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  1. Metoree
  2. ステージ
  3. 位置決めステージ
メーカー 19社 製品 501点
神津精機株式会社
住友重機械工業株式会社
株式会社三共製作所
エドモンド・オプティクス・ジャパン株式会社
CKD日機電装株式会社
オリムベクスタ株式会社

位置決めステージ
メーカー19社 【2025年】

位置決めステージについての概要、用途、原理などをご説明します。また、位置決めステージのメーカー19社一覧や企業ランキングも掲載しております。位置決めステージ関連企業の2025年2月注目ランキングは1位:神津精機株式会社、2位:株式会社三共製作所、3位:日本シュネーベルガー株式会社となっています。

目次

関連キーワード

ピエゾステージ 手動ステージ 精密ステージ リニアステージ

位置決めステージとは

位置決めステージ

位置決めステージ (英: positioning stage) とは、位置決めが可能な台のことです。

モータとボールネジなどを組み合わせた構造が多く使われ、位置決めステージは、移動する部分です。位置決めステージは、精密な位置決めを行うことができます。

半導体やディスプレイ関連などの製造や検査をはじめとして、精密加工の分野において様々な用途で使用されます。xyステージは、2次元で自由な動きを可能にするなど、ステージの種類によって特性を活かした用途で使用されます。

位置決めステージの使用用途

位置決めステージは、精密機器の分野において位置決めを行うために使用されます。具体的には、半導体やプリント基板などの分野で、検査・加工装置用、露光・高精度検査装置用、ウエハ・基板の高速位置決めなどの用途です。

また、液晶の検査装置、レーザー関連装置、基板の移載装置・精密検査装置、基板と加工ヘッドの高精度位置決め、カメラやファイバのアライメント、試料の検査・分析治具などにも用いられます。ステージを目標位置に分解能単位で精密に移動させることで、定められた加工・検査・移動などが可能になります。

位置決めステージの原理

位置決め装置は、駆動するアクチュエータ、アクチュエータが動作するための信号を制御する制御装置、移動体であるステージ、ステージを支えるガイドなどから構成されます。高い精度を保持しながら高速で作業を行えるように、移動体である位置決めステージの振動などが小さくなるよう特性や制御機能を充実させなければなりません。

閉ループ制御やオープンループ制御、セミクローズド制御などの制御方式を用いることで、ステージの移動誤差を計測して目標位置に部品を移動させます。この際、アッベの原理を利用して測定誤差を小さくします。アッベの原理とは、「測定精度を高めるためには、測定対象物と測定器具の目盛を測定方向の同一線上に配置しなければならない」ことです。

位置決めステージの種類

位置決めステージには、1軸型、2軸直交型、3軸直交型、回転型、組合わせ型などがあります。

1. 1軸～3軸型

1軸型は、最もシンプルな構成で、x1方向のみの移動が可能です。縦方向のz型もあります。2軸直交型は、xy2方向またはx方向とz方向に移動できるタイプです。

3軸直交型は水平xy2方向に、縦z方向を加えたもので、構造が複雑です。

2. 回転型・組合せ型

回転型は、回転運動θのみが可能なタイプです。組合せ型は、回転型に1軸・2軸の移動を加えたx-θ,z-θ,xy-θ型などです。

位置決めステージの構造

1. ボールねじ

回転モータと組む合わせて、多く使われます。ボールがねじ溝を循環することで、摺動ねじに比べ大幅に摩擦が減り、軽く動きます。

2. リニアガイド

リニアガイドは、ステージを支持するガイドです。アリ溝、クロスローラ、ローラウェイ、ボールウェイ、ボールブッシュ、回転ベアリングなど、多くの種類があります。

移動精度に優れ、耐荷重が大きく、剛性が高い方式を選択する必要があります。　　　

3. 制御装置

位置決めステージの制御装置には、オープンループ制御、セミクローズド制御、フルクローズド制御などが使用されます。

位置決めステージのその他情報

1. 位置決めステージの方式

ステージの位置決めをする方法は、間欠位置決め方式と連続位置決め方式があります。間欠位置決め方式はある地点から出発して、途中の経路や時間を問わないで、目標の地点に停止させる方法です。

