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精密ステージについての概要、用途、原理などをご説明します。また、精密ステージのメーカー29社一覧や企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。精密ステージ関連企業の2024年10月注目ランキングは1位:株式会社キーストンインターナショナル、2位:神津精機株式会社、3位:CKD日機電装株式会社となっています。
精密ステージの関連カテゴリ
精密ステージとは、X軸方向およびY方向、あるいは回転方向に精密に動かすことができるステージです。
機種によって移動可能な軸が異なり、1軸~4軸以上まで様々な種類の精密ステージがあります。
ステージの移動はピッチが小さい送りねじが使用されており、マイクロメーターや減速機付きモーターを使用してマイクロメートルオーダーでテーブルを動かすことができるため、極小サイズのサンプルの観察などに使用されます。
精密にステージを動かせる反面、ステージを動かすことのできる可動域は数センチメートル程度と小さいため、ステージを大きく移動させたい用途には不向きとなります。
精密ステージは、X軸、Y軸、Z軸、その他3軸の回転方向など各軸方向を精密に独立して動かすことができるため、サンプルに位置を正確に制御したい場合に使用されます。
半導体素子を始めとした微小物体を観察するための顕微鏡のステージとして使用する場合や加工機械を用いて精密な加工を行うためのワーク固定用ステージとする場合、光学レンズ検査時の光軸合わせなどの検査用ステージなどとして使用する場合、高精度の位置決めで部品を接合するためのステージとして使用される場合があります。
精密ステージは高精度のリニアガイドと送りねじ、送りねじを回転させるためのマイクロメータまたは減速機付きモータによって構成されており、可動軸の数だけこれらの機構が組み込まれています。送りねじを1回展させるとねじのピッチ分(コンマ数ミリメートル程度)ステージが移動します。
マイクロメータを使用する場合には、マイクロメータに刻まれた特殊な目盛りを読み取ることで移動量を把握することができます。
モータを使用する場合には、モータ内部にロータリーエンコーダが内蔵されており回転数を検知できるため、ステージの移動量を制御することができます。
精密ステージは使用用途によってX軸のみの1軸ステージからX軸とY軸の2軸ステージ、Z軸や回転を加えた3軸から6軸のステージと様々な製品が展開されています。6軸精密ステージで1軸のみを使用するようないわゆる大は小を兼ねる使い方をすることは可能ですが、精密ステージは可動軸数が多いほど価格も大きく上がるため必要最小限のスペックのものを選定することをおすすめします。
参考文献
https://www.orimvexta.co.jp/product/detail/?id=007001
https://jp.misumi-ec.com/tech-info/categories/machine_design/md05/d0015.html
*一部商社などの取扱い企業なども含みます。
2024年10月の注目ランキングベスト10
注目ランキング導出方法順位 | 会社名 | クリックシェア |
---|---|---|
1 | 株式会社キーストンインターナショナル |
9.8%
|
2 | 神津精機株式会社 |
8.2%
|
3 | CKD日機電装株式会社 |
6.6%
|
4 | ハイウィン株式会社 |
5.7%
|
5 | 株式会社MSAファクトリー |
4.9%
|
6 | THKプレシジョン株式会社 |
4.1%
|
7 | 株式会社モーショントラスト |
4.1%
|
8 | 駿河精機株式会社 |
4.1%
|
9 | ピー・ヂー・ダブリュー 株式会社 |
4.1%
|
10 | マルツエレック株式会社 |
4.1%
|
注目ランキング導出方法について
注目ランキングは、2024年10月の精密ステージページ内でのクリックシェアを基に算出しています。クリックシェアは、対象期間内の全企業の総クリック数を各企業のクリック数で割った値を指します。社員数の規模
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株式会社日本レーザー
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■特徴 ・直径80~350mmまでの精密回転ステージ ・優れた構造剛性を保証する一体設計 ・高荷重アプリケーションに最適 ・直読式エンコーダを用いた0.0001° (0....
株式会社日本レーザー
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■特徴 ・バックラッシュの無い連続的な回転、MTBF20,000時間 ・DCモータに8,000cts/revロータリエンコーダを採用、分解能0.0005° ・独自の2ピースベアリング...
株式会社日本レーザー
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■特徴 ・最小移動量が1nmの超高性能ステージ ・ダイナミクスと信頼性の高い超精密モーションを保証する非接触直接駆動システム ・精密ガラススケールエンコー...
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コンパクトで薄型、高精度のリニアステージのMLTシリーズは、XMファミリとコンパクトなVPファミリのリニアステージの超精密性能を橋渡しします。 これらのス...
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Newport社は、科学研究、マイクロエレクトロニクス製造、航空宇宙分野向けに高精度なモーションコントロールソリューションを提供する世界的なリーディングカ...
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■特徴 ・ステンレススチール製 ・大型プラットフォーム ・調整感度1秒 ・耐荷重176 lb (800N) TGN傾斜ステージは大きい部品や重い部品の高分解能アラインメ...
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■特徴 ・10mmの精密垂直移動と360度の連続角度移動を実現する超薄型デザイン ・低質量と高い固有振動数により、すばやいステップ・アンド・セトル・アプリケ...
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RGAシリーズ、ロープロファイル、高速回転ステージは、低荷重で大口径を必要とするが、ウェーハチャックなどのサンプルホルダーの高速で正確な回転を必要とす...
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