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ロールtoロールウエットプロセス装置取扱企業
進和工業株式会社カテゴリ
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半導体製造装置の製品120点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 製品 Roll 規格 | 製品 Roll 幅 | 製品重量 | 製品 Roll 製品固定方法 | 保護 Film Roll 規格 | 保護 Film Roll 幅 | 保護 Film Roll 重量 | 保護 Film Roll 製品固定方法 | 処理速度 | 処理面 | 搬送方式 | 巻出部 張力制御 | 巻出部 標準張力 | 巻出部 接続 Table | 巻出部 アキュムレータ | 巻出部 耳端制御 (EPC) | 巻出部 除電対策 | 巻取部 張力制御 | 標巻取部 標準張力 | 巻取部 接続 Table | 巻取部 アキュムレータ | 巻取部 耳端制御 (EPC) | 巻取部 除電対策 | 現像 | 現像条件 | 水洗 | 液切乾燥 | Metal & ITO 蝕刻 | 蝕刻条件 | Photoresist 剥離 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
ロールtoロールウエットプロセス装置 |
要見積もり |
軸芯 3" Max. 250M |
Max. 500 mm |
Max. 30 kg |
片持式 Air-Shaft |
軸芯 3" Max. 500M |
Max. 500 mm |
Max. 30 kg |
片持式 Air-Shaft |
Standard 2.0 m /min.Variable 0.5 ~ 3.5 m / min. |
上面 Patterning |
水平型 Roller 搬送式 |
ダンサーロール Weight 式 |
500 mm 幅 50~70N 50~70 N ( W = 500 mm) |
真空吸着式 又は CLAMP 式 |
無し |
無し |
除電 Bar 設置 (上下) |
ダンサーロール Weight 式 |
500 mm 幅 50 ~ 70N 50 ~ 70 N ( W = 500 mm) |
無し |
無し |
有 |
除電 Bar 設置 (上下) |
揺動式 Spray |
Alkaline Std. 30 ℃ |
循環 Spray 2段 + 純水洗 |
Air-Knife & Squeeze Roller Hot Air Circulation ~ 80℃ |
揺動式 Spray |
Acid Max. 45 ℃ Chemicals : FeCl3-HNO3 etc. |
Spray |