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精密ステージ メーカー26社

精密ステージのメーカー26社一覧や企業ランキングを掲載中！精密ステージ関連企業の2025年7月注目ランキングは1位:神津精機株式会社、2位:シグマ光機株式会社、3位:駿河精機株式会社となっています。 精密ステージの概要、用途、原理もチェック！

精密ステージとは

精密ステージとは、X軸方向およびY方向、あるいは回転方向に精密に動かすことができるステージです。

機種によって移動可能な軸が異なり、1軸～4軸以上まで様々な種類の精密ステージがあります。

ステージの移動はピッチが小さい送りねじが使用されており、マイクロメーターや減速機付きモーターを使用してマイクロメートルオーダーでテーブルを動かすことができるため、極小サイズのサンプルの観察などに使用されます。

精密にステージを動かせる反面、ステージを動かすことのできる可動域は数センチメートル程度と小さいため、ステージを大きく移動させたい用途には不向きとなります。

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関連キーワード

回転ステージ 自動ステージ ピエゾステージ 手動ステージ 位置決めステージ 傾斜ステージ 2軸ステージ 1軸ステージ リニアステージ

26社精密ステージメーカー

精密ステージ 2025年7月のメーカーランキング


見積もりの使い方

業界別

💊 製薬・医薬品 🚗 自動車・輸送用機器 🏗️ 建築・建設 💻 電子・電気機器 ⚡ エネルギー 🚀 航空・宇宙 🔩 金属加工

項目別

使用用途

#半導体検査

#光学調整

#精密組立

#表面検査

#電子部品配置

駆動方式

手動型

電動型

軸構成

単軸型

二軸型

三軸型

ガイド方式

クロスローラ型

精度特性

高精度型

高剛性型

アクティブ軸

X

Z

移動範囲 mm

0 - 20

20 - 50

50 - 100

100 - 200

最小増分モーション µm

0 - 1

1 - 5

最大速度 mm/s

0 - 5

5 - 10

20 - 100

駆動力 N

0 - 1

1 - 20

20 - 200

許容押し力 N

0 - 50

50 - 100

100 - 150

ドライブの種類

ステッピングモーター

DCモーター

ブラシレスDCモーター

DCギアモーター

ガイド

クロスローラーガイド

114 点の製品がみつかりました

114 点の製品

αSTEP AZシリーズ搭載　精密位置決めステージ　自動Xステージ　SXAシリーズ (オリエンタルモーター製ステッピングモーター　PK/PKPシリーズ)-オリムベクスタ株式会社

オリムベクスタ株式会社

αSTEP AZシリーズ搭載　精密位置決めステージ　自動Xステージ　SXAシリーズ (オリエンタルモーター製ステッピングモーター　PK/PKPシリーズ)

1690人以上が見ています

最新の閲覧: 1時間前

返信の早い企業

100.0% 返答率

11.5時間 返答時間

＜特徴＞ 高精度 ・位置決め後の安定性が高い ・バックラッシが少ない ・回転ステージの偏芯量が少ない ・サブミクロンの位置決めが可能...

3種類の品番

価格 (税抜)

108,010 円〜

L-306 コンパクト精密Zステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

ピーアイ・ジャパン株式会社

L-306 コンパクト精密Zステージ

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100.0% 返答率

20.2時間 返答時間

製品概要 ■コンパクトなZステージ、用途が広い ベルトギア付き折り畳み式駆動によるコンパクトなサイズのZステージ。M650mm×50mm接続グ...

3種類の品番


L-310 Z軸モータステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

ピーアイ・ジャパン株式会社

L-310 Z軸モータステージ

1200人以上が見ています

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返信の比較的早い企業

100.0% 返答率

20.2時間 返答時間

製品概要 ■精密クラスZステージ ボールねじとクロスローラーガイドによる高いガイド精度と剛性。高い安定性のための応力緩和アルミニウ...

