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膜厚計のメーカー52社一覧や企業ランキングを掲載中！膜厚計関連企業の2025年7月注目ランキングは1位:株式会社サンコウ電子研究所、2位:Micro-Epsilon Japan株式会社、3位:株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズとなっています。 膜厚計の概要、用途、原理もチェック！
膜厚計とは、物体の微小な厚みを測定する装置です。
例えば、塗装の皮膜や金属メッキの厚みなど、視覚的に計測の難しい薄膜を調べる際に使用されています。膜厚計には測定方式がいくつかあり、測定対象が光を透過するかどうか、接触若しくは非接触のどちらで測定するかなどに応じて測定方式を選択します。
2025年7月の注目ランキングベスト10
| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | 株式会社サンコウ電子研究所 |
10.9%
|
| 2 | Micro-Epsilon Japan株式会社 |
9.1%
|
| 3 | 株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ |
6.8%
|
| 4 | 株式会社フィッシャー・インストルメンツ |
6.8%
|
| 5 | 株式会社ケツト科学研究所 |
6.8%
|
| 6 | 倉敷紡績株式会社 |
6.4%
|
| 7 | 株式会社カスタム |
4.5%
|
| 8 | 大塚電子株式会社 |
4.1%
|
| 9 | 株式会社タクマ精工 |
4.1%
|
| 10 | 朝日分光株式会社 |
3.6%
|
項目別
使用用途
#塗装検査
#めっき管理
#コーティング管理
#フィルム評価
#自動車部品検査
#建材検査
#表面処理管理
測定方式
接触型
非接触型
反射型
精度
高精度型
標準型
測定対象
金属膜測定型
非金属膜測定型
測定範囲 μm
0 - 10
10 - 100
100 - 500
500 - 1,000
1,000 - 2,000
2,000 - 5,000
5,000 - 10,000
10,000 - 10,000,000
測定方式
電磁誘導式/渦電流式
電磁式
渦電流式
光熱放射法
超音波式
測定精度 μm
0 - 5
5 - 10
10 - 20
20 - 60
60 - 100
100 - 250
分解能 μm
0 - 1
1 - 100
データメモリ数 点
1,000 - 10,000
10,000 - 40,000
40,000 - 260,000
質量 g
0 - 500
500 - 1,000
1,000 - 2,000
72 点の製品がみつかりました
72 点の製品
株式会社ケツト科学研究所
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プリンタ内蔵型の膜厚計です。測定したデータはその場で印字できますので、測定物や測定箇所に結果を貼付するなど、現場での膜厚管理を...
株式会社ケツト科学研究所
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LE-373は磁性金属上のメッキ (電解ニッケルメッキは除く) や塗装などの非磁性被膜厚を測定する膜厚計です。LH-373は非磁性金属上の絶...
株式会社ケツト科学研究所
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膜厚計373シリーズは多様な素材、多様な被膜を扱う現場用として最適です。どのモデルもコンピュータにデータを転送することができ、アプ...
株式会社ケツト科学研究所
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膜厚計373シリーズは多様な素材、多様な被膜を扱う現場用として最適です。どのモデルもコンピュータにデータを転送することができ、アプ...
株式会社ケツト科学研究所
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デュアルタイプ膜厚計LZ-990「エスカル」は、膜厚管理に必要十分な機能を備えながら、必要最小限の操作キーだけを備えたシンプルな膜厚...
株式会社ケツト科学研究所
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本器は非接触で対象物の塗膜厚を測定する器械です。 非接触である特長を活かし、硬化前の未乾燥塗膜厚測定や焼き付け前の粉体塗装膜厚...
株式会社ケツト科学研究所
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ウレタン防水層の性能を維持するために、工程内の膜厚管理が重要な役割を果たしています。面積あたりに必要な材料が十分であっても、塗...
株式会社カスタム
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4.0 会社レビュー
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15.1時間 返答時間
■鉄素地の測定が可能な膜厚計。携帯に便利なハンディサイズ。 ・上下反転表示機能を搭載。頭上の測定において容易に結果を確認できます...
株式会社カスタム
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15.1時間 返答時間
■鉄素地/非鉄金属素地の測定が可能な膜厚計。携帯に便利なハンディサイズ。 ・上下反転表示機能を搭載。頭上の測定において容易に結果を...
株式会社サンコウ電子研究所
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素地金属を自動で認識・測定できるデュアルタイプ膜厚計 SWT-NEO-FN (SWT-NEO+SFN-325) です。 ■特長 ・鉄/非鉄金属の測定素材を自動で...
