
- - 株式会社モーショントラスト
    精密XYステージ一覧
  - 会社サイト創業: 2002年従業員数: 40人資本金: 99,000,000円会社詳細
  - 住所: 福井県あわら市柿原46-1-1
- - 株式会社MSAファクトリー
    簡易位置決めユニット　SXLシリーズ
  - 会社サイト創業: 2007年従業員数: 5人会社詳細
  - 住所: 東京都渋谷区本町1-21-1 SH小林ビル５F
- - 有限会社永信光機
    位置決め基本機器
  - 会社サイト創業: 1964年従業員数: 8人資本金: 3,000,000円会社詳細
  - 住所: 埼玉県和光市新倉4-3-2
- - ピーアイ・ジャパン株式会社
    位置決めステージ一覧
  - 会社サイト創業: 1991年従業員数: 15人資本金: 20,000,000円会社詳細
  - 住所: 神奈川県幸区堀川町580番地　ソリッドスクエア西館17F
- - ハイフィネス・ジャパン株式会社
    小型精密位置決めステージ一覧
  - 会社サイト創業: 2011年会社詳細
  - 住所: 埼玉県川越市脇田町12-3 脇田町アーバンS 707
- - コムス株式会社
    高精度自動ステージ（位置決めステージ）
  - 会社サイト創業: 1998年従業員数: 9人会社詳細
  - 住所: 兵庫県神戸市東灘区本山南町8-6-26東神戸センタービルEAST 4F
- - エドモンド・オプティクス・ジャパン株式会社
    位置決めステージ
  - 会社サイト創業: 1995年従業員数: 232人資本金: 86,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都文京区本駒込2-29-24パシフィックスクエア千石4F
- - THKプレシジョン株式会社
    位置決めステージ一覧
  - 会社サイト創業: 2002年従業員数: 15人会社詳細
  - 住所: 東京都大田区羽田旭町10-11 MFIP羽田102
- - 株式会社日本レーザー商社・代理店
    電動直進ステージ（自動直進ステージ）
  - 会社サイト創業: 1968年従業員数: 56人会社詳細
  - 住所: 東京都新宿区西早稲田2-14-1
- - ワイヤード株式会社商社・代理店
    ナノ分解能ピエゾ位置決めステージ
  - 会社サイト創業: 1999年資本金: 10,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都狛江市岩戸北4-20-5

位置決めステージ 2025年2月のメーカーランキング

*一部商社などの取扱い企業なども含みます

2025年2月の注目ランキングベスト10

順位	会社名	クリックシェア
1	神津精機株式会社	36.7%
2	株式会社三共製作所	10.2%
3	日本シュネーベルガー株式会社	8.2%
4	THKプレシジョン株式会社	8.2%
5	オリムベクスタ株式会社	6.1%
6	ヒーハイスト株式会社	4.1%
7	ワイヤード株式会社	4.1%
8	株式会社日本レーザー	4.1%
9	CKD日機電装株式会社	4.1%
10	パーカー・ハネフィン日本株式会社	4.1%