磁気ダイレクトドライブによる高いダイナミクス、優れた移動精度 LMS-180 精密リニアステージ-68509111
磁気ダイレクトドライブによる高いダイナミクス、優れた移動精度 LMS-180 精密リニアステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

磁気ダイレクトドライブによる高いダイナミクス、優れた移動精度 LMS-180 精密リニアステージ ピーアイ・ジャパン株式会社

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この製品について

製品概要

■リファレンスクラスリニアステージ

再循環ボールベアリングによる高い移動精度。誘導リミットスイッチ。アナログ信号伝送 (sin/cos、1Vpp) を備えたインクリメンタルエンコーダによる高い位置分解能。UPRシリーズの直接駆動回転ステージとの多軸の組み合わせ。DCサーボまたはステッピングモーターを搭載したモデルは、同じフットプリントで利用できます。

■磁気ダイレクトドライブ

高速と加速のためのアイアンレス磁気ダイレクトドライブ。高い位置分解能。

■応用分野

産業と研究。半導体または電子機器製造における計測、精密スキャン。

■製品特徴

・移動範囲508mm (20") ・500mm/sまでの速度 ・分解能15nmのインクリメンタルエンコーダ

  • シリーズ

    磁気ダイレクトドライブによる高いダイナミクス、優れた移動精度 LMS-180 精密リニアステージ



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磁気ダイレクトドライブによる高いダイナミクス、優れた移動精度 LMS-180 精密リニアステージ 品番5件

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まとめて問合せ・見積 商品画像 品番 価格 (税抜) アクティブ軸 X単位の移動範囲 (mm) X単位の最大速度、無負荷 (mm/s) 真直度 (Yの線形クロストークとXの運動) (µm) 平坦度 (Zの線形クロストークとXの運動) (µm) ピッチ (θY単位回転クロストークX単位運動) (µrad) ヨー (θZの回転クロストークとXの運動) (µrad) 統合センサー Xにおける一方向再現性 (µm) Xでの双方向再現性 (µm) X単位の最小増分モーション (μm) センサー信号 センサー解像度 (nm) 基準スイッチ リミットスイッチ ドライブの種類 公称電圧 (V) 公称電流、実効値 (A) ピーク電流、実効値 (A) X単位の正の運動方向への駆動力 (N) X単位の負の運動方向への駆動力 (N) X単位の負の運動方向へのピーク力 (N) X単位の正の運動方向へのピーク力 (N) 力定数 (N/A) 抵抗相間 (Ω) インダクタンス相間 (mH) 逆起電力位相 (V·s/m) ポールピッチN-N (mm) ガイド 質量をX単位で移動し、無負荷 (g)
磁気ダイレクトドライブによる高いダイナミクス、優れた移動精度 LMS-180 精密リニアステージ-品番-68509111

68509111

要見積もり X 155 500 ±2 ±2 ±40 ±50 インクリメンタルリニアエンコーダ 0.05 ±0.15 0.04 Sin/cos、1Vピークピーク 15 エンコーダインデックス 帰納 アイアンレス3相リニアモーター 48 3.2 7.5 50 50 150 150 19.9 1.8 0.6 16 30 再循環ボールベアリングガイド 900
磁気ダイレクトドライブによる高いダイナミクス、優れた移動精度 LMS-180 精密リニアステージ-品番-68509121

68509121

要見積もり X 205 500 ±3 ±3 ±50 ±50 インクリメンタルリニアエンコーダ 0.05 ±0.15 0.04 Sin/cos、1Vピークピーク 15 エンコーダインデックス 帰納 アイアンレス3相リニアモーター 48 3.2 7.5 50 50 150 150 19.9 1.8 0.6 16 30 再循環ボールベアリングガイド 900
磁気ダイレクトドライブによる高いダイナミクス、優れた移動精度 LMS-180 精密リニアステージ-品番-68509131

68509131

要見積もり X 305 500 ±4 ±4 ±60 ±50 インクリメンタルリニアエンコーダ 0.05 ±0.15 0.04 Sin/cos、1Vピークピーク 15 エンコーダインデックス 帰納 アイアンレス3相リニアモーター 48 3.2 7.5 50 50 150 150 19.9 1.8 0.6 16 30 再循環ボールベアリングガイド 900
磁気ダイレクトドライブによる高いダイナミクス、優れた移動精度 LMS-180 精密リニアステージ-品番-68509141

68509141

要見積もり X 408 500 ±5 ±5 ±70 ±50 インクリメンタルリニアエンコーダ 0.05 ±0.15 0.04 Sin/cos、1Vピークピーク 15 エンコーダインデックス 帰納 アイアンレス3相リニアモーター 48 3.2 7.5 50 50 150 150 19.9 1.8 0.6 16 30 再循環ボールベアリングガイド 900
磁気ダイレクトドライブによる高いダイナミクス、優れた移動精度 LMS-180 精密リニアステージ-品番-68509151

68509151

要見積もり X 508 500 ±6 ±6 ±80 ±50 インクリメンタルリニアエンコーダ 0.05 ±0.15 0.04 Sin/cos、1Vピークピーク 15 エンコーダインデックス 帰納 アイアンレス3相リニアモーター 48 3.2 7.5 50 50 150 150 19.9 1.8 0.6 16 30 再循環ボールベアリングガイド 900

のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。

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会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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