株式会社サンコウ電子研究所
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プローブ互換、シンプルキーで簡単に測定できるデュアルタイプ膜厚計 SWT-N232Cです。 ■特長 ・測定用途に合わせ接続プローブの選択が...
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SWT-NEO-NはSWT-NEOにプローブSNFe-2.0を加えた渦電流式膜厚計です。 ■特長 ・測定範囲は0〜2.0mmのワイドレンジ ・ゼロ・標準調整です...
株式会社サンコウ電子研究所
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ウェット／乾燥状態のコーティング層を非接触で測定します。硬化処理前後の粉体塗装の測定も完璧にサポートします。 ■特長 ・湿潤／乾...
株式会社サンコウ電子研究所
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■特長 ・FRP系、エポキシ系、エポキシ＋パウダ混合系、ウレタン系の4chの回路方式。 ・コンクリート上、スレート板上、木材上の皮膜厚及...
株式会社サンコウ電子研究所
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■特徴 ・超音波パルス方式に基づいた高精度な膜厚計です。 ・プラスチック・金属・木材・ガラス・セラミック素地上の塗料・ラッカー・プ...
株式会社サンコウ電子研究所
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10.6時間 返答時間
■特長 ISO2808、ASTM D4138、DIN 50 986に準拠 ■用途 樹脂やコンクリート上の塗膜などの膜厚測定
3種類の品番
株式会社サンコウ電子研究所
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■特長 ・調整不要の簡単タイプ ・磁力を利用した現場向き、電源不要 ■用途 一般塗膜用 (鉄素地上の非磁性皮膜) ■備考 ニッケルメッキ...
Elcometer株式会社
3040人以上が見ています
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10.7時間 返答時間
■特徴 ・金属素地に塗布された塗膜の厚さを31mm (1,220mil)まで測定可能 ・明るさ自動調整機能付きの見やすい画面は、表示内容を設定可...
9種類の品番
Elcometer株式会社
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10.7時間 返答時間
■簡単操作：校正済みなので、すぐに使用可能 使いやすいメニュー、大きなボタン、自動回転式のLCDカラー画面を備えています。予め校正さ...
7種類の品番
Elcometer株式会社
230人以上が見ています
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10.7時間 返答時間
■簡単操作：校正済みなので、すぐに使用可能 使いやすいメニュー、大きなボタン、自動回転式のLCDカラー画面を備えています。予め校正さ...
Elcometer株式会社
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10.7時間 返答時間
■簡単操作：校正済みなので、すぐに使用可能 使いやすいメニュー、大きなボタン、自動回転式のLCDカラー画面を備えています。予め校正さ...
オガワ精機株式会社
340人以上が見ています
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4.5 会社レビュー
100.0% 返答率
12.7時間 返答時間
工業製品の表面の膜加工に際して迅速に測定でき、適正な厚さを維持できます。 ■特徴 ・3つの校正モードを搭載、正確に膜厚を測定 ・高...
オガワ精機株式会社
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最新の閲覧: 17時間前
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4.5 会社レビュー
100.0% 返答率
12.7時間 返答時間
■特徴 ・2つの校正モードを搭載、正確に膜厚を測定 ・高精度測定± (2% + 1μm) ・設定値を超えるとアラームでお知らせ ・最大値、最小値...
オガワ精機株式会社
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12.7時間 返答時間
自動車、工業製品の表面処理で、迅速に適正な厚さへと管理できる膜厚計です。 ■特徴 ・高分解能、広い測定範囲 (1,250μmまで) ・最大...
オガワ精機株式会社
230人以上が見ています
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4.5 会社レビュー
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12.7時間 返答時間
自動素地判別機能を搭載、電磁式と渦電流式兼用の膜厚計です。 ■特徴 ・鉄と非鉄の測定範囲は0〜1,350μm ・USB端子付属、専用ソフトウ...
オガワ精機株式会社
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自動素地判別機能を搭載、電磁式と渦電流式兼用の膜厚計です。 ■特徴 ・鉄素地の測定範囲は0〜5,000μm、非鉄素地の測定範囲は0〜3,000μ...
オガワ精機株式会社
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4.5 会社レビュー
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自動素地判別機能を搭載、電磁式と渦電流式兼用の膜厚計です。 ■特徴 ・測定範囲は0〜1,250 µm ・低価格ながら高精度で測定可能 (±2%ま...
オガワ精機株式会社
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センサー部がケーブルで本体から分かれているため複雑な形状の表面でも測定ができます。 ■特徴 ・2つの校正モードを搭載、正確に膜厚を...
