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精密ステージのメーカー26社一覧や企業ランキングを掲載中!精密ステージ関連企業の2025年7月注目ランキングは1位:神津精機株式会社、2位:シグマ光機株式会社、3位:駿河精機株式会社となっています。 精密ステージの概要、用途、原理もチェック!
精密ステージとは、X軸方向およびY方向、あるいは回転方向に精密に動かすことができるステージです。
機種によって移動可能な軸が異なり、1軸~4軸以上まで様々な種類の精密ステージがあります。
ステージの移動はピッチが小さい送りねじが使用されており、マイクロメーターや減速機付きモーターを使用してマイクロメートルオーダーでテーブルを動かすことができるため、極小サイズのサンプルの観察などに使用されます。
精密にステージを動かせる反面、ステージを動かすことのできる可動域は数センチメートル程度と小さいため、ステージを大きく移動させたい用途には不向きとなります。
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2025年7月の注目ランキングベスト10
順位 | 会社名 | クリックシェア |
---|---|---|
1 | 神津精機株式会社 |
12.0%
|
2 | シグマ光機株式会社 |
8.3%
|
3 | 駿河精機株式会社 |
7.4%
|
4 | THK株式会社 |
6.5%
|
5 | 鍋屋バイテック会社 |
5.6%
|
6 | 株式会社モーショントラスト |
5.6%
|
7 | THKプレシジョン株式会社 |
4.6%
|
8 | 住友重機械工業株式会社 |
4.6%
|
9 | ツクモ工学株式会社 |
3.7%
|
10 | コムス株式会社 |
3.7%
|
36 点の製品がみつかりました
36 点の製品
ピーアイ・ジャパン株式会社
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■特徴 ・オーバーヘッド動作用のXYガントリー。移動範囲は1m×2mまで ・精密循環ボールベアリングガイド ・アブソリュートエンコーダ ・...
テクノダイナミックス株式会社
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■概要 ・アルミ製軽量型・X軸ネジ送りステージは、従来製品の本体材質をアルミにすることで小型軽量化した製品です。 ・薄型化・軽量化...
ツクモ工学株式会社
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■概要 ・XY軸ネジ送りステージは、ショートストロークの微動調整に優れたXY軸ステージです。 ・駆動方式は、ネジ (P=0.5mm) 、移動ガイ...
ツクモ工学株式会社
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■概要 ・Z軸ネジ送りステージは、ステージ面を垂直に保持し、Z軸方向に移動調整が可能なZ軸ステージです。 ・駆動方式はネジ式 (P=0.5m...
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■概要 ・Z軸フラットアルミステージは、ステージ面を水平に保持し、Z軸方向に移動調整が可能なZ軸ステージです。 ・駆動方式はマイクロ...
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■概要 ・Z軸アルミステージは、ステージ面を垂直に保持し、Z軸方向に移動調整が可能なZ軸ステージです。 ・駆動方式にマイクロメータヘ...
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■概要 ・X軸アルミステージは、クロスローラガイドを採用した高精度な直動型のX軸ステージです。 ・移動ガイドは、クロスローラを採用し...
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■概要 ・X軸アルミステージは、クロスローラガイドを採用した高精度な直動型のX軸ステージです。 ・移動ガイドは、クロスローラを採用し...
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■概要 ・XY軸アルミステージは、クロスローラガイドを採用した高精度で軽量な直動型のXY軸ステージです。 ・移動ガイドは、クロスローラ...
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■概要 ・XZ軸ネジ送りステージは、ステージ面を垂直に保持し、XZ軸方向に移動調整が可能なXZ軸ステージです。 ・各ネジで各軸のステージ...
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■概要 ・XYZ軸ネジ送りステージは、ステージ面を垂直に保持し、XYZ軸方向に移動調整が可能なXYZ軸ステージです。 ・各ネジで各軸のステ...
