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メーカー 25社 製品 413点
神津精機株式会社
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精密ステージ
メーカー25社 【2025年】

精密ステージについての概要、用途、原理などをご説明します。また、精密ステージのメーカー25社一覧や企業ランキングも掲載しております。精密ステージ関連企業の2025年3月注目ランキングは1位:神津精機株式会社、2位:駿河精機株式会社、3位:CKD日機電装株式会社となっています。

目次

関連キーワード

回転ステージ 自動ステージ ピエゾステージ 手動ステージ 位置決めステージ 傾斜ステージ 2軸ステージ 1軸ステージ リニアステージ

精密ステージとは

精密ステージ

精密ステージとは、X軸方向およびY方向、あるいは回転方向に精密に動かすことができるステージです。

機種によって移動可能な軸が異なり、1軸～4軸以上まで様々な種類の精密ステージがあります。

ステージの移動はピッチが小さい送りねじが使用されており、マイクロメーターや減速機付きモーターを使用してマイクロメートルオーダーでテーブルを動かすことができるため、極小サイズのサンプルの観察などに使用されます。

精密にステージを動かせる反面、ステージを動かすことのできる可動域は数センチメートル程度と小さいため、ステージを大きく移動させたい用途には不向きとなります。

精密ステージの使用用途

精密ステージは、X軸、Y軸、Z軸、その他3軸の回転方向など各軸方向を精密に独立して動かすことができるため、サンプルに位置を正確に制御したい場合に使用されます。

半導体素子を始めとした微小物体を観察するための顕微鏡のステージとして使用する場合や加工機械を用いて精密な加工を行うためのワーク固定用ステージとする場合、光学レンズ検査時の光軸合わせなどの検査用ステージなどとして使用する場合、高精度の位置決めで部品を接合するためのステージとして使用される場合があります。

精密ステージの原理

精密ステージは高精度のリニアガイドと送りねじ、送りねじを回転させるためのマイクロメータまたは減速機付きモータによって構成されており、可動軸の数だけこれらの機構が組み込まれています。送りねじを1回展させるとねじのピッチ分（コンマ数ミリメートル程度）ステージが移動します。

マイクロメータを使用する場合には、マイクロメータに刻まれた特殊な目盛りを読み取ることで移動量を把握することができます。

モータを使用する場合には、モータ内部にロータリーエンコーダが内蔵されており回転数を検知できるため、ステージの移動量を制御することができます。

精密ステージは使用用途によってX軸のみの1軸ステージからX軸とY軸の2軸ステージ、Z軸や回転を加えた3軸から6軸のステージと様々な製品が展開されています。6軸精密ステージで1軸のみを使用するようないわゆる大は小を兼ねる使い方をすることは可能ですが、精密ステージは可動軸数が多いほど価格も大きく上がるため必要最小限のスペックのものを選定することをおすすめします。

参考文献
https://www.orimvexta.co.jp/product/detail/?id=007001
https://jp.misumi-ec.com/tech-info/categories/machine_design/md05/d0015.html


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精密ステージメーカー 25社

*一部商社などの取扱い企業なども含みます。

【精密ステージ】超精密位置決めステージ 注目製品
神津精機株式会社
神津精機株式会社の精密ステージ
・サブミクロンの高精度位置決めが可能な精密ステージを300機種以上ラインナップ
・各ステージは組み合わせが可能で、用途にベストマッチする多軸ステージを提案可能
・モーター変更、リニアスケール取付、真空などの特殊環境仕様、等、多様な改造に対応
・精度実力値をホームページで公開中


精密ステージ 2025年3月のメーカーランキング

*一部商社などの取扱い企業なども含みます

業界別

💊 製薬・医薬品 🚗 自動車・輸送用機器 🏗️ 建築・建設 💻 電子・電気機器 ⚡ エネルギー 🚀 航空・宇宙 🔩 金属加工

項目別

アクティブ軸

X Y Z θZ

移動範囲 mm

0 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 1,000

最小増分モーション µm

0 - 1 1 - 5 5 - 10

最大速度 mm/s

0 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 100 100 - 600

駆動力 N

0 - 1 1 - 20 20 - 200

許容押し力 N

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 500

ドライブの種類

ステッピングモーター DCモーター ブラシレスDCモーター DCギアモーター 三相リニアモーター ピエゾモーター 三相トルクモーター

ガイド

クロスローラーガイド 再循環ボールベアリングガイド レバー増幅付き曲げガイド ボールガイド エアベアリング

52 点の製品がみつかりました

52 点の製品

XYZ軸フラットアルミステージ【□25・□40・□60mm】-ツクモ工学株式会社

ツクモ工学株式会社

XYZ軸フラットアルミステージ【□25・□40・□60mm】

電子・電気機器業界用 エネルギー業界用 航空・宇宙業界用

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■概要 ・XYZ軸フラットアルミステージは、ステージ面を水平に保持し、XYZ軸方向に移動調整が可能なXYZ軸ステージです。 ・XY軸の移動ガイドは、クロスローラ...