オガワ精機株式会社
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返信の比較的早い企業
4.5 会社レビュー
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工業製品の表面の膜加工に際して迅速に測定でき、適正な厚さを維持できます。 ■特徴 ・高分解能、広い測定範囲 (1,500μmまで) で1秒間...
株式会社阪神交易
340人以上が見ています
最新の閲覧: 2時間前
返信の早い企業
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10.4時間 返答時間
■塗装チェックの「太鼓判」。膜厚計 コーティングテストマスター。磁性・非磁性金属上の塗膜をスピーディにスマート測定 ・鉄 (磁性金属...
中島工機株式会社
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49.4時間 返答時間
■特長 ・測定用途に合わせ接続プローブの選択が可能。 ・スリムなボディによる抜群のグリップ感。 ・LCD画面上に操作手順をガイド表示。...
TP技研株式会社
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33.7時間 返答時間
本器は塗り付けたウエット状の塗料層に垂直に当て、塗料の膜厚を測定する機器です。 ■目盛 25～25μm (25μm間隔) 、250～900μm (50μm間...
TP技研株式会社
180人以上が見ています
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規格に準じた破壊式 (カット方式) のドライ用膜厚計です。多層コーティングの測定も可能です。 標準チップでの測定範囲は0～200μmです。...
TP技研株式会社
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33.7時間 返答時間
エッジ・カット式を使用しての塗布厚測定用機器です。操作が非常に簡単で、P.I.G 455 の利点を生かし、定められた角度の円錐型ドリルで...
エム・イー株式会社
130人以上が見ています
最新の閲覧: 17時間前
100.0% 返答率
43.8時間 返答時間
■概要 アドミッタンスゲージは、アナログ式ストランドゲージをベースにデジタル式に製品化したものです。アドミッタンスゲージは、金属...
ダコタ・ジャパン株式会社
270人以上が見ています
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100.0% 返答率
0.1時間 返答時間
■概要 ・素地が鉄などの磁性金属上の塗膜を測定 ・高精度な測定を約束する9つの校正モードを搭載 ・測定範囲：0～5,000μm (標準プローブ...
ダコタ・ジャパン株式会社
130人以上が見ています
返信のとても早い企業
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0.1時間 返答時間
■概要 ・素地がアルミ等の非磁性金属上の塗膜を測定 ・高精度な測定を約束する9つの校正モードを搭載 ・測定範囲：0～1,500μm ・表示：...
ダコタ・ジャパン株式会社
260人以上が見ています
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■概要 ・電磁・渦流の両方式を搭載したデュアル膜厚計 ・自動的に素地を判断し測定方式を設定 ・測定範囲：0～5,000μm (標準プローブ：0...
エフ・アイ・テック株式会社
280人以上が見ています
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100.0% 返答率
1.4時間 返答時間
H.フィッシャー社製膜厚計の売れ筋モデルであったFMPシリーズに、2023年秋頃後継モデルとしてDMPシリーズが発売されました。 ■DMPシリ...
エフ・アイ・テック株式会社
200人以上が見ています
最新の閲覧: 6時間前
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100.0% 返答率
1.4時間 返答時間
H.フィッシャー社製膜厚計の売れ筋モデルであったFMPシリーズに、2023年秋頃後継モデルとしてDMPシリーズが発売されました。 ■DMPシリ...
エフ・アイ・テック株式会社
230人以上が見ています
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100.0% 返答率
1.4時間 返答時間
H.フィッシャー社製膜厚計の売れ筋モデルであったFMPシリーズに、2023年秋頃後継モデルとしてDMPシリーズが発売されました。 ■DMPシリ...
エフ・アイ・テック株式会社
280人以上が見ています
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100.0% 返答率
1.4時間 返答時間
H.フィッシャー社製膜厚計の売れ筋モデルであったFMPシリーズに、2023年秋頃後継モデルとしてDMPシリーズが発売されました。 ■DMPシリ...
エフ・アイ・テック株式会社
230人以上が見ています
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1.4時間 返答時間
■特徴 DUALSCOPE MP0Rシリーズは手軽に測定が出来るハンディータイプの測定器です。この測定器は本体正面に大きなLCD画面は見やすく、小...
エフ・アイ・テック株式会社
230人以上が見ています
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1.4時間 返答時間
■特徴 DUALSCOPE MP0Rシリーズは手軽に測定が出来るハンディータイプの測定器です。この測定器は本体正面に大きなLCD画面は見やすく、小...