7種類の品番


L-310 V6　真空精密Zステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

ピーアイ・ジャパン株式会社

L-310 V6　真空精密Zステージ

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100.0% 返答率

20.2時間 返答時間

製品概要 ■精密クラスZステージ ボールねじとクロスローラーガイドによる高いガイド精度と剛性。高い安定性のための応力緩和アルミニウ...


コンパクト設計、10kgまでの荷重に対応 L-509 精密リニアステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

ピーアイ・ジャパン株式会社

コンパクト設計、10kgまでの荷重に対応 L-509 精密リニアステージ

1790人以上が見ています

最新の閲覧: 16時間前

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100.0% 返答率

20.2時間 返答時間

■製品概要 アンチクリープシステムを備えたクロスローラーガイドによる高い移動精度と負荷容量。1mmピッチの精密ボールねじ。コンパクト...


コンパクト設計、10kgまでの荷重に対応 L-509 V6 • V7 • V9 真空対応精密リニアステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

ピーアイ・ジャパン株式会社

コンパクト設計、10kgまでの荷重に対応 L-509 V6 • V7 • V9 真空対応精密リニアステージ

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100.0% 返答率

20.2時間 返答時間

■製品概要 アンチクリープシステムを備えたクロスローラーガイドによる高い移動精度と負荷容量。1mmピッチの精密ボールねじ。コンパクト...

6種類の品番


高い移動精度と安定性 L-731 精密XYステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

ピーアイ・ジャパン株式会社

高い移動精度と安定性 L-731 精密XYステージ

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20.2時間 返答時間

■特徴 ・移動範囲205mm×205mm (8") ・0.05µmまでの一方向の再現性 ・速度90mm/sまで ・2相ステッピングモーターまたはDCモーター ・分...

2種類の品番


V-738 高精度XYステージ　開口付-ピーアイ・ジャパン株式会社

ピーアイ・ジャパン株式会社

V-738 高精度XYステージ　開口付

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100.0% 返答率

20.2時間 返答時間

■特徴 ・移動範囲 102mm×102mm (4") ・大口径、150mm×150mm ・0.1µmまでの一方向の再現性 ・速度 500mm/sまで ・三相リニアモーター ・...


リニアステージ 超小型 高精度 リニアステージ M3-LSシリーズ-株式会社日本レーザー

株式会社日本レーザー

リニアステージ 超小型 高精度 リニアステージ M3-LSシリーズ

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5.0 会社レビュー

100.0% 返答率

13.6時間 返答時間

M3-LSリニアステージは、コントローラを内蔵した超小型高精度リニアステージです。小型のOEM機器にすぐに組込みが可能。外部ボードも不...

2種類の品番


Z軸フラットアルミステージ-ツクモ工学株式会社

ツクモ工学株式会社

Z軸フラットアルミステージ

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最新の閲覧: 12分前

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100.0% 返答率

0.5時間 返答時間

■概要 ・Z軸フラットアルミステージは、ステージ面を水平に保持し、Z軸方向に移動調整が可能なZ軸ステージです。 ・駆動方式はマイクロ...

6種類の品番

価格 (税抜)

35,000 円〜

Z軸アルミステージ 【垂直ステージ面】-ツクモ工学株式会社

ツクモ工学株式会社

Z軸アルミステージ 【垂直ステージ面】

電子・電気機器業界用 エネルギー業界用 航空・宇宙業界用

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最新の閲覧: 14時間前

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100.0% 返答率

0.5時間 返答時間

■概要 ・Z軸アルミステージは、ステージ面を垂直に保持し、Z軸方向に移動調整が可能なZ軸ステージです。 ・駆動方式にマイクロメータヘ...