8種類の品番

XC4-60SMD-XYZ軸フラットアルミステージ【□25・□40・□60mm】
XC4-60FMT-XYZ軸フラットアルミステージ【□25・□40・□60mm】
XC4-60CM-XYZ軸フラットアルミステージ【□25・□40・□60mm】
XC-60SM-XYZ軸フラットアルミステージ【□25・□40・□60mm】
XC4-40CM-XYZ軸フラットアルミステージ【□25・□40・□60mm】
XC4-40SM-XYZ軸フラットアルミステージ【□25・□40・□60mm】

価格 (税抜)

77,000 円〜

XYZ軸アルミステージ 【垂直ステージ面 □25～60mm】-ツクモ工学株式会社

ツクモ工学株式会社

XYZ軸アルミステージ 【垂直ステージ面 □25～60mm】

電子・電気機器業界用 エネルギー業界用 航空・宇宙業界用

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■概要 ・XYZ軸アルミステージは、ステージ面を垂直に保持し、XYZ軸方向に移動調整が可能なXYZ軸ステージです。 ・移動ガイドは、クロスローラを採用しており...

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XC4-60SMW-XYZ軸アルミステージ 【垂直ステージ面 □25～60mm】
XC4-60CMB-XYZ軸アルミステージ 【垂直ステージ面 □25～60mm】
XC4-60SMB-XYZ軸アルミステージ 【垂直ステージ面 □25～60mm】
XC4-40CMB-XYZ軸アルミステージ 【垂直ステージ面 □25～60mm】
XC4-40SMB-XYZ軸アルミステージ 【垂直ステージ面 □25～60mm】
XC4-25CMB-XYZ軸アルミステージ 【垂直ステージ面 □25～60mm】

価格 (税抜)

68,000 円〜

XZ軸フラットアルミステージ【□25・□40・□60mm】-ツクモ工学株式会社

ツクモ工学株式会社

XZ軸フラットアルミステージ【□25・□40・□60mm】

電子・電気機器業界用 エネルギー業界用 航空・宇宙業界用

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■概要 ・XZ軸フラットアルミステージは、ステージ面を水平に保持し、XZ軸方向に移動調整が可能なXZ軸ステージです。 ・X軸の移動ガイドは、クロスローラを採...

7種類の品番

XC3-60SMD-XZ軸フラットアルミステージ【□25・□40・□60mm】
XC3-60CM-XZ軸フラットアルミステージ【□25・□40・□60mm】
XC3-60SM-XZ軸フラットアルミステージ【□25・□40・□60mm】
XC3-40CM-XZ軸フラットアルミステージ【□25・□40・□60mm】
XC3-40SM-XZ軸フラットアルミステージ【□25・□40・□60mm】
XC3-25CM-XZ軸フラットアルミステージ【□25・□40・□60mm】

価格 (税抜)

56,000 円〜

XYZ軸フラットアルミステージ【□80・□100・□120mm】-ツクモ工学株式会社

ツクモ工学株式会社

XYZ軸フラットアルミステージ【□80・□100・□120mm】

電子・電気機器業界用 エネルギー業界用 航空・宇宙業界用

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■概要 ・XYZ軸フラットアルミステージは、ステージ面を水平に保持し、XYZ軸方向に移動調整が可能なXYZ軸ステージです。 ・移動ガイドは、クロスローラを採用...

6種類の品番

XC4-120CM-XYZ軸フラットアルミステージ【□80・□100・□120mm】
XC4-120SM-XYZ軸フラットアルミステージ【□80・□100・□120mm】
XC4-100CM-XYZ軸フラットアルミステージ【□80・□100・□120mm】
XC4-100SM-XYZ軸フラットアルミステージ【□80・□100・□120mm】
XC4-80CM-XYZ軸フラットアルミステージ【□80・□100・□120mm】
XC4-80SM-XYZ軸フラットアルミステージ【□80・□100・□120mm】

価格 (税抜)

130,000 円〜

XZ軸フラットアルミステージ【□80・□100・□120mm】-ツクモ工学株式会社

ツクモ工学株式会社

XZ軸フラットアルミステージ【□80・□100・□120mm】

電子・電気機器業界用 エネルギー業界用 航空・宇宙業界用

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■概要 ・XZ軸フラットアルミステージは、ステージ面を水平に保持し、XZ軸方向に移動調整が可能なXZ軸ステージです。 ・移動ガイドは、クロスローラを採用して...

