制御・計測・センシング
駆動・機械要素・電子制御部品
産業別カテゴリ
電源・エネルギー・熱処理機器
安全・保護・環境対策
材料・素材・ケミカル
電気・電子部品
構造部品・締結要素
ソフトウェア・ネットワーク
サービス
その他
全てのカテゴリ
閲覧履歴
精密ステージのメーカー26社一覧や企業ランキングを掲載中！精密ステージ関連企業の2025年7月注目ランキングは1位:神津精機株式会社、2位:シグマ光機株式会社、3位:駿河精機株式会社となっています。 精密ステージの概要、用途、原理もチェック！
精密ステージとは、X軸方向およびY方向、あるいは回転方向に精密に動かすことができるステージです。
機種によって移動可能な軸が異なり、1軸～4軸以上まで様々な種類の精密ステージがあります。
ステージの移動はピッチが小さい送りねじが使用されており、マイクロメーターや減速機付きモーターを使用してマイクロメートルオーダーでテーブルを動かすことができるため、極小サイズのサンプルの観察などに使用されます。
精密にステージを動かせる反面、ステージを動かすことのできる可動域は数センチメートル程度と小さいため、ステージを大きく移動させたい用途には不向きとなります。
関連キーワード
2025年7月の注目ランキングベスト10
| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | 神津精機株式会社 |
12.0%
|
| 2 | シグマ光機株式会社 |
8.3%
|
| 3 | 駿河精機株式会社 |
7.4%
|
| 4 | THK株式会社 |
6.5%
|
| 5 | 鍋屋バイテック会社 |
5.6%
|
| 6 | 株式会社モーショントラスト |
5.6%
|
| 7 | THKプレシジョン株式会社 |
4.6%
|
| 8 | 住友重機械工業株式会社 |
4.6%
|
| 9 | ツクモ工学株式会社 |
3.7%
|
| 10 | コムス株式会社 |
3.7%
|
7 点の製品がみつかりました
7 点の製品
ピーアイ・ジャパン株式会社
300人以上が見ています
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
20.4時間 返答時間
6軸対応可能な高精密ナノポジショニングシステム ■特徴 ・6動作軸:3xリニア 3x回転 ・移動範囲は直線200 μm、先端/傾斜角は1 mrad ・パ...
有限会社メカノトランスフォーマ
490人以上が見ています
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
51.7時間 返答時間
■ピエゾアシストステージとは ・25x25mm テーブルサイズです。 ・20ナノメートルという最小分解能でかつ粗動 (ミリメートルオーダー) を...
有限会社メカノトランスフォーマ
580人以上が見ています
最新の閲覧: 5時間前
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
51.7時間 返答時間
■ピエゾアシストステージとは ・40x40mm テーブルサイズです。 ・20ナノメートルという最小分解能でかつ粗動 (ミリメートルオーダー) を...
有限会社メカノトランスフォーマ
530人以上が見ています
最新の閲覧: 23時間前
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
51.7時間 返答時間
■ピエゾアシストステージとは ・60x60mm テーブルサイズです。 ・20ナノメートルという最小分解能でかつ粗動 (ミリメートルオーダー) を...
株式会社日本レーザー
440人以上が見ています
最新の閲覧: 7時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.7時間 返答時間
高精度ピエゾ駆動モータおよび位置決め製品。超高真空・非磁性対応。高精度アライメント用途などのナノポジショナーとして産業分野での...
株式会社フィジックステクノロジー
110人以上が見ています
100.0% 返答率
134.9時間 返答時間
SmarAct社は、従来のStick-Slipピエゾステージに加え、振動を抑えたピエゾステージSMARFLEXシリーズをラインアップに取り揃えました。小...
株式会社ピーエムティー
270人以上が見ています
最新の閲覧: 7時間前
4.0 会社レビュー
100.0% 返答率
241.6時間 返答時間
nano-UP シリーズは、高精度フィードバックスケールとピエゾアクチュエータを搭載することで、きわめて高い制御分解能と繰返し精度を実...
精密ステージとは、X軸方向およびY方向、あるいは回転方向に精密に動かすことができるステージです。
機種によって移動可能な軸が異なり、1軸～4軸以上まで様々な種類の精密ステージがあります。
ステージの移動はピッチが小さい送りねじが使用されており、マイクロメーターや減速機付きモーターを使用してマイクロメートルオーダーでテーブルを動かすことができるため、極小サイズのサンプルの観察などに使用されます。
精密にステージを動かせる反面、ステージを動かすことのできる可動域は数センチメートル程度と小さいため、ステージを大きく移動させたい用途には不向きとなります。
精密ステージは、X軸、Y軸、Z軸、その他3軸の回転方向など各軸方向を精密に独立して動かすことができるため、サンプルに位置を正確に制御したい場合に使用されます。
半導体素子を始めとした微小物体を観察するための顕微鏡のステージとして使用する場合や加工機械を用いて精密な加工を行うためのワーク固定用ステージとする場合、光学レンズ検査時の光軸合わせなどの検査用ステージなどとして使用する場合、高精度の位置決めで部品を接合するためのステージとして使用される場合があります。
精密ステージは高精度のリニアガイドと送りねじ、送りねじを回転させるためのマイクロメータまたは減速機付きモータによって構成されており、可動軸の数だけこれらの機構が組み込まれています。送りねじを1回展させるとねじのピッチ分（コンマ数ミリメートル程度）ステージが移動します。
マイクロメータを使用する場合には、マイクロメータに刻まれた特殊な目盛りを読み取ることで移動量を把握することができます。
モータを使用する場合には、モータ内部にロータリーエンコーダが内蔵されており回転数を検知できるため、ステージの移動量を制御することができます。
精密ステージは使用用途によってX軸のみの1軸ステージからX軸とY軸の2軸ステージ、Z軸や回転を加えた3軸から6軸のステージと様々な製品が展開されています。6軸精密ステージで1軸のみを使用するようないわゆる大は小を兼ねる使い方をすることは可能ですが、精密ステージは可動軸数が多いほど価格も大きく上がるため必要最小限のスペックのものを選定することをおすすめします。
参考文献
https://www.orimvexta.co.jp/product/detail/?id=007001
https://jp.misumi-ec.com/tech-info/categories/machine_design/md05/d0015.html