エフティーエス株式会社
190人以上が見ています
最新の閲覧: 10時間前
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98.4時間 返答時間
測定原理は熱反射に類似しており、光を対象物に照射させ、熱の伝わる伝搬時間をコーティング厚さへ変換します。塗布後すぐ測定すること...
エフティーエス株式会社
160人以上が見ています
最新の閲覧: 15時間前
100.0% 返答率
98.4時間 返答時間
測定原理は熱反射に類似しており、光を対象物に照射させ、熱の伝わる伝搬時間をコーティング厚さへ変換します。特定の素材や材料に左右...
新潟精機株式会社
80人以上が見ています
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33.8時間 返答時間
■特徴 ・塗膜の厚さを測れるポケットサイズの小型膜厚計です。 ・回転式プローブでパイプの内部測定や計測が困難な部位の測定が可能です...
ジロー株式会社
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100.0% 返答率
0.8時間 返答時間
■特徴 ・0〜500μm 0.2 〜 5.0mm ・鉄素地で最大5mmまでの膜厚測定が可能なアナログタイプの膜厚計
ジロー株式会社
40人以上が見ています
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返信のとても早い企業
100.0% 返答率
0.8時間 返答時間
■特徴 ・0〜600μm 0.5 〜 2.0mm ・鉄素地で最大2mmまでの膜厚測定が可能なアナログタイプの膜厚計
株式会社テツタニ
60人以上が見ています
最新の閲覧: 10時間前
100.0% 返答率
61.5時間 返答時間
■非破壊でペイント各層の厚さを一度に計測します ・製品にダメージを与えることはなく、非破壊で計測できます。 ・ペイント各層の厚さを...
大塚電子株式会社
20人以上が見ています
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12.9時間 返答時間
ウェーハ等の研削研磨プロセスにおいて、非接触でウェーハや樹脂の厚みを超高速・高精度に測定を行います。 ■特長 ・光学式により非接...
大塚電子株式会社
20人以上が見ています
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100.0% 返答率
12.9時間 返答時間
高精度な光干渉法による膜厚測定を簡単操作で実現した小型で低価格な膜厚計です。必要な機器を本体部に収納したオールインワンタイプの...
大塚電子株式会社
20人以上が見ています
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
12.9時間 返答時間
高精度で持ち運び可能な膜厚計。 ・「測りたい“その場”ですぐに測れない」 ・「人によってバラつく測定結果」 ・「測定精度が悪い」 ...
株式会社電測
20人以上が見ています
■渦電流式膜厚計 非磁性金属 (アルミ、銅、真鍮) 上の非電導体皮膜、鋼上の各種めっき、非金属上の銅、銀めっき等素地と皮膜の電導率の...
株式会社電測
30人以上が見ています
■渦電流式膜厚計 非磁性金属 (アルミ、銅、真鍮) 上の非電導体皮膜、鋼上の各種めっき、非金属上の銅、銀めっき等素地と皮膜の電導率の...
株式会社電測
20人以上が見ています
軽量小型で現場でも使いやすく、そのうえ高精度で統計機能やプリンタなども備えたポータブル膜厚計を各種そろえています。 ■様々なプロ...
膜厚計とは、物体の微小な厚みを測定する装置です。
例えば、塗装の皮膜や金属メッキの厚みなど、視覚的に計測の難しい薄膜を調べる際に使用されています。膜厚計には測定方式がいくつかあり、測定対象が光を透過するかどうか、接触若しくは非接触のどちらで測定するかなどに応じて測定方式を選択します。
膜厚計は、主に塗装面の塗装被膜の厚さの測定に使用されます。塗装は美観を保つほかに、耐久性を持たせる目的で家電品などの日用品や自動車など身の回りの物の多くに施されています。
塗装被膜の厚さは、適宜な膜厚でかつ均一であることが必要です。膜厚が適宜でない、すなわち塗装膜が厚すぎるとひび割れが生じ、逆に薄すぎると変色や光沢の損失、下地の劣化などの問題を引き起こします。また、均一でない場合には、場所によって耐久性が変わってしまい、品質を保てないなどの問題が生じます。
そこで、品質管理のために膜厚計を使用して、様々な物品の塗装膜の膜厚を測定管理する方法が一般的です。膜厚計には様々なものがあり、測定対象によって適した機器が使われます。例えば、透明な薄膜の厚みを測る場合、広帯域の光を用いる分光干渉式膜厚計や赤外線を用いる赤外線膜厚計が利用されます。
