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位置決めステージのメーカー27社一覧や企業ランキングを掲載中！位置決めステージ関連企業の2025年7月注目ランキングは1位:神津精機株式会社、2位:エヌピイエス株式会社、3位:株式会社マシンエンジニアリングとなっています。 位置決めステージの概要、用途、原理もチェック！
位置決めステージ (英: positioning stage) とは、位置決めが可能な台のことです。
モータとボールネジなどを組み合わせた構造が多く使われ、位置決めステージは、移動する部分です。位置決めステージは、精密な位置決めを行うことができます。
半導体やディスプレイ関連などの製造や検査をはじめとして、精密加工の分野において様々な用途で使用されます。xyステージは、2次元で自由な動きを可能にするなど、ステージの種類によって特性を活かした用途で使用されます。
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2025年7月の注目ランキングベスト10
| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | 神津精機株式会社 |
12.9%
|
| 2 | エヌピイエス株式会社 |
9.7%
|
| 3 | 株式会社マシンエンジニアリング |
9.7%
|
| 4 | THKプレシジョン株式会社 |
9.7%
|
| 5 | CKD日機電装株式会社 |
6.5%
|
| 6 | 株式会社三共製作所 |
6.5%
|
| 7 | 株式会社大和テクノシステムズ |
6.5%
|
| 8 | エドモンド・オプティクス・ジャパン株式会社 |
3.2%
|
| 9 | 株式会社MSAファクトリー |
3.2%
|
| 10 | ヒーハイスト株式会社 |
3.2%
|
48 点の製品がみつかりました
48 点の製品
オリムベクスタ株式会社
1690人以上が見ています
最新の閲覧: 4時間前
返信の早い企業
100.0% 返答率
11.5時間 返答時間
＜特徴＞ 高精度 ・位置決め後の安定性が高い ・バックラッシが少ない ・回転ステージの偏芯量が少ない ・サブミクロンの位置決めが可能...
4種類の品番
ツクモ工学株式会社
390人以上が見ています
最新の閲覧: 5時間前
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100.0% 返答率
0.5時間 返答時間
■概要 ・X軸ラックピニオンステージは、ロングストロークの粗動調整に優れたX軸ステージです。 ・移動用ツマミを回すと、20mm/回転で素...
4種類の品番
ツクモ工学株式会社
550人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
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0.5時間 返答時間
■概要 ・X軸ネジ送りステージは、ショートストロークの微動調整に優れたX軸ステージです。 ・駆動方式は、ネジ (P＝0.5mm) 、移動ガイド...
4種類の品番
ツクモ工学株式会社
460人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
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■概要 ・アルミ製軽量型・X軸ネジ送りステージは、従来製品の本体材質をアルミにすることで小型軽量化した製品です。 ・薄型化・軽量化...
3種類の品番
ツクモ工学株式会社
550人以上が見ています
最新の閲覧: 1時間前
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0.5時間 返答時間
■概要 ・X軸アルミステージは、クロスローラガイドを採用した高精度な直動型のX軸ステージです。 ・移動ガイドは、クロスローラを採用し...
4種類の品番
ツクモ工学株式会社
620人以上が見ています
最新の閲覧: 25分前
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■概要 ・X軸アルミステージは、クロスローラガイドを採用した高精度な直動型のX軸ステージです。 ・移動ガイドは、クロスローラを採用し...
6種類の品番
ツクモ工学株式会社
460人以上が見ています
最新の閲覧: 23分前
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0.5時間 返答時間
■概要 ・X軸アルミステージは、クロスローラガイドを採用した高精度で軽量な直動型のX軸ステージです。 ・移動ガイドは、クロスローラを...
5種類の品番
ツクモ工学株式会社
340人以上が見ています
最新の閲覧: 34分前
返信のとても早い企業
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■概要 ・X軸アルミステージは、クロスローラガイドを採用した高精度な直動型のX軸ステージです。 ・移動ガイドは、クロスローラを採用し...
3種類の品番
ツクモ工学株式会社
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■概要 ・X軸自動ステージは、リニアブッシュとモータ駆動を組み合わせたシンプルな構造の制御式のX軸ステージです。 ・センサー配置は前...
エドモンド・オプティクス・ジャパン株式会社
170人以上が見ています
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30.5時間 返答時間
■特徴 ・TECHSPEC®移動ステージ各種に直接設置してアライメント軸を追加 ・XとY軸両方向に±12.5mmor±35mm移動して素早い位置取りが可能 ...
ワイヤード株式会社
350人以上が見ています
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100.0% 返答率
69.5時間 返答時間
□24の5相ステッピングモータを採用した、小型・軽量・高精度をコンセプトに開発された40mm角テーブルの自動位置決めステージです。
ワイヤード株式会社
250人以上が見ています
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3.0 会社レビュー
100.0% 返答率
69.5時間 返答時間
□24の5相ステッピングモータを採用した、小型・軽量・高精度をコンセプトに開発された60mm角テーブルの自動位置決めステージです。
ワイヤード株式会社
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ガイド部とボールネジ部を一体構造にしたことによるコストダウンと高精度・高剛性を実現した自動位置決めステージです。□24mmの5相ステ...
ワイヤード株式会社
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従来のLMガイドと違いアウタレール構造を採用したことにより高精度・高剛性なため取付姿勢に対する制限が受けにくい自動位置決めステー...
ワイヤード株式会社
230人以上が見ています
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3.0 会社レビュー
100.0% 返答率
69.5時間 返答時間
ガイド部とボールネジ部を一体構造にしたことによるコストダウンと高精度・高剛性を実現した自動位置決めステージです。□24mmの5相ステ...