5種類の品番

価格 (税抜)

27,000 円〜

X軸アルミステージ 【□25mm/□40mm】・クロスローラ-ツクモ工学株式会社

ツクモ工学株式会社

X軸アルミステージ 【□25mm/□40mm】・クロスローラ

550人以上が見ています

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100.0% 返答率

0.5時間 返答時間

■概要 ・X軸アルミステージは、クロスローラガイドを採用した高精度な直動型のX軸ステージです。 ・移動ガイドは、クロスローラを採用し...

4種類の品番

価格 (税抜)

21,000 円〜

X軸アルミステージ 【□80mm/□100mm/□120mm】・クロスローラ-ツクモ工学株式会社

ツクモ工学株式会社

X軸アルミステージ 【□80mm/□100mm/□120mm】・クロスローラ

610人以上が見ています

最新の閲覧: 1日前

返信のとても早い企業

100.0% 返答率

0.5時間 返答時間

■概要 ・X軸アルミステージは、クロスローラガイドを採用した高精度な直動型のX軸ステージです。 ・移動ガイドは、クロスローラを採用し...

6種類の品番

価格 (税抜)

41,000 円〜

XY軸アルミステージ 【□25mm/□40mm】・クロスローラ-ツクモ工学株式会社

ツクモ工学株式会社

XY軸アルミステージ 【□25mm/□40mm】・クロスローラ

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0.5時間 返答時間

■概要 ・XY軸アルミステージは、クロスローラガイドを採用した高精度で軽量な直動型のXY軸ステージです。 ・移動ガイドは、クロスローラ...

4種類の品番

価格 (税抜)

42,000 円〜

XY軸アルミステージ 【□80mm/□100mm/□120mm】・クロスローラ-ツクモ工学株式会社

ツクモ工学株式会社

XY軸アルミステージ 【□80mm/□100mm/□120mm】・クロスローラ

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100.0% 返答率

0.5時間 返答時間

■概要 ・XY軸アルミステージは、クロスローラガイドを採用した高精度な直動型のXY軸ステージです。 ・移動ガイドは、クロスローラを採用...

6種類の品番

価格 (税抜)

81,000 円〜

X軸アルミステージ 【□60mm】・クロスローラ-ツクモ工学株式会社

ツクモ工学株式会社

X軸アルミステージ 【□60mm】・クロスローラ

450人以上が見ています

最新の閲覧: 18時間前

返信のとても早い企業

100.0% 返答率

0.5時間 返答時間

■概要 ・X軸アルミステージは、クロスローラガイドを採用した高精度で軽量な直動型のX軸ステージです。 ・移動ガイドは、クロスローラを...

5種類の品番

価格 (税抜)

33,000 円〜

XY軸アルミステージ 【□60mm】・クロスローラ-ツクモ工学株式会社

ツクモ工学株式会社

XY軸アルミステージ 【□60mm】・クロスローラ

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最新の閲覧: 7時間前

返信のとても早い企業

100.0% 返答率

0.5時間 返答時間

■概要 ・XY軸アルミステージは、クロスローラガイドを採用した高精度で軽量な直動型のXY軸ステージです。 ・移動ガイドは、クロスローラ...

5種類の品番

価格 (税抜)

65,000 円〜

薄型Z軸フラットアルミステージ 【□40mm/□60mm】・クロスローラ-ツクモ工学株式会社

ツクモ工学株式会社

薄型Z軸フラットアルミステージ 【□40mm/□60mm】・クロスローラ

410人以上が見ています

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100.0% 返答率

0.5時間 返答時間

■概要 ・薄型Z軸フラットアルミステージ（ZA-MTタイプ）は、ステージ面を水平に保持し、Z軸方向に移動調整が可能なZ軸ステージです。 ・...

