露光装置メーカー36社

露光装置のメーカー36社一覧や企業ランキングを掲載中！露光装置関連企業の2025年8月注目ランキングは1位:株式会社フィジックステクノロジー、2位:株式会社大日本科研、3位:ウシオ電機株式会社となっています。露光装置の概要、用途、原理もチェック！

露光装置とは

露光装置は、半導体や液晶ディスプレイなどの製造現場で使用される、光を照射することによって、回路や画素などのパターンを基板に描写するための装置です。

非常に強い光を使用する上、ステージなどで精密な制御が必要になるため、大型で価格も億単位の製品が多くなります。露光工程は、半導体や液晶ディスプレイ製造の中でも、設計データ (CADデータ) のパターンを決定する工程となるため、非常に重要な装置になります。各社によって様々な露光の方法が開発され、装置に採用されています。

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36社露光装置メーカー

露光装置 2025年8月のメーカーランキング

2025年8月の注目ランキングベスト10

順位	会社名	クリックシェア
1	株式会社フィジックステクノロジー	12.6%
2	株式会社大日本科研	8.1%
3	ウシオ電機株式会社	8.1%
4	オオクマ電子株式会社	4.4%
5	株式会社ニコン	4.4%
6	株式会社SCREEN PEソリューションズ	4.4%
7	ユニオン光学株式会社	3.7%
8	株式会社べアック	3.7%
9	株式会社ユメックス	3.7%
10	明和ゴム工業株式会社	3.0%

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📔 露光装置の基礎知識

露光装置とは

露光装置の使用用途

TFT基板側の製造フローの概要

図1. TFT液晶ディスプレイのTFT基板側の製造フローの概要

露光装置は、半導体の製造現場や液晶ディスプレイをはじめとするフラットパネルディスプレイ (FPD) の製造現場で主に使用されます。

半導体製造工程の場合、シリコンウェーハを基板とし、酸化膜などを形成したのち、フォトレジスト (感光材) を塗布し、塗布面に対して露光装置から出射した強い紫外光をフォトマスクを介して照射することで、不要な部分をエッチングなどで取り除けるようにします。露光装置を用いたこのような方法は、フォトリソグラフィと呼ばれます。

液晶ディスプレイ製造工程の場合、一般的にはガラス基板を用い、金属などの薄膜の成膜、フォトリソグラフィ、およびエッチングを数サイクル繰り返します。

一方の基板には画素電極やスイッチング素子(TFT素子など)を、他方の基板には光の3原色(赤・緑・青)を配したカラーフィルタを形成することができます。両基板を貼り合わせ、間に液晶材料を配置することで、液晶ディスプレイ用のパネルが完成します。

露光装置の選定の際には、非常に高価であるため、露光で使用する光の種類や精度、ステージの精密さなどを装置メーカーと十分協議したうえで購入する必要があります。

露光装置の原理

露光装置の測定原理を説明します。露光措置は、光源、偏向レンズ、フォトマスク、集光レンズ、ステージ、シリコンウェーハなどの搬送用のロボットなどで構成されています。

レンズやフォトマスクなどは非常に高精度に設計されており、ステージも高精度に動作します。動作時は、ステージに露光対象が精密に固定されます。動作時は、1回の露光ごとにステージが動くことによって、露光対象全体にわたって多数のパターンが露光対象に描写されます。

光源から発せられた波長の短い強い光が、偏向レンズによって向きが整えられ、回路パターンを構成するための原型であるフォトマスクに照射されます。そのフォトマスクを通過した光は、集光レンズによって集光され、非常に小さい回路パターンを露光対象に対して描写します。

露光対象全体にわたって露光が終了すれば、ロボットなどによって輸送されます。製品によっては、露光対象が液体に浸透しており、より高精度に露光できるように工夫されている製品もあります。

露光装置のその他情報

1. 露光装置のシェア

半導体用の露光装置の製造ベンダは、2018年で欧州 (84%) 、日本 (14%) となっており、欧州、日本のメーカーでほぼ寡占されています。また、液晶ディスプレイ用のFPD (フラットパネルディスプレイ) 露光装置については、日本のメーカー2社にほぼ寡占されています。

半導体露光装置は史上最も精密な機械といわれており、最新の半導体はチップ上の配線の幅 (プロセスルール) を3～5nmにするほどの微細化が進んでいます。

FPD露光装置については、線幅は最新のもので数μm以下になっており、こちらは年々薄型・大型化が進み、より美しく高精細な映像が実現できるよう装置の高精度化・大型化が進んでいます。