連続位置決め方式は、移動途中の経路や時間を測定しながら、目標点に停止させる方法です。

2. 位置決めステージの稼働方式

位置決めステージの駆動は、回転モータ、リニアモータが主力です。圧電素子を使う方法もあります。空気や油圧を使う方法は、少なくなっています。

回転モータ
回転モータは、サーボモータとボールねじの組み合わせが多く使われます。

リニアモータ
リニアモータには多くの利点があり、具体的には高速が可能でコンタミの問題がないこと、構造が簡単で騒音が少なくなることなどが挙げられます。

そのほか、剛性も大きくできます。ただし、ステージの位置検出が必要でコスト高の要因になるのが欠点です。また、発熱が大きいので冷却装置が必要になる場合があります。　　　

参考文献
https://www.jstage.jst.go.jp/article/jjspe/77/7/77_7_656/_pdf
https://www.ntn.co.jp/japan/products/catalog/pdf/6104.pdf
https://jp.misumi-ec.com/tech-info/categories/machine_design/md05/d0015.html
https://www.shi.co.jp/products/precision/position/


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位置決めステージメーカー 19社

*一部商社などの取扱い企業なども含みます。

超高精度【位置決めステージ】 注目製品
神津精機株式会社
神津精機株式会社の位置決めステージ
・サブミクロンの高精度位置決めが可能な精密ステージを300機種以上ラインナップ
・各ステージは組み合わせが可能で、用途にベストマッチする多軸ステージを提案可能
・モーター変更、リニアスケール取付、真空などの特殊環境仕様、等、多様な改造に対応
・精度実力値をホームページで公開中


位置決めステージ 2025年2月のメーカーランキング

*一部商社などの取扱い企業なども含みます

業界別

💊 製薬・医薬品 🚗 自動車・輸送用機器 💻 電子・電気機器 ⚡ エネルギー 🚀 航空・宇宙

項目別

移動範囲 mm

0 - 1 1 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 500

繰り返し位置決め精度 μm

0 - 1 1 - 2

耐荷重 N

0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 3,000

最高速度 mm/秒

0 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 1,000

真直度 μm

0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5

分解能nm nm

0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 4 4 - 5 5 - 6

分解能μrad μrad

0 - 0.3 0.3 - 1

77 点の製品がみつかりました

77 点の製品

XY軸アルミステージ 【160×100mm/□200mm/□300mm】・クロスローラ-ツクモ工学株式会社

ツクモ工学株式会社

XY軸アルミステージ 【160×100mm/□200mm/□300mm】・クロスローラ

電子・電気機器業界用 エネルギー業界用 航空・宇宙業界用

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返信のとても早い企業

100.0% 返答率

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■概要 ・XY軸アルミステージは、クロスローラガイドを採用した高精度な直動型のXY軸ステージです。 ・移動ガイドは、クロスローラを採用しており、滑らかな移...

3種類の品番

XC2-300CS-XY軸アルミステージ 【160×100mm/□200mm/□300mm】・クロスローラ
XC2-200CS-XY軸アルミステージ 【160×100mm/□200mm/□300mm】・クロスローラ
XC2-160SM-XY軸アルミステージ 【160×100mm/□200mm/□300mm】・クロスローラ

価格 (税抜)

145,000 円〜

自動Z軸ステージ・□100mmフラットタイプ-ツクモ工学株式会社

ツクモ工学株式会社

自動Z軸ステージ・□100mmフラットタイプ

エネルギー業界用 電子・電気機器業界用 航空・宇宙業界用

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■概要 ・自動Z軸ステージは、ステージ面を水平に保持し、モーター駆動によりZ軸方向へ移動・微調整が可能なZ軸ステージです。 ・移動ガイドは、クロスローラ...

価格 (税抜)

303,000 円

XYZ軸フラットアルミステージ【□25・□40・□60mm】-ツクモ工学株式会社

ツクモ工学株式会社

XYZ軸フラットアルミステージ【□25・□40・□60mm】

電子・電気機器業界用 エネルギー業界用 航空・宇宙業界用

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100.0% 返答率

0.6時間 返答時間

■概要 ・XYZ軸フラットアルミステージは、ステージ面を水平に保持し、XYZ軸方向に移動調整が可能なXYZ軸ステージです。 ・XY軸の移動ガイドは、クロスローラ...