2種類の品番

価格 (税抜)

54,000 円〜

薄型Z軸フラットアルミステージ 【□60mm/□120mm】・ファインピッチマイクロ調整-ツクモ工学株式会社

ツクモ工学株式会社

薄型Z軸フラットアルミステージ 【□60mm/□120mm】・ファインピッチマイクロ調整

電子・電気機器業界用 エネルギー業界用 航空・宇宙業界用

480人以上が見ています

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返信のとても早い企業

100.0% 返答率

0.5時間 返答時間

■概要 ・薄型Z軸フラットアルミステージ（ZA-FMTタイプ）は、ステージ面を水平に保持し、Z軸方向に移動調整が可能なZ軸ステージです。 ...

2種類の品番

価格 (税抜)

61,000 円〜

XZ軸フラットアルミステージ【□25・□40・□60mm】-ツクモ工学株式会社

ツクモ工学株式会社

XZ軸フラットアルミステージ【□25・□40・□60mm】

電子・電気機器業界用 エネルギー業界用 航空・宇宙業界用

330人以上が見ています

最新の閲覧: 59分前

返信のとても早い企業

100.0% 返答率

0.5時間 返答時間

■概要 ・XZ軸フラットアルミステージは、ステージ面を水平に保持し、XZ軸方向に移動調整が可能なXZ軸ステージです。 ・X軸の移動ガイド...

7種類の品番

価格 (税抜)

56,000 円〜

XZ軸フラットアルミステージ【□80・□100・□120mm】-ツクモ工学株式会社

ツクモ工学株式会社

XZ軸フラットアルミステージ【□80・□100・□120mm】

電子・電気機器業界用 エネルギー業界用 航空・宇宙業界用

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最新の閲覧: 12時間前

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100.0% 返答率

0.5時間 返答時間

■概要 ・XZ軸フラットアルミステージは、ステージ面を水平に保持し、XZ軸方向に移動調整が可能なXZ軸ステージです。 ・移動ガイドは、ク...

6種類の品番

価格 (税抜)

90,000 円〜

XZ軸アルミステージ 【垂直ステージ面 □25～60mm】-ツクモ工学株式会社

ツクモ工学株式会社

XZ軸アルミステージ 【垂直ステージ面 □25～60mm】

電子・電気機器業界用 エネルギー業界用 航空・宇宙業界用

400人以上が見ています

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100.0% 返答率

0.5時間 返答時間

■概要 ・XZ軸アルミステージは、ステージ面を垂直に保持し、XZ軸方向に移動調整が可能なXZ軸ステージです。 ・移動ガイドは、クロスロー...

6種類の品番

価格 (税抜)

48,000 円〜

XYZ軸フラットアルミステージ【□25・□40・□60mm】-ツクモ工学株式会社

ツクモ工学株式会社

XYZ軸フラットアルミステージ【□25・□40・□60mm】

電子・電気機器業界用 エネルギー業界用 航空・宇宙業界用

450人以上が見ています

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返信のとても早い企業

100.0% 返答率

0.5時間 返答時間

■概要 ・XYZ軸フラットアルミステージは、ステージ面を水平に保持し、XYZ軸方向に移動調整が可能なXYZ軸ステージです。 ・XY軸の移動ガ...

8種類の品番

価格 (税抜)

77,000 円〜

XYZ軸アルミステージ 【垂直ステージ面 □25～60mm】-ツクモ工学株式会社

ツクモ工学株式会社

XYZ軸アルミステージ 【垂直ステージ面 □25～60mm】

電子・電気機器業界用 エネルギー業界用 航空・宇宙業界用

380人以上が見ています

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返信のとても早い企業

100.0% 返答率

0.5時間 返答時間

■概要 ・XYZ軸アルミステージは、ステージ面を垂直に保持し、XYZ軸方向に移動調整が可能なXYZ軸ステージです。 ・移動ガイドは、クロス...

7種類の品番

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68,000 円〜

電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ 精密アライメントステージ CMX-THK株式会社

THK株式会社

電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ 精密アライメントステージ CMX

50人以上が見ています

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100.0% 返答率

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■精密ステージシリーズ 精密アライメントステージ CMX 画期的な駆動モジュール構造を採用した、超薄型の精密アライメントステージです。...