6種類の品番

XC3-120CM-XZ軸フラットアルミステージ【□80・□100・□120mm】
XC3-120SM-XZ軸フラットアルミステージ【□80・□100・□120mm】
XC3-100CM-XZ軸フラットアルミステージ【□80・□100・□120mm】
XC3-100SM-XZ軸フラットアルミステージ【□80・□100・□120mm】
XC3-80CM-XZ軸フラットアルミステージ【□80・□100・□120mm】
XC3-80SM-XZ軸フラットアルミステージ【□80・□100・□120mm】

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90,000 円〜

薄型Z軸フラットアルミステージ 【□60mm/□120mm】・ファインピッチマイクロ調整-ツクモ工学株式会社

ツクモ工学株式会社

薄型Z軸フラットアルミステージ 【□60mm/□120mm】・ファインピッチマイクロ調整

電子・電気機器業界用 エネルギー業界用 航空・宇宙業界用

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■概要 ・薄型Z軸フラットアルミステージ（ZA-FMTタイプ）は、ステージ面を水平に保持し、Z軸方向に移動調整が可能なZ軸ステージです。 ・駆動方式はファイン...

2種類の品番

ZA-120FMT-薄型Z軸フラットアルミステージ 【□60mm/□120mm】・ファインピッチマイクロ調整
ZA-60FMT-薄型Z軸フラットアルミステージ 【□60mm/□120mm】・ファインピッチマイクロ調整

価格 (税抜)

61,000 円〜

Z軸アルミステージ 【垂直ステージ面】-ツクモ工学株式会社

ツクモ工学株式会社

Z軸アルミステージ 【垂直ステージ面】

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■概要 ・Z軸アルミステージは、ステージ面を垂直に保持し、Z軸方向に移動調整が可能なZ軸ステージです。 ・ステージ面を移動後は、クランプで位置を固定しま...

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ZA-60MBD-Z軸アルミステージ 【垂直ステージ面】
ZA-60MBW-Z軸アルミステージ 【垂直ステージ面】
ZA-60MB-Z軸アルミステージ 【垂直ステージ面】
ZA-40MB-Z軸アルミステージ 【垂直ステージ面】
ZA-25MB-Z軸アルミステージ 【垂直ステージ面】

価格 (税抜)

27,000 円〜

XZ軸アルミステージ 【垂直ステージ面 □25～60mm】-ツクモ工学株式会社

ツクモ工学株式会社

XZ軸アルミステージ 【垂直ステージ面 □25～60mm】

電子・電気機器業界用 エネルギー業界用 航空・宇宙業界用

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■概要 ・XZ軸アルミステージは、ステージ面を垂直に保持し、XZ軸方向に移動調整が可能なXZ軸ステージです。 ・移動ガイドは、クロスローラを採用しており、滑...

6種類の品番

XC3-60CMB-XZ軸アルミステージ 【垂直ステージ面 □25～60mm】
XC3-60SMB-XZ軸アルミステージ 【垂直ステージ面 □25～60mm】
XC3-40CMB-XZ軸アルミステージ 【垂直ステージ面 □25～60mm】
XC3-40SMB-XZ軸アルミステージ 【垂直ステージ面 □25～60mm】
XC3-25CMB-XZ軸アルミステージ 【垂直ステージ面 □25～60mm】
XC3-25SMB-XZ軸アルミステージ 【垂直ステージ面 □25～60mm】

価格 (税抜)

48,000 円〜

XYZ軸ネジ送りステージ-ツクモ工学株式会社

ツクモ工学株式会社

XYZ軸ネジ送りステージ

電子・電気機器業界用 エネルギー業界用 航空・宇宙業界用

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■概要 ・XYZ軸ネジ送りステージは、ステージ面を垂直に保持し、XYZ軸方向に移動調整が可能なXYZ軸ステージです。 ・各ネジで各軸のステージを移動し、各クラ...

5種類の品番

X15-001-T03031-XYZ軸ネジ送りステージ
X15-102-XYZ軸ネジ送りステージ
X15-101-XYZ軸ネジ送りステージ
X15-002-XYZ軸ネジ送りステージ
X15-001-XYZ軸ネジ送りステージ

価格 (税抜)

33,000 円〜

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精密ステージの価格・相場

平均価格

74,392 円

最低価格

11,000 円

最高価格

283,000 円

精密ステージの関連キーワード

回転ステージ 自動ステージ ピエゾステージ 手動ステージ 位置決めステージ 傾斜ステージ 2軸ステージ 1軸ステージ XYZステージ リニアステージ 顕微鏡ステージ ヘキサポッド
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