8種類の品番

XC4-60SMD-XYZ軸フラットアルミステージ【□25・□40・□60mm】
XC4-60FMT-XYZ軸フラットアルミステージ【□25・□40・□60mm】
XC4-60CM-XYZ軸フラットアルミステージ【□25・□40・□60mm】
XC-60SM-XYZ軸フラットアルミステージ【□25・□40・□60mm】
XC4-40CM-XYZ軸フラットアルミステージ【□25・□40・□60mm】
XC4-40SM-XYZ軸フラットアルミステージ【□25・□40・□60mm】

価格 (税抜)

77,000 円〜

自動回転ステージ【ステッピングモータ・φ90ステージ】-ツクモ工学株式会社

ツクモ工学株式会社

自動回転ステージ【ステッピングモータ・φ90ステージ】

電子・電気機器業界用 エネルギー業界用 航空・宇宙業界用

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100.0% 返答率

0.6時間 返答時間

■概要 ・中型サイズの自動回転ステージは、ステッピングモータとクロスローラベアリングを採用した構造となっています。 ・コネクタ配線は、お手持ちのコント...

価格 (税抜)

280,000 円

XYZ軸アルミステージ 【垂直ステージ面 □25～60mm】-ツクモ工学株式会社

ツクモ工学株式会社

XYZ軸アルミステージ 【垂直ステージ面 □25～60mm】

電子・電気機器業界用 エネルギー業界用 航空・宇宙業界用

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100.0% 返答率

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■概要 ・XYZ軸アルミステージは、ステージ面を垂直に保持し、XYZ軸方向に移動調整が可能なXYZ軸ステージです。 ・移動ガイドは、クロスローラを採用しており...

7種類の品番

XC4-60SMW-XYZ軸アルミステージ 【垂直ステージ面 □25～60mm】
XC4-60CMB-XYZ軸アルミステージ 【垂直ステージ面 □25～60mm】
XC4-60SMB-XYZ軸アルミステージ 【垂直ステージ面 □25～60mm】
XC4-40CMB-XYZ軸アルミステージ 【垂直ステージ面 □25～60mm】
XC4-40SMB-XYZ軸アルミステージ 【垂直ステージ面 □25～60mm】
XC4-25CMB-XYZ軸アルミステージ 【垂直ステージ面 □25～60mm】

価格 (税抜)

68,000 円〜

X軸アルミステージ 【160×100mm/□200mm/□300mm】・クロスローラ-ツクモ工学株式会社

ツクモ工学株式会社

X軸アルミステージ 【160×100mm/□200mm/□300mm】・クロスローラ

電子・電気機器業界用 エネルギー業界用 航空・宇宙業界用

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■概要 ・X軸アルミステージは、クロスローラガイドを採用した高精度な直動型のX軸ステージです。 ・移動ガイドは、クロスローラを採用しており、滑らかな移動...

3種類の品番

XC-300CS-X軸アルミステージ 【160×100mm/□200mm/□300mm】・クロスローラ
XC-200CS-X軸アルミステージ 【160×100mm/□200mm/□300mm】・クロスローラ
XC-160SM-X軸アルミステージ 【160×100mm/□200mm/□300mm】・クロスローラ

価格 (税抜)

73,000 円〜

XZ軸フラットアルミステージ【□25・□40・□60mm】-ツクモ工学株式会社

ツクモ工学株式会社

XZ軸フラットアルミステージ【□25・□40・□60mm】

電子・電気機器業界用 エネルギー業界用 航空・宇宙業界用

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■概要 ・XZ軸フラットアルミステージは、ステージ面を水平に保持し、XZ軸方向に移動調整が可能なXZ軸ステージです。 ・X軸の移動ガイドは、クロスローラを採...