ワイヤード株式会社
230人以上が見ています
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69.5時間 返答時間
アウタレール構造を採用したことにより高精度・高剛性なため取付姿勢に対する制限が受けにくい自動位置決めステージです。
ワイヤード株式会社
240人以上が見ています
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100.0% 返答率
69.5時間 返答時間
アウタレール構造を採用したことにより高精度・高剛性なため取付姿勢に対する制限が受けにくい自動位置決めステージです。
ワイヤード株式会社
220人以上が見ています
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アウタレール構造を採用したことにより高精度・高剛性な自動位置決めステージです。 オーバーハング負荷・モーメント荷重負荷に対する剛...
ワイヤード株式会社
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アウタレール構造を採用したことにより高精度・高剛性な自動位置決めステージです。 オーバーハング負荷・モーメント荷重負荷に対する剛...
ワイヤード株式会社
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100.0% 返答率
69.5時間 返答時間
■特徴 ・テーブル20×23mm、指サイズの超小型精密自動ステージ ・小型でありながら精密送りネジと剛性・平面精度の高い精密クロスローラ...
THKプレシジョン株式会社
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1軸から3軸一体型まで揃えストロークも豊富なピエゾステージの基本シリーズ ■2つの機構で性能分類 高い共振周波数を備え高速応答性重視...
THKプレシジョン株式会社
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1軸から3軸一体型まで揃えストロークも豊富なピエゾステージの基本シリーズ ■2つの機構で性能分類 高い共振周波数を備え高速応答性重視...
THKプレシジョン株式会社
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内蔵変位センサとして「歪みゲージ式センサ」を採用しコストを抑えた汎用ピエゾステージです。 20nmの移動分解能とフィードバック制御に...
位置決めステージ (英: positioning stage) とは、位置決めが可能な台のことです。
モータとボールネジなどを組み合わせた構造が多く使われ、位置決めステージは、移動する部分です。位置決めステージは、精密な位置決めを行うことができます。
半導体やディスプレイ関連などの製造や検査をはじめとして、精密加工の分野において様々な用途で使用されます。xyステージは、2次元で自由な動きを可能にするなど、ステージの種類によって特性を活かした用途で使用されます。
位置決めステージは、精密機器の分野において位置決めを行うために使用されます。具体的には、半導体やプリント基板などの分野で、検査・加工装置用、露光・高精度検査装置用、ウエハ・基板の高速位置決めなどの用途です。
また、液晶の検査装置、レーザー関連装置、基板の移載装置・精密検査装置、基板と加工ヘッドの高精度位置決め、カメラやファイバのアライメント、試料の検査・分析治具などにも用いられます。ステージを目標位置に分解能単位で精密に移動させることで、定められた加工・検査・移動などが可能になります。
位置決め装置は、駆動するアクチュエータ、アクチュエータが動作するための信号を制御する制御装置、移動体であるステージ、ステージを支えるガイドなどから構成されます。高い精度を保持しながら高速で作業を行えるように、移動体である位置決めステージの振動などが小さくなるよう特性や制御機能を充実させなければなりません。
閉ループ制御やオープンループ制御、セミクローズド制御などの制御方式を用いることで、ステージの移動誤差を計測して目標位置に部品を移動させます。この際、アッベの原理を利用して測定誤差を小さくします。アッベの原理とは、「測定精度を高めるためには、測定対象物と測定器具の目盛を測定方向の同一線上に配置しなければならない」ことです。
位置決めステージには、1軸型、2軸直交型、3軸直交型、回転型、組合わせ型などがあります。
1軸型は、最もシンプルな構成で、x1方向のみの移動が可能です。縦方向のz型もあります。2軸直交型は、xy2方向またはx方向とz方向に移動できるタイプです。
3軸直交型は水平xy2方向に、縦z方向を加えたもので、構造が複雑です。
回転型は、回転運動θのみが可能なタイプです。組合せ型は、回転型に1軸・2軸の移動を加えたx-θ,z-θ,xy-θ型などです。
回転モータと組む合わせて、多く使われます。ボールがねじ溝を循環することで、摺動ねじに比べ大幅に摩擦が減り、軽く動きます。
リニアガイドは、ステージを支持するガイドです。アリ溝、クロスローラ、ローラウェイ、ボールウェイ、ボールブッシュ、回転ベアリングなど、多くの種類があります。
移動精度に優れ、耐荷重が大きく、剛性が高い方式を選択する必要があります。
位置決めステージの制御装置には、オープンループ制御、セミクローズド制御、フルクローズド制御などが使用されます。
ステージの位置決めをする方法は、間欠位置決め方式と連続位置決め方式があります。間欠位置決め方式はある地点から出発して、途中の経路や時間を問わないで、目標の地点に停止させる方法です。
連続位置決め方式は、移動途中の経路や時間を測定しながら、目標点に停止させる方法です。
位置決めステージの駆動は、回転モータ、リニアモータが主力です。圧電素子を使う方法もあります。空気や油圧を使う方法は、少なくなっています。
回転モータ
回転モータは、サーボモータとボールねじの組み合わせが多く使われます。
リニアモータ
リニアモータには多くの利点があり、具体的には高速が可能でコンタミの問題がないこと、構造が簡単で騒音が少なくなることなどが挙げられます。
そのほか、剛性も大きくできます。ただし、ステージの位置検出が必要でコスト高の要因になるのが欠点です。また、発熱が大きいので冷却装置が必要になる場合があります。
参考文献
https://www.jstage.jst.go.jp/article/jjspe/77/7/77_7_656/_pdf
https://www.ntn.co.jp/japan/products/catalog/pdf/6104.pdf
https://jp.misumi-ec.com/tech-info/categories/machine_design/md05/d0015.html
https://www.shi.co.jp/products/precision/position/
