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精密ステージのメーカー26社一覧や企業ランキングを掲載中！精密ステージ関連企業の2025年7月注目ランキングは1位:神津精機株式会社、2位:シグマ光機株式会社、3位:駿河精機株式会社となっています。 精密ステージの概要、用途、原理もチェック！
精密ステージとは、X軸方向およびY方向、あるいは回転方向に精密に動かすことができるステージです。
機種によって移動可能な軸が異なり、1軸～4軸以上まで様々な種類の精密ステージがあります。
ステージの移動はピッチが小さい送りねじが使用されており、マイクロメーターや減速機付きモーターを使用してマイクロメートルオーダーでテーブルを動かすことができるため、極小サイズのサンプルの観察などに使用されます。
精密にステージを動かせる反面、ステージを動かすことのできる可動域は数センチメートル程度と小さいため、ステージを大きく移動させたい用途には不向きとなります。
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2025年7月の注目ランキングベスト10
| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | 神津精機株式会社 |
12.0%
|
| 2 | シグマ光機株式会社 |
8.3%
|
| 3 | 駿河精機株式会社 |
7.4%
|
| 4 | THK株式会社 |
6.5%
|
| 5 | 鍋屋バイテック会社 |
5.6%
|
| 6 | 株式会社モーショントラスト |
5.6%
|
| 7 | THKプレシジョン株式会社 |
4.6%
|
| 8 | 住友重機械工業株式会社 |
4.6%
|
| 9 | ツクモ工学株式会社 |
3.7%
|
| 10 | コムス株式会社 |
3.7%
|
項目別
使用用途
#半導体検査
#微細加工
#自動位置決め
#精密組立
#表面検査
駆動方式
手動型
電動型
空圧型
軸構成
単軸型
回転型
ガイド方式
クロスローラ型
ボールリニア型
エアーベアリング型
マグレブ型
精度特性
高精度型
長ストローク型
高剛性型
アクティブ軸
X
Z
θZ
移動範囲 mm
0 - 20
20 - 50
50 - 100
100 - 200
300 - 500
500 - 1,000
最小増分モーション µm
0 - 1
1 - 5
5 - 10
最大速度 mm/s
0 - 5
5 - 10
10 - 20
20 - 100
100 - 600
駆動力 N
0 - 1
1 - 20
20 - 200
許容押し力 N
0 - 50
50 - 100
100 - 150
150 - 200
200 - 500
ドライブの種類
ステッピングモーター
DCモーター
ブラシレスDCモーター
DCギアモーター
三相リニアモーター
ピエゾモーター
三相トルクモーター
ガイド
クロスローラーガイド
再循環ボールベアリングガイド
レバー増幅付き曲げガイド
135 点の製品がみつかりました
135 点の製品
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ピーアイ・ジャパン株式会社
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精密ステージとは、X軸方向およびY方向、あるいは回転方向に精密に動かすことができるステージです。
機種によって移動可能な軸が異なり、1軸～4軸以上まで様々な種類の精密ステージがあります。
ステージの移動はピッチが小さい送りねじが使用されており、マイクロメーターや減速機付きモーターを使用してマイクロメートルオーダーでテーブルを動かすことができるため、極小サイズのサンプルの観察などに使用されます。
精密にステージを動かせる反面、ステージを動かすことのできる可動域は数センチメートル程度と小さいため、ステージを大きく移動させたい用途には不向きとなります。
精密ステージは、X軸、Y軸、Z軸、その他3軸の回転方向など各軸方向を精密に独立して動かすことができるため、サンプルに位置を正確に制御したい場合に使用されます。
半導体素子を始めとした微小物体を観察するための顕微鏡のステージとして使用する場合や加工機械を用いて精密な加工を行うためのワーク固定用ステージとする場合、光学レンズ検査時の光軸合わせなどの検査用ステージなどとして使用する場合、高精度の位置決めで部品を接合するためのステージとして使用される場合があります。
精密ステージは高精度のリニアガイドと送りねじ、送りねじを回転させるためのマイクロメータまたは減速機付きモータによって構成されており、可動軸の数だけこれらの機構が組み込まれています。送りねじを1回展させるとねじのピッチ分（コンマ数ミリメートル程度）ステージが移動します。
マイクロメータを使用する場合には、マイクロメータに刻まれた特殊な目盛りを読み取ることで移動量を把握することができます。
モータを使用する場合には、モータ内部にロータリーエンコーダが内蔵されており回転数を検知できるため、ステージの移動量を制御することができます。
精密ステージは使用用途によってX軸のみの1軸ステージからX軸とY軸の2軸ステージ、Z軸や回転を加えた3軸から6軸のステージと様々な製品が展開されています。6軸精密ステージで1軸のみを使用するようないわゆる大は小を兼ねる使い方をすることは可能ですが、精密ステージは可動軸数が多いほど価格も大きく上がるため必要最小限のスペックのものを選定することをおすすめします。
参考文献
https://www.orimvexta.co.jp/product/detail/?id=007001
https://jp.misumi-ec.com/tech-info/categories/machine_design/md05/d0015.html