7種類の品番

XC3-60SMD-XZ軸フラットアルミステージ【□25・□40・□60mm】
XC3-60CM-XZ軸フラットアルミステージ【□25・□40・□60mm】
XC3-60SM-XZ軸フラットアルミステージ【□25・□40・□60mm】
XC3-40CM-XZ軸フラットアルミステージ【□25・□40・□60mm】
XC3-40SM-XZ軸フラットアルミステージ【□25・□40・□60mm】
XC3-25CM-XZ軸フラットアルミステージ【□25・□40・□60mm】

価格 (税抜)

56,000 円〜

XYZ軸フラットアルミステージ【□80・□100・□120mm】-ツクモ工学株式会社

ツクモ工学株式会社

XYZ軸フラットアルミステージ【□80・□100・□120mm】

電子・電気機器業界用 エネルギー業界用 航空・宇宙業界用

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■概要 ・XYZ軸フラットアルミステージは、ステージ面を水平に保持し、XYZ軸方向に移動調整が可能なXYZ軸ステージです。 ・移動ガイドは、クロスローラを採用...

6種類の品番

XC4-120CM-XYZ軸フラットアルミステージ【□80・□100・□120mm】
XC4-120SM-XYZ軸フラットアルミステージ【□80・□100・□120mm】
XC4-100CM-XYZ軸フラットアルミステージ【□80・□100・□120mm】
XC4-100SM-XYZ軸フラットアルミステージ【□80・□100・□120mm】
XC4-80CM-XYZ軸フラットアルミステージ【□80・□100・□120mm】
XC4-80SM-XYZ軸フラットアルミステージ【□80・□100・□120mm】

価格 (税抜)

130,000 円〜

XZ軸フラットアルミステージ【□80・□100・□120mm】-ツクモ工学株式会社

ツクモ工学株式会社

XZ軸フラットアルミステージ【□80・□100・□120mm】

電子・電気機器業界用 エネルギー業界用 航空・宇宙業界用

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返信のとても早い企業

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■概要 ・XZ軸フラットアルミステージは、ステージ面を水平に保持し、XZ軸方向に移動調整が可能なXZ軸ステージです。 ・移動ガイドは、クロスローラを採用して...

6種類の品番

XC3-120CM-XZ軸フラットアルミステージ【□80・□100・□120mm】
XC3-120SM-XZ軸フラットアルミステージ【□80・□100・□120mm】
XC3-100CM-XZ軸フラットアルミステージ【□80・□100・□120mm】
XC3-100SM-XZ軸フラットアルミステージ【□80・□100・□120mm】
XC3-80CM-XZ軸フラットアルミステージ【□80・□100・□120mm】
XC3-80SM-XZ軸フラットアルミステージ【□80・□100・□120mm】

価格 (税抜)

90,000 円〜

大型Z軸ステージ・ロングストローク-ツクモ工学株式会社

ツクモ工学株式会社

大型Z軸ステージ・ロングストローク

電子・電気機器業界用 エネルギー業界用 航空・宇宙業界用

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■概要 ・大型Z軸ステージは、ステージ面を垂直に保持し、ロングストロークの移動調整が可能なZ軸ステージです。 ・駆動方式に台形ネジとハンドル操作を採用す...

4種類の品番

ZA-500LP1-大型Z軸ステージ・ロングストローク
ZA-750LP3-大型Z軸ステージ・ロングストローク
ZA-500L-大型Z軸ステージ・ロングストローク
ZA-300L-大型Z軸ステージ・ロングストローク

価格 (税抜)

65,000 円〜

薄型Z軸フラットアルミステージ 【□60mm/□120mm】・ファインピッチマイクロ調整-ツクモ工学株式会社

ツクモ工学株式会社

薄型Z軸フラットアルミステージ 【□60mm/□120mm】・ファインピッチマイクロ調整

電子・電気機器業界用 エネルギー業界用 航空・宇宙業界用

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■概要 ・薄型Z軸フラットアルミステージ（ZA-FMTタイプ）は、ステージ面を水平に保持し、Z軸方向に移動調整が可能なZ軸ステージです。 ・駆動方式はファイン...

