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露光装置
メーカー39社・33製品【2024年】

露光装置についての概要、用途、原理などをご説明します。また、露光装置のメーカー39社一覧や企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。露光装置関連企業の2024年11月注目ランキングは1位:株式会社フィジックステクノロジー、2位:ウシオ電機株式会社、3位:藤井光学株式会社となっています。

露光装置とは？
露光装置のメーカー39社
露光装置33製品

露光装置の関連キーワード

FPD露光装置半導体露光装置半導体製造装置

監修者: 田中千浩

東北大学大学院理学研究科化学専攻(理学修士)ディスプレイエンジニアとして、セイコーエプソン(株), ソニー(株), (株)ジャパンディスプレイなどに従事。https://researchmap.jp/tanakachihirohttps:/

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露光装置とは

露光装置は、半導体や液晶ディスプレイなどの製造現場で使用される、光を照射することによって、回路や画素などのパターンを基板に描写するための装置です。

非常に強い光を使用する上、ステージなどで精密な制御が必要になるため、大型で価格も億単位の製品が多くなります。露光工程は、半導体や液晶ディスプレイ製造の中でも、設計データ (CADデータ) のパターンを決定する工程となるため、非常に重要な装置になります。各社によって様々な露光の方法が開発され、装置に採用されています。

露光装置の使用用途

TFT基板側の製造フローの概要

図1. TFT液晶ディスプレイのTFT基板側の製造フローの概要

露光装置は、半導体の製造現場や液晶ディスプレイをはじめとするフラットパネルディスプレイ (FPD) の製造現場で主に使用されます。

半導体製造工程の場合、シリコンウェーハを基板とし、酸化膜などを形成したのち、フォトレジスト (感光材) を塗布し、塗布面に対して露光装置から出射した強い紫外光をフォトマスクを介して照射することで、不要な部分をエッチングなどで取り除けるようにします。露光装置を用いたこのような方法は、フォトリソグラフィと呼ばれます。

液晶ディスプレイ製造工程の場合、一般的にはガラス基板を用い、金属などの薄膜の成膜、フォトリソグラフィ、およびエッチングを数サイクル繰り返します。

一方の基板には画素電極やスイッチング素子(TFT素子など)を、他方の基板には光の3原色(赤・緑・青)を配したカラーフィルタを形成することができます。両基板を貼り合わせ、間に液晶材料を配置することで、液晶ディスプレイ用のパネルが完成します。

露光装置の選定の際には、非常に高価であるため、露光で使用する光の種類や精度、ステージの精密さなどを装置メーカーと十分協議したうえで購入する必要があります。

露光装置の原理

露光装置の測定原理を説明します。露光措置は、光源、偏向レンズ、フォトマスク、集光レンズ、ステージ、シリコンウェーハなどの搬送用のロボットなどで構成されています。

レンズやフォトマスクなどは非常に高精度に設計されており、ステージも高精度に動作します。動作時は、ステージに露光対象が精密に固定されます。動作時は、1回の露光ごとにステージが動くことによって、露光対象全体にわたって多数のパターンが露光対象に描写されます。

光源から発せられた波長の短い強い光が、偏向レンズによって向きが整えられ、回路パターンを構成するための原型であるフォトマスクに照射されます。そのフォトマスクを通過した光は、集光レンズによって集光され、非常に小さい回路パターンを露光対象に対して描写します。

露光対象全体にわたって露光が終了すれば、ロボットなどによって輸送されます。製品によっては、露光対象が液体に浸透しており、より高精度に露光できるように工夫されている製品もあります。

露光装置のその他情報

1. 露光装置のシェア

半導体用の露光装置の製造ベンダは、2018年で欧州 (84%) 、日本 (14%) となっており、欧州、日本のメーカーでほぼ寡占されています。また、液晶ディスプレイ用のFPD (フラットパネルディスプレイ) 露光装置については、日本のメーカー2社にほぼ寡占されています。

半導体露光装置は史上最も精密な機械といわれており、最新の半導体はチップ上の配線の幅 (プロセスルール) を3～5nmにするほどの微細化が進んでいます。

FPD露光装置については、線幅は最新のもので数μm以下になっており、こちらは年々薄型・大型化が進み、より美しく高精細な映像が実現できるよう装置の高精度化・大型化が進んでいます。