電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ 中抜きXYステージ DX-THK株式会社

THK株式会社

電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ 中抜きXYステージ DX

40人以上が見ています

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1.6時間 返答時間

■精密ステージシリーズ 中抜きXYステージ DX クロスLMガイドCSRの最適配置により、高剛性かつ高さの低い中抜きXYステージ ■中抜き構造※...


電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ 高応答XYステージ EX-THK株式会社

THK株式会社

電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ 高応答XYステージ EX

40人以上が見ています

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■精密ステージシリーズ 高応答XYステージ EX 低イナーシャ構造で、優れた応答性を実現した高応答XYステージ ■シンプルなXY構造 案内部...


XYZ軸フラットアルミステージ【□80・□100・□120mm】-ツクモ工学株式会社

ツクモ工学株式会社

XYZ軸フラットアルミステージ【□80・□100・□120mm】

電子・電気機器業界用 エネルギー業界用 航空・宇宙業界用

370人以上が見ています

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100.0% 返答率

0.5時間 返答時間

■概要 ・XYZ軸フラットアルミステージは、ステージ面を水平に保持し、XYZ軸方向に移動調整が可能なXYZ軸ステージです。 ・移動ガイドは...

6種類の品番

価格 (税抜)

130,000 円〜

見積もりの使い方

精密ステージの価格・相場

平均価格

74,051 円

最低価格

11,000 円

最高価格

283,000 円

📔 精密ステージの基礎知識

精密ステージとは

精密ステージ

精密ステージとは、X軸方向およびY方向、あるいは回転方向に精密に動かすことができるステージです。

機種によって移動可能な軸が異なり、1軸～4軸以上まで様々な種類の精密ステージがあります。

ステージの移動はピッチが小さい送りねじが使用されており、マイクロメーターや減速機付きモーターを使用してマイクロメートルオーダーでテーブルを動かすことができるため、極小サイズのサンプルの観察などに使用されます。

精密にステージを動かせる反面、ステージを動かすことのできる可動域は数センチメートル程度と小さいため、ステージを大きく移動させたい用途には不向きとなります。

精密ステージの使用用途

精密ステージは、X軸、Y軸、Z軸、その他3軸の回転方向など各軸方向を精密に独立して動かすことができるため、サンプルに位置を正確に制御したい場合に使用されます。

半導体素子を始めとした微小物体を観察するための顕微鏡のステージとして使用する場合や加工機械を用いて精密な加工を行うためのワーク固定用ステージとする場合、光学レンズ検査時の光軸合わせなどの検査用ステージなどとして使用する場合、高精度の位置決めで部品を接合するためのステージとして使用される場合があります。

精密ステージの原理

精密ステージは高精度のリニアガイドと送りねじ、送りねじを回転させるためのマイクロメータまたは減速機付きモータによって構成されており、可動軸の数だけこれらの機構が組み込まれています。送りねじを1回展させるとねじのピッチ分（コンマ数ミリメートル程度）ステージが移動します。

マイクロメータを使用する場合には、マイクロメータに刻まれた特殊な目盛りを読み取ることで移動量を把握することができます。

モータを使用する場合には、モータ内部にロータリーエンコーダが内蔵されており回転数を検知できるため、ステージの移動量を制御することができます。

精密ステージは使用用途によってX軸のみの1軸ステージからX軸とY軸の2軸ステージ、Z軸や回転を加えた3軸から6軸のステージと様々な製品が展開されています。6軸精密ステージで1軸のみを使用するようないわゆる大は小を兼ねる使い方をすることは可能ですが、精密ステージは可動軸数が多いほど価格も大きく上がるため必要最小限のスペックのものを選定することをおすすめします。

参考文献
https://www.orimvexta.co.jp/product/detail/?id=007001
https://jp.misumi-ec.com/tech-info/categories/machine_design/md05/d0015.html

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