2種類の品番

ZA-120FMT-薄型Z軸フラットアルミステージ 【□60mm/□120mm】・ファインピッチマイクロ調整
ZA-60FMT-薄型Z軸フラットアルミステージ 【□60mm/□120mm】・ファインピッチマイクロ調整

価格 (税抜)

61,000 円〜

Z軸アルミステージ 【垂直ステージ面】-ツクモ工学株式会社

ツクモ工学株式会社

Z軸アルミステージ 【垂直ステージ面】

電子・電気機器業界用 エネルギー業界用 航空・宇宙業界用

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0.6時間 返答時間

■概要 ・Z軸アルミステージは、ステージ面を垂直に保持し、Z軸方向に移動調整が可能なZ軸ステージです。 ・ステージ面を移動後は、クランプで位置を固定しま...

5種類の品番

ZA-60MBD-Z軸アルミステージ 【垂直ステージ面】
ZA-60MBW-Z軸アルミステージ 【垂直ステージ面】
ZA-60MB-Z軸アルミステージ 【垂直ステージ面】
ZA-40MB-Z軸アルミステージ 【垂直ステージ面】
ZA-25MB-Z軸アルミステージ 【垂直ステージ面】

価格 (税抜)

27,000 円〜

XZ軸アルミステージ 【垂直ステージ面 □25～60mm】-ツクモ工学株式会社

ツクモ工学株式会社

XZ軸アルミステージ 【垂直ステージ面 □25～60mm】

電子・電気機器業界用 エネルギー業界用 航空・宇宙業界用

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返信のとても早い企業

100.0% 返答率

0.6時間 返答時間

■概要 ・XZ軸アルミステージは、ステージ面を垂直に保持し、XZ軸方向に移動調整が可能なXZ軸ステージです。 ・移動ガイドは、クロスローラを採用しており、滑...

6種類の品番

XC3-60CMB-XZ軸アルミステージ 【垂直ステージ面 □25～60mm】
XC3-60SMB-XZ軸アルミステージ 【垂直ステージ面 □25～60mm】
XC3-40CMB-XZ軸アルミステージ 【垂直ステージ面 □25～60mm】
XC3-40SMB-XZ軸アルミステージ 【垂直ステージ面 □25～60mm】
XC3-25CMB-XZ軸アルミステージ 【垂直ステージ面 □25～60mm】
XC3-25SMB-XZ軸アルミステージ 【垂直ステージ面 □25～60mm】

価格 (税抜)

48,000 円〜

X軸ステージ 【大型直動・ロングストローク・ハンドル操作型】-ツクモ工学株式会社

ツクモ工学株式会社

X軸ステージ 【大型直動・ロングストローク・ハンドル操作型】

電子・電気機器業界用 エネルギー業界用 航空・宇宙業界用

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返信のとても早い企業

100.0% 返答率

0.6時間 返答時間

■概要 ・大型X軸ステージは、駆動方式に台形ネジとハンドル操作を採用することにより、ロングストロークの移動調整が可能なX軸ステージです。 ・30°台形ネジ...

価格 (税抜)

70,000 円

XYZ軸ラックピニオンステージ-ツクモ工学株式会社

ツクモ工学株式会社

XYZ軸ラックピニオンステージ

電子・電気機器業界用 エネルギー業界用 航空・宇宙業界用

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返信のとても早い企業

100.0% 返答率

0.6時間 返答時間

■概要 ・XYZ軸ラックピニオンステージは、ステージ面を垂直に保持し、XYZ軸方向に移動調整が可能なXYZ軸ステージです。 ・移動用ツマミを回すと、20mm/回転で...

価格 (税抜)

55,000 円

XYZ軸ネジ送りステージ-ツクモ工学株式会社

ツクモ工学株式会社

XYZ軸ネジ送りステージ

電子・電気機器業界用 エネルギー業界用 航空・宇宙業界用

250人以上が見ています

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返信のとても早い企業

100.0% 返答率

0.6時間 返答時間

■概要 ・XYZ軸ネジ送りステージは、ステージ面を垂直に保持し、XYZ軸方向に移動調整が可能なXYZ軸ステージです。 ・各ネジで各軸のステージを移動し、各クラ...