2. EUV露光装置について

半導体露光装置の中でも、EUV (英: Extreme Ultraviolet) 露光装置とは、極端紫外線と呼ばれる非常に短い波長の光を用いた装置です。

従来用いられていたArFエキシマレーザ光を用いた半導体露光装置では加工が難しいより微細な寸法の加工が可能となります。半導体の微細化は、ムーアの法則(半導体集積回路は３年で４倍の高集積化，高機能化が実現される)に従い微細化されてきています。

これまでにもステッパーと呼ばれる縮小投影露光技術や露光波長の短波長化や液浸露光技術の開発により、解像度を飛躍的に向上させてきています。微細化はウェーハに焼き付けることのできる最小加工寸法が小さくなることであり、その最小加工寸法Rは以下のレイリーの式で表されます。　

R＝k・λ/NA　※kは比例定数，λは露光波長，N.A.は露光光学系の開口数

これまでも様々な技術開発により、kを小さくしたりλを小さくしたりNAを大きくすることで、微細化を実現してきています。EUV露光装置は、露光波長の短波長化によりこれまでの限界を突破できる技術とされ、近年量産化がされています。

3. FPD露光装置について

FPD (フラットパネルディスプレイ) は、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ、有機ELディスプレイなどで、スマートフォン・タブレット型端末や、家庭用の薄型テレビなど、家や街中のあらゆる場面で目にすることができます。

FPD露光装置はフラットパネルディスプレイを製造するために使用される装置で、原理的には半導体の製造装置と同じで、フォトマスクに光を照射しレンズを通してガラスプレートに回路パターンを露光しアレイを作りこみます。

また、ディスプレイの画像や映像を生み出すカラーフィルタを作り、アレイと組み合わせてディスプレイを完成させます。カラーフィルタとは画像や映像の色を表現させるためのフィルタで、顔料をベースとしたカラーレジストをガラス上に塗布して、露光や現像を行います。

参考文献
https://www.nikon.co.jp/technology/product/semiconductor/index.htm
https://www.ushio.co.jp/jp/technology/glossary/glossary_ra/exposure_equipment.html
https://www.screen.co.jp/spe/technical/guide/exposure
https://news.mynavi.jp/article/20190116-757041/
https://www.jstage.jst.go.jp/article/jspf/79/3/79_3_221/_pdf
https://www.seaj.or.jp/semi/about_fpd.html