2. EUV露光装置について

半導体露光装置の中でも、EUV (英: Extreme Ultraviolet) 露光装置とは、極端紫外線と呼ばれる非常に短い波長の光を用いた装置です。

従来用いられていたArFエキシマレーザ光を用いた半導体露光装置では加工が難しいより微細な寸法の加工が可能となります。半導体の微細化は、ムーアの法則(半導体集積回路は３年で４倍の高集積化，高機能化が実現される)に従い微細化されてきています。

これまでにもステッパーと呼ばれる縮小投影露光技術や露光波長の短波長化や液浸露光技術の開発により、解像度を飛躍的に向上させてきています。微細化はウェーハに焼き付けることのできる最小加工寸法が小さくなることであり、その最小加工寸法Rは以下のレイリーの式で表されます。　

R＝k・λ/NA　※kは比例定数，λは露光波長，N.A.は露光光学系の開口数

これまでも様々な技術開発により、kを小さくしたりλを小さくしたりNAを大きくすることで、微細化を実現してきています。EUV露光装置は、露光波長の短波長化によりこれまでの限界を突破できる技術とされ、近年量産化がされています。

3. FPD露光装置について

FPD (フラットパネルディスプレイ) は、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ、有機ELディスプレイなどで、スマートフォン・タブレット型端末や、家庭用の薄型テレビなど、家や街中のあらゆる場面で目にすることができます。

FPD露光装置はフラットパネルディスプレイを製造するために使用される装置で、原理的には半導体の製造装置と同じで、フォトマスクに光を照射しレンズを通してガラスプレートに回路パターンを露光しアレイを作りこみます。

また、ディスプレイの画像や映像を生み出すカラーフィルタを作り、アレイと組み合わせてディスプレイを完成させます。カラーフィルタとは画像や映像の色を表現させるためのフィルタで、顔料をベースとしたカラーレジストをガラス上に塗布して、露光や現像を行います。

参考文献
https://www.nikon.co.jp/technology/product/semiconductor/index.htm
https://www.ushio.co.jp/jp/technology/glossary/glossary_ra/exposure_equipment.html
https://www.screen.co.jp/spe/technical/guide/exposure
https://news.mynavi.jp/article/20190116-757041/
https://www.jstage.jst.go.jp/article/jspf/79/3/79_3_221/_pdf
https://www.seaj.or.jp/semi/about_fpd.html

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露光装置メーカー 39社

*一部商社などの取扱い企業なども含みます。

デスクトップ型マスクレス露光装置注目製品
株式会社フィジックステクノロジー

・DMDを活用したマスクレス露光装置で時間と費用を節約
・デスクトップ型なので小スペースで設置可能
・最小描画分解能1.5μmで描画範囲に応じて対物レンズを容易に交換可能
・サンプルサイズ最大5‘’角ウエハーまで対応し様々なサブストレートにも対応
・デザインをサンプル面に照明することで直観的な位置決めが可能

- - 株式会社フィジックステクノロジー
    マスクレス露光装置
  - 会社サイト創業: 2005年資本金: 15,000,000円会社詳細
  - 住所: 千葉県市川市南八幡4-2-5　いちかわ情報プラザ
- マスクレスデスクトップ型
  