しかし、金属などは光を通さないのでこれらの方法は使えません。金属メッキの薄膜などを測定する場合は、磁束の変化を用いた電磁式膜厚計や渦電流を用いた渦電流式膜厚計が好適です。さらに、測定物に接触することが難しい場合は、超音波膜厚計などの非接触式の膜厚計も使用されます。
膜厚計には様々な測定方式のものがあり、測定対象によって適した機器が使われます。以下の５つの方式が代表的です。
光の干渉を利用した膜厚計です。測定対象に光を入射させると、薄膜の表面と裏面で光が反射されます。この2つの反射光には位相のズレが生じ、薄膜の厚み分に応じてズレが生じます。波は同位相で重なると強め合い、逆位相で重なると弱め合うので、この干渉の違いを測定することで厚みの計測が可能です。
赤外線が測定対象に吸収されることを利用した膜厚計です。測定対象に赤外線を照射すると、測定対象の素材と厚さに応じて特定の波長の赤外線が吸収されます。その性質を利用し、透過光もしくは反射光を分光して得たスペクトルをもとに膜厚を測定する原理です。測定対象素材の吸収率と膜厚との関係を予め測定しておけば、測定対象の膜厚を算出できます。
磁束密度の変化を利用した膜厚計です。測定対象が磁性を有する金属面上に形成されている場合に用いられる測定方式で、金属のみに磁石を近づけた場合と、金属の上に測定対象がある状態で磁石を近づけた場合では、磁束密度が変わることを利用しています。ただし、測定対象が金属に接しており、かつ測定対象が金属ではない場合にしか使えません。
渦電流式膜厚計は、コイルにより生じる磁束の変化を利用して測定対象の厚さを測定する方式です。通電したコイルの周りには磁束が生じ、コイルを測定対象に近づけると測定対象の厚さに応じて磁束が変化します。この磁束の変化を検出することで測定対象の厚さを測定しています。
超音波膜厚計は、超音波の反射を利用した膜厚計です。測定対象の表面から超音波を放つと、測定対象の内部を通って裏面で反射します。この反射までにかかった時間から厚みを測定することが可能です。
例えば、ガラスのような透明な薄膜の厚みを測る場合は、広帯域の光を用いる分光干渉式膜厚計や赤外線を用いる赤外線膜厚計が使用されます。一方、金属などのように光を透過しないものに関してはこれらの方式の膜厚計は使えません。
金属メッキの薄膜などを測定する場合は、磁束の変化を用いた電磁式膜厚計や渦電流を用いた渦電流式膜厚計が利用されます。さらに、測定物に接触することが難しい場合は、超音波膜厚計などの非接触式の膜厚計も使用されます。
膜厚計は、接触式、非接触式、断面観察式の3種類に分類できます。
接触式の膜厚計は、センサー部分と膜厚計本体がケーブルでつながっており、センサー部分を測定対象に接触させて膜厚を計測します。なお、接触式の膜厚計には、電磁誘導式、過電流式、超音波式、触針式があります。最もオーソドックスな膜厚計であり、性能にもよりますが数万～20万円程度で購入が可能です。
接触式の膜厚計の使い方は簡単で、測定したい物質にセンサー部分を当てることで数値が表示されます。ただし、物質によって反応速度が違うため、センサー部分が反応するまで数秒待つ場合もあります。接触式の膜厚計のうち、電磁誘導式および過電流式を使う場合は、測定対象が何の素地上に形成されているのかで使い分ける必要があります。
電磁誘導式は鉄、鋼などの磁性体、過電流式はアルミ、ステンレスなどの非磁性体に使用されます。なお、両方の方式で測定するデュアルタイプも販売されており、デュアルタイプであれば、磁性体および非磁性体の両方の測定が可能です。
非接触式の膜厚計は、膜厚計本体から光を放出し、膜の表面で反射した光や膜内に浸透した光の波長の干渉をスペクトルとして検出して膜厚を測定します。基本的には、人の手が届かない場所で使用される形態で、反射分光式、赤外線式、静電容量式、放射線式があります。検出部分に高精度な半導体素子を使用しているため、接触式よりも高価格です。
断面観察式の膜厚計は、TEM、SEMなどの電子顕微鏡です。接触式や非接触式では測定できない極小物質などを測定するときに使用されます。ただし、研究や技術開発で使用されることが多く、現場などでは採用されることはほとんどありません。
参考文献
https://www.keyence.co.jp/ss/3dprofiler/keijou/film/principle/
https://sooki.co.jp/upload/surveying_items/pdf/manual_pdf_054020.pdf
https://www.monotaro.com/s/pages/cocomite/142/
https://www.asumigiken.co.jp/products/thicknessmeter/about/