5種類の品番

X15-001-T03031-XYZ軸ネジ送りステージ
X15-102-XYZ軸ネジ送りステージ
X15-101-XYZ軸ネジ送りステージ
X15-002-XYZ軸ネジ送りステージ
X15-001-XYZ軸ネジ送りステージ

価格 (税抜)

33,000 円〜

XY軸ラックピニオンステージ-ツクモ工学株式会社

ツクモ工学株式会社

XY軸ラックピニオンステージ

電子・電気機器業界用 エネルギー業界用 航空・宇宙業界用

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100.0% 返答率

0.6時間 返答時間

■概要 ・XY軸ラックピニオンステージは、ロングストロークの粗動調整に優れたXY軸ステージです。 ・移動用ツマミを回すと、20mm/回転で素早く移動します。 ・...

3種類の品番

XR-082-XY軸ラックピニオンステージ
XR-082A-XY軸ラックピニオンステージ
XR-062-XY軸ラックピニオンステージ

価格 (税抜)

34,000 円〜

XZ軸ラックピニオンステージ-ツクモ工学株式会社

ツクモ工学株式会社

XZ軸ラックピニオンステージ

電子・電気機器業界用 エネルギー業界用 航空・宇宙業界用

150人以上が見ています

最新の閲覧: 10時間前

返信のとても早い企業

100.0% 返答率

0.6時間 返答時間

■概要 ・XZ軸ラックピニオンステージは、ステージ面を垂直に保持し、XZ軸方向に移動調整が可能なXZ軸ステージです。 ・移動用ツマミを回すと、20mm/回転で素...

価格 (税抜)

36,000 円

X軸ラックピニオンステージ-ツクモ工学株式会社

ツクモ工学株式会社

X軸ラックピニオンステージ

電子・電気機器業界用 エネルギー業界用 航空・宇宙業界用

150人以上が見ています

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返信のとても早い企業

100.0% 返答率

0.6時間 返答時間

■概要 ・X軸ラックピニオンステージは、ロングストロークの粗動調整に優れたX軸ステージです。 ・移動用ツマミを回すと、20mm/回転で素早く移動します。 ・移...

4種類の品番

XR-141-X軸ラックピニオンステージ
XR-081-X軸ラックピニオンステージ
XR-081A-X軸ラックピニオンステージ
XR-061-X軸ラックピニオンステージ

価格 (税抜)

17,000 円〜

Z軸ラックピニオンステージ-ツクモ工学株式会社

ツクモ工学株式会社

Z軸ラックピニオンステージ

電子・電気機器業界用 エネルギー業界用 航空・宇宙業界用

110人以上が見ています

返信のとても早い企業

100.0% 返答率

0.6時間 返答時間

■概要 ・Z軸ラックピニオンステージは、ステージ面を垂直に保持し、Z軸方向に移動調整が可能なZ軸ステージです。 ・移動用ツマミを回すと、20mm/回転で素早く...

価格 (税抜)

17,000 円

X軸自動ステージ 【ステッピングモータ・ロングストローク】-ツクモ工学株式会社

ツクモ工学株式会社

X軸自動ステージ 【ステッピングモータ・ロングストローク】

電子・電気機器業界用 エネルギー業界用 航空・宇宙業界用

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100.0% 返答率

0.6時間 返答時間

■概要 ・X軸自動ステージは、リニアブッシュとモータ駆動を組み合わせたシンプルな構造のステージです。 ・センサー配置は前後調整することが出来るため、移...


θ－2θ自動回転【ステッピングモータ・2ステージ型】-ツクモ工学株式会社

ツクモ工学株式会社

θ－2θ自動回転【ステッピングモータ・2ステージ型】

電子・電気機器業界用 エネルギー業界用 航空・宇宙業界用

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100.0% 返答率

0.6時間 返答時間

■概要 ・θ－2θ自動回転ステージは、2つの回転ステージを独立して制御できる自動ステージです。 ・中心側θ2に試料台、外側θ1にアーム及び光学系を設置利用する...


見積もりの使い方

位置決めステージの価格・相場

平均価格

114,247 円

最低価格

11,000 円

最高価格

401,660 円

最近見た製品

位置決めステージの関連キーワード

回転ステージ 自動ステージ ピエゾステージ 手動ステージ 精密ステージ 傾斜ステージ 2軸ステージ 1軸ステージ XYZステージ リニアステージ 顕微鏡ステージ ヘキサポッド
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