  当社は、精密ステージをはじめ、計測機器、医療機器検査装置、加工装置など海外メーカーから業界最先端の精密機器を取り揃えております。
- - 藤井光学株式会社メーカー
    露光装置
  - 会社サイト創業: 1966年会社詳細
  - 住所: 東京都豊島区南長崎5-9-11
- - 株式会社日立ハイテクサイエンスメーカー
    大型ガラス基板露光装置 LE4000A
  - 会社サイト創業: 2000年従業員数: 671人資本金: 100,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都港区虎ノ門一丁目17番1号虎ノ門ヒルズビジネスタワー
- - 株式会社三光精衡所メーカー
    液晶装置用露光装置
  - 会社サイト創業: 1951年従業員数: 25人会社詳細
  - 住所: 茨城県つくばみらい市戸崎1087
- - 株式会社ニコンメーカー
    半導体露光装置
  - 会社サイト上場(東証プライム) 創業: 1917年従業員数: 4,174人会社詳細
  - 住所: 東京都港区港南2-15-3品川インターシティC棟
- - 株式会社べアックメーカー
    露光装置
  - 会社サイト創業: 1984年従業員数: 30人会社詳細
  - 住所: 長野県諏訪郡富士見町落合南原山9984-1097
- - ユニオン光学株式会社メーカー
    EMA-400 卓上型　マスクアライナ
  - 会社サイト創業: 2010年従業員数: 13人資本金: 20,500,000円会社詳細
  - 住所: 東京都板橋区新河岸2-22-4
- - ウシオ電機株式会社メーカー
    露光装置一覧
  - 会社サイト上場(東証プライム) 創業: 1964年従業員数: 1,697人会社詳細
  - 住所: 東京都千代田区丸の内1-6-5
- - 美濃商事株式会社メーカー商社・代理店
    製版露光機ファインボックス
  - 会社サイト創業: 1949年従業員数: 70人会社詳細
  - 住所: 京都府中京区西洞院通二条上ル薬師町648番地
- - 株式会社アドテックエンジニアリングメーカー商社・代理店
    露光装置一覧
  - 会社サイト創業: 1983年従業員数: 296人資本金: 1,661,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都千代田区丸の内1-6-5　丸の内北口ビルディング2階
- - 京セラ株式会社メーカー商社・代理店
    露光装置一覧
  - 会社サイト上場(東証プライム) 創業: 1959年従業員数: 83,001人会社詳細
  - 住所: 京都府京都市伏見区竹田鳥羽殿町6
- - 株式会社昭和サイエンス
    マスクアライナ一覧
  - 会社サイト創業: 1974年従業員数: 40人会社詳細
  - 住所: 東京都品川区東大井5丁目12番10号
- - 株式会社大日本科研
    露光装置一覧
  - 会社サイト創業: 1967年従業員数: 148人資本金: 50,000,000円会社詳細
  - 住所: 京都府向日市寺戸町久々相1番地
- - 株式会社協同インターナショナル
    微細加工装置（加工機）一覧
  - 会社サイト創業: 1970年従業員数: 80人会社詳細
  - 住所: 神奈川県川崎市宮前区宮崎2-10-9 オーミヤ宮崎台ビル
- - 株式会社ワイケイシー
    露光装置
  - 会社サイト創業: 2001年従業員数: 11人資本金: 10,000,000円会社詳細
  - 住所: 長野県諏訪市豊田2587番地2
- - 株式会社ユメックス
    ダイレクト露光装置
  - 会社サイト創業: 1992年会社詳細
  - 住所: 兵庫県姫路市夢前町糸田400
- - 株式会社ミノグループ
    露光一覧
  - 会社サイト創業: 1946年資本金: 99,900,000円会社詳細
  - 住所: 岐阜県郡上市美並町上田8-2
- - 株式会社プロテックエンジニアリング
    圧着式フレネル露光機
  - 会社サイト創業: 2017年資本金: 9,900,000円会社詳細
  - 住所: 神奈川県横浜市緑区長津田町3180-3
- - 株式会社フォアサイト
    2連露光機
  - 会社サイト創業: 2001年従業員数: 4人資本金: 45,600,000円会社詳細
  - 住所: 東京都文京区大塚3-5-2 佑和ビル4F
- - 株式会社ピーエムティー
    マスクレス露光装置
  - 会社サイト創業: 1991年従業員数: 140人資本金: 50,000,000円会社詳細
  - 住所: 福岡県糟屋郡須恵町大字佐谷1705番地の1
- - 株式会社ナノシステムソリューションズ
    マスクレス露光装置 PALET
  - 会社サイト創業: 2004年資本金: 90,000,000円会社詳細
  - 住所: 沖縄県うるま市勝連南風原5192-8
- - 株式会社サーマプレシジョン
    露光装置