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■概要 ・薄型Z軸フラットアルミステージ(ZA-MTタイプ)は、ステージ面を水平に保持し、Z軸方向に移動調整が可能なZ軸ステージです。 ・...
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■概要 ・XZ軸フラットアルミステージは、ステージ面を水平に保持し、XZ軸方向に移動調整が可能なXZ軸ステージです。 ・X軸の移動ガイド...
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■概要 ・XZ軸フラットアルミステージは、ステージ面を水平に保持し、XZ軸方向に移動調整が可能なXZ軸ステージです。 ・移動ガイドは、ク...
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■概要 ・傾斜回転ステージは、αβθの角度を±3°の範囲で姿勢調整や基準出しが可能なαβθ軸ステージです。 ・球面滑り軸受の機構により、回...
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■概要 ・α軸ゴニオステージは、ステージの中央から法線方向の上方にある一点を中心として、弧を描くようにステージが移動するα軸ステー...
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■HQ300シリーズ 単軸モデル 機能を絞ったシンプル設計・使い易さにこだわったコンパクトなポジショナ (ターンテーブル) です。コントロ...
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■HQ300シリーズ 3軸モデル HQ303-3-AZ-EL-LIN (アジマス+エレベーション+リニアスライダ) 機能を絞ったシンプル設計・使い易さにこだわ...
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樹脂製の両手持ちフィクスチャを備えたコンパクトな測定用ターンテーブルです。ダイヤモンドエンジニアリングは、1989年に米国シエラネ...
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■概要 ・XYZ軸フラットアルミステージは、ステージ面を水平に保持し、XYZ軸方向に移動調整が可能なXYZ軸ステージです。 ・移動ガイドは...
精密ステージとは、X軸方向およびY方向、あるいは回転方向に精密に動かすことができるステージです。
機種によって移動可能な軸が異なり、1軸~4軸以上まで様々な種類の精密ステージがあります。
ステージの移動はピッチが小さい送りねじが使用されており、マイクロメーターや減速機付きモーターを使用してマイクロメートルオーダーでテーブルを動かすことができるため、極小サイズのサンプルの観察などに使用されます。
精密にステージを動かせる反面、ステージを動かすことのできる可動域は数センチメートル程度と小さいため、ステージを大きく移動させたい用途には不向きとなります。
精密ステージは、X軸、Y軸、Z軸、その他3軸の回転方向など各軸方向を精密に独立して動かすことができるため、サンプルに位置を正確に制御したい場合に使用されます。
半導体素子を始めとした微小物体を観察するための顕微鏡のステージとして使用する場合や加工機械を用いて精密な加工を行うためのワーク固定用ステージとする場合、光学レンズ検査時の光軸合わせなどの検査用ステージなどとして使用する場合、高精度の位置決めで部品を接合するためのステージとして使用される場合があります。
精密ステージは高精度のリニアガイドと送りねじ、送りねじを回転させるためのマイクロメータまたは減速機付きモータによって構成されており、可動軸の数だけこれらの機構が組み込まれています。送りねじを1回展させるとねじのピッチ分(コンマ数ミリメートル程度)ステージが移動します。
マイクロメータを使用する場合には、マイクロメータに刻まれた特殊な目盛りを読み取ることで移動量を把握することができます。
モータを使用する場合には、モータ内部にロータリーエンコーダが内蔵されており回転数を検知できるため、ステージの移動量を制御することができます。
精密ステージは使用用途によってX軸のみの1軸ステージからX軸とY軸の2軸ステージ、Z軸や回転を加えた3軸から6軸のステージと様々な製品が展開されています。6軸精密ステージで1軸のみを使用するようないわゆる大は小を兼ねる使い方をすることは可能ですが、精密ステージは可動軸数が多いほど価格も大きく上がるため必要最小限のスペックのものを選定することをおすすめします。
参考文献
https://www.orimvexta.co.jp/product/detail/?id=007001
https://jp.misumi-ec.com/tech-info/categories/machine_design/md05/d0015.html