メーカーから探す 36

製品から探す 45

露光装置 メーカー36社

露光装置とは

36社露光装置メーカー

株式会社フィジックステクノロジー メーカー マスクレス露光装置

株式会社ニコン メーカー 半導体露光装置

オオクマ電子株式会社 メーカー 微細レーザー露光・加工装置

壺坂電機株式会社 メーカー UVL-2

株式会社ミノグループ メーカー 露光一覧

ユニオン光学株式会社 メーカー EMA-400 卓上型 マスクアライナ

ネオアーク株式会社 メーカー マスクレス露光装置 PALET

株式会社協同インターナショナル メーカー 微細加工装置（加工機）一覧

株式会社ピーエムティー メーカー マスクレス露光装置

株式会社サーマプレシジョン メーカー 露光装置

明和ゴム工業株式会社 メーカー 露光機

マイクロファスナー株式会社 メーカー プリント基板露光装置

KnK株式会社 メーカー 露光装置

ウシオ電機株式会社 メーカー 露光装置一覧

株式会社ワイケイシー メーカー 露光装置

株式会社日立ハイテクサイエンス メーカー 大型ガラス基板露光装置 LE4000A

株式会社三光精衡所 メーカー 液晶装置用露光装置

山下電装株式会社 メーカー 紫外線露光装置

藤井光学株式会社 メーカー 露光装置

株式会社昭和サイエンス メーカー マスクアライナ一覧

株式会社べアック メーカー 露光装置

株式会社SCREEN PEソリューションズ メーカー 露光装置

株式会社アドテックエンジニアリング メーカー 商社・代理店 露光装置一覧

京セラ株式会社 メーカー 商社・代理店 露光装置一覧

美濃商事株式会社 メーカー 商社・代理店 製版露光機 ファインボックス

株式会社大日本科研 露光装置一覧

株式会社ユメックス ダイレクト露光装置

株式会社フォアサイト 2連露光機

株式会社ナノシステムソリューションズ マスクレス露光装置 PALET

株式会社SCREENファインテックソリューションズ 手動式露光装置

露光装置 2025年8月のメーカーランキング

卓上型 マスクアライナ EMA-400

マスクレス露光装置 PALET 手動ステージモデル DDB-701-MS

マスクレス露光装置 PALET 電動ステージモデル DDB-701-DL

マスクレス露光装置 PALET 大型ステージモデル DDB-701-DL4

テーブルトップ紫外線照射装置

光学素子設計/加工装置 マスクレス露光装置 SMART PRINT UV スタンダード

両面露光機 YCP-4050

UV露光装置 LUV-1000

UV露光装置 UVL-3

マスクレス露光装置 DMDによる直接描画で半導体デバイス試作のサイクルタイムを削減 マスクレス露光装置 ME-120F

マスクレス露光装置 DMDの高速時間変調で256階調のグレースケール露光が可能 マスクレス露光装置 D-light DL-1000

マスクレス露光装置 ミニマル マスクレス露光装置

露光装置 セミオートアライナー MA-1200A

露光装置 セミオートアライナー MA-4000

露光 LDI-CTS200

露光 UVボックス UV-BOX1200

製版資材 プリンター小

量産投影露光装置 CMS (Cerma Micro Stepper)

フォトマスク描画装置 マスク描画装置 StarkR6

フォトマスク描画装置 マスク描画装置 StarkSHR

フォトマスク描画装置 フォトマスク描画装置 LW405D

📔 露光装置の基礎知識

露光装置とは

露光装置の使用用途

露光装置の原理

露光装置のその他情報

1. 露光装置のシェア

2. EUV露光装置について

3. FPD露光装置について

露光装置の関連キーワード

露光装置メーカー36社

株式会社フィジックステクノロジーメーカー
マスクレス露光装置

株式会社ニコンメーカー
半導体露光装置

オオクマ電子株式会社メーカー
微細レーザー露光・加工装置

壺坂電機株式会社メーカー
UVL-2

株式会社ミノグループメーカー
露光一覧

ユニオン光学株式会社メーカー
EMA-400 卓上型　マスクアライナ

ネオアーク株式会社メーカー
マスクレス露光装置 PALET

株式会社協同インターナショナルメーカー
微細加工装置（加工機）一覧

株式会社ピーエムティーメーカー
マスクレス露光装置

株式会社サーマプレシジョンメーカー
露光装置

明和ゴム工業株式会社メーカー
露光機

マイクロファスナー株式会社メーカー
プリント基板露光装置

KnK株式会社メーカー
露光装置

ウシオ電機株式会社メーカー
露光装置一覧

株式会社ワイケイシーメーカー
露光装置

株式会社日立ハイテクサイエンスメーカー
大型ガラス基板露光装置 LE4000A

株式会社三光精衡所メーカー
液晶装置用露光装置

山下電装株式会社メーカー
紫外線露光装置

藤井光学株式会社メーカー
露光装置

株式会社昭和サイエンスメーカー
マスクアライナ一覧

株式会社べアックメーカー
露光装置

株式会社SCREEN PEソリューションズメーカー
露光装置

株式会社アドテックエンジニアリングメーカー商社・代理店
露光装置一覧

京セラ株式会社メーカー商社・代理店
露光装置一覧

美濃商事株式会社メーカー商社・代理店
製版露光機ファインボックス

株式会社大日本科研
露光装置一覧

株式会社ユメックス
ダイレクト露光装置

株式会社フォアサイト
2連露光機

株式会社ナノシステムソリューションズ
マスクレス露光装置 PALET

株式会社SCREENファインテックソリューションズ
手動式露光装置

卓上型マスクアライナ EMA-400

光学素子設計/加工装置マスクレス露光装置 SMART PRINT UV スタンダード

マスクレス露光装置 DMDによる直接描画で半導体デバイス試作のサイクルタイムを削減マスクレス露光装置 ME-120F

マスクレス露光装置 DMDの高速時間変調で256階調のグレースケール露光が可能マスクレス露光装置 D-light DL-1000

マスクレス露光装置ミニマルマスクレス露光装置

露光装置セミオートアライナー MA-1200A

露光装置セミオートアライナー MA-4000

製版資材プリンター小

フォトマスク描画装置マスク描画装置 StarkR6

フォトマスク描画装置マスク描画装置 StarkSHR

フォトマスク描画装置フォトマスク描画装置 LW405D