  - 会社サイト創業: 1976年従業員数: 43人資本金: 100,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都江東区冬木16-1
- - 株式会社SCREENファインテックソリューションズ
    手動式露光装置
  - 会社サイト創業: 2014年資本金: 100,000,000円会社詳細
  - 住所: 京都府京都市上京区堀川通寺之内上る四丁目天神北町1番地の1
- - 株式会社SCREEN PEソリューションズ
    露光装置
  - 会社サイト創業: 2016年資本金: 100,000,000円会社詳細
  - 住所: 京都府京都市上京区堀川通寺之内上る四丁目天神北町1番地の1
- - 明和ゴム工業株式会社
    露光機
  - 会社サイト創業: 1946年従業員数: 300人会社詳細
  - 住所: 東京都大田区下丸子2-27-20
- - 山下電装株式会社
    紫外線露光装置
  - 会社サイト創業: 1974年従業員数: 16人資本金: 10,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都八王子市北野台5-25-10
- - 壺坂電機株式会社
    UVL-2
  - 会社サイト創業: 1971年従業員数: 30人会社詳細
  - 住所: 東京都八王子市石川町1683-1
- - リソテックジャパン株式会社
    ナノインプリント一覧
  - 会社サイト創業: 1993年従業員数: 20人資本金: 40,000,000円会社詳細
  - 住所: 埼玉県川口市並木2-6-6
- - マイクロファスナー株式会社
    プリント基板露光装置
  - 会社サイト創業: 2003年会社詳細
  - 住所: 東京都目黒区中目黒4-5-26
- - ネオアーク株式会社
    マスクレス露光装置 PALET
  - 会社サイト創業: 1976年従業員数: 50人会社詳細
  - 住所: 大阪府大阪市中央区久太郎町2-3-8ハイム船場201
- - オオクマ電子株式会社
    微細レーザー露光・加工装置
  - 会社サイト創業: 1973年従業員数: 15人資本金: 50,000,000円会社詳細
  - 住所: 熊本県熊本市東区長嶺西1-8-104
- - ウシオライティング株式会社
    光学装置一覧
  - 会社サイト創業: 1963年従業員数: 406人会社詳細
  - 住所: 東京都中央区八丁堀2-9-1
- - インスペック株式会社
    露光装置
  - 会社サイト上場(東証スタンダード) 創業: 1984年従業員数: 79人資本金: 1,140,959,000円会社詳細
  - 住所: 秋田県仙北市角館町雲然荒屋敷79-1
- - KnK株式会社
    露光装置
  - 会社サイト従業員数: 12人会社詳細
  - 住所: 千葉県千葉市中央区栄町42-11日本企業会館
- - ズース・マイクロテック株式会社
    プロジェクションスキャナ一覧
  - 会社サイト創業: 1988年会社詳細
  - 本社: ドイツ
- - 株式会社菱光社商社・代理店
    露光装置一覧
  - 会社サイト創業: 1947年従業員数: 103人会社詳細
  - 住所: 東京都江東区豊洲5-4-9KR豊洲ビル1F
- - 株式会社清和光学製作所商社・代理店
    露光装置 Exposure System一覧
  - 会社サイト創業: 1964年従業員数: 111人資本金: 99,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都中野区弥生町4丁目12番17号
- - 住友商事マシネックス株式会社商社・代理店
    自動露光装置
  - 会社サイト創業: 1962年従業員数: 465人資本金: 5,300,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都千代田区一ツ橋1-2-2 住友商事竹橋ビル 10・11Ｆ
- - ワイヤード株式会社商社・代理店
    干渉系露光装置
  - 会社サイト創業: 1999年資本金: 10,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都狛江市岩戸北4-20-5

露光装置 2024年11月のメーカーランキング

*一部商社などの取扱い企業なども含みます

2024年11月の注目ランキングベスト10

注目ランキング導出方法

順位	会社名	クリックシェア
1	株式会社フィジックステクノロジー	11.4%
2	ウシオ電機株式会社	5.3%
3	藤井光学株式会社	4.4%
4	株式会社アドテックエンジニアリング	3.9%
5	ユニオン光学株式会社	3.5%
6	株式会社日立ハイテクサイエンス	3.5%
7	株式会社三光精衡所	3.5%
8	株式会社ワイケイシー	3.5%
9	京セラ株式会社	3.5%
10	株式会社昭和サイエンス	3.5%