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【2021年版】XYステージ メーカー15社一覧

XYステージのメーカー15社を一覧でご紹介します。まずは使用用途や原理についてご説明します。


目次


XYステージとは

XYステージとは、左右方向の移動を行うX軸と縦方向の移動を行うY軸の2つの軸を持った位置決めステージのことです。これを使用することにより、位置決めがしやすくなるという利点があります。装置構成としては、それぞれの軸方向に動くステージを重ねる形で構成されることが一般的です。
ステージのガイド方式や送りの機構の違いなどで、精度や特長が異なるため、用途に合わせた選定が必要となります。

XYステージの使用用途

主な使用用途は、位置決めが必要となる作業を伴う、半導体装置の製造や顕微鏡での観察などです。ガイド方式や送り機構の違いによって、低精度なものから高精度なものまで様々な位置決め精度のステージが存在し、特長も異なるため、使用用途によって適切な精度と特徴を持ったステージを選択する必要があります。

XYステージの原理

XYステージは、ステージの「ガイド機構」と「送り機構」によって構成されます。それぞれの機構の方式により特徴が異なるため、代表的なものを説明します。

〇ガイド機構

  • アリ溝方式
    オスとメスの台形溝を摺動させてガイドする方式の機構で、摩擦係数が高いため、精度の高い位置決めには不向きですが、コストが抑えられるため、簡単な位置決めを行う用途においては最適です。
  • クロスローラー方式
    ローラーとV溝のレールによる線接触で移動する方式の機構で、高い剛性が得られます。また、低摩擦で微小な送りが可能なため、正確な位置決めにも適しています。
  • ボール方式
    円弧に沿った加工を施したR溝とボールの接触による移動方式の機構で、R溝とボールとの接触がよく、あらゆる方向の荷重に対し、安定した負荷能力があります。
    移動精度もクロスローラー方式と大きな差はなく、正確な位置決めにも適しています。


〇送り機構

  • ラック&ピニオン
    「ラックギア」と呼ばれる歯を切ったレールと、「ピニオン」と呼ばれる歯車を組み合わせた送り機構です。素早くステージを送ることができるのが特長ですが、高精度な位置決めには不向きです。
  • 送りねじ
    おねじとめねじの関係を利用した、ねじ方式の送り機構です。ねじのピッチの分解能でステージを送ることができるので、細かな送りが可能ですが、送りの速度は遅く、長いストロークでの位置決めには不向きです。
  • マイクロメータ
    送りねじよりも細かな精度での送りが可能な機構です。内部の構造としては送りねじとほとんど同じですが、目盛りもついているため、正確な移動量を把握することができます。こちらも送りの速度は遅いため、長いストロークでの位置決めには不向きです。

上記のようなガイド機構と送り機構の選択肢から、用途に合わせた組み合わせを選択し、XYステージを構成します。
また、XYステージの操作は手動での位置決めに限らず、各軸の駆動をモーターで行い、自動で位置決め可能なXYステージとして使用することもあります。この場合、位置決めの精度は送り機構の種類と駆動用モーターの分解能によって決まるため、モーターの仕様選定も重要になります。
一般的には、精密な位置決めが必要となる場合には、サーボモーターもしくはステッピングモーターを使用することが多いです。

参考文献
https://jp.misumi-ec.com/maker/misumi/mech/product/xy/faq/faq01.html
https://www.shodensha-inc.co.jp/solution/what-is-xy-stage/

Metoree カタログ
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XYステージのメーカー情報

XYステージのメーカーランキング

社員数の規模

  1. 1 住友重機械工業株式会社
  2. 2 THK株式会社
  3. 3 株式会社平出精密

設立年の新しい会社

  1. 1 スリーアールソリューション株式会社
  2. 2 フォトニックインストゥルメンツ株式会社
  3. 3 コムス株式会社

歴史のある会社

  1. 1 住友重機械工業株式会社
  2. 2 ワイヤード株式会社
  3. 3 神津精機株式会社

XYステージのメーカー15社一覧


XYステージのカタログ一覧(1件)

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