制御・計測・センシング
駆動・機械要素・電子制御部品
産業別カテゴリ
電源・エネルギー・熱処理機器
安全・保護・環境対策
材料・素材・ケミカル
電気・電子部品
構造部品・締結要素
ソフトウェア・ネットワーク
サービス
その他
全てのカテゴリ
閲覧履歴
精密ステージのメーカー26社一覧や企業ランキングを掲載中！精密ステージ関連企業の2025年6月注目ランキングは1位:神津精機株式会社、2位:THK株式会社、3位:シグマ光機株式会社となっています。 精密ステージの概要、用途、原理もチェック！
精密ステージとは、X軸方向およびY方向、あるいは回転方向に精密に動かすことができるステージです。
機種によって移動可能な軸が異なり、1軸～4軸以上まで様々な種類の精密ステージがあります。
ステージの移動はピッチが小さい送りねじが使用されており、マイクロメーターや減速機付きモーターを使用してマイクロメートルオーダーでテーブルを動かすことができるため、極小サイズのサンプルの観察などに使用されます。
精密にステージを動かせる反面、ステージを動かすことのできる可動域は数センチメートル程度と小さいため、ステージを大きく移動させたい用途には不向きとなります。
関連キーワード
2025年6月の注目ランキングベスト10
| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | 神津精機株式会社 |
9.5%
|
| 2 | THK株式会社 |
8.3%
|
| 3 | シグマ光機株式会社 |
6.0%
|
| 4 | コムス株式会社 |
6.0%
|
| 5 | 株式会社MSAファクトリー |
4.8%
|
| 6 | 株式会社モーショントラスト |
4.8%
|
| 7 | 株式会社ピーエムティー |
4.8%
|
| 8 | 日本パルスモーター株式会社 |
4.8%
|
| 9 | THKプレシジョン株式会社 |
4.8%
|
| 10 | 株式会社Piezo Sonic |
3.6%
|
項目別
使用用途
#半導体検査
#レーザー加工
#光学調整
#顕微観察
#微細加工
#ナノ計測
#自動位置決め
#生体観察
#精密組立
#表面検査
#電子部品配置
アクティブ軸
X
Y
Z
θZ
移動範囲 mm
0 - 20
20 - 50
50 - 100
100 - 200
200 - 300
300 - 500
500 - 1,000
最小増分モーション µm
0 - 1
1 - 5
5 - 10
最大速度 mm/s
0 - 5
5 - 10
10 - 20
20 - 100
100 - 600
駆動力 N
0 - 1
1 - 20
20 - 200
許容押し力 N
0 - 50
50 - 100
100 - 150
150 - 200
200 - 500
ドライブの種類
ステッピングモーター
DCモーター
ブラシレスDCモーター
DCギアモーター
三相リニアモーター
ピエゾモーター
三相トルクモーター
ガイド
クロスローラーガイド
再循環ボールベアリングガイド
レバー増幅付き曲げガイド
ボールガイド
エアベアリング
THK株式会社
30人以上が見ています
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
1.0時間 返答時間
■精密ステージシリーズ 1軸/XY軸ステージ A/AX 高精度でバリエーションが豊富、さまざまな用途に対応可能な精密ステージ ■豊富なバリエ...
深研精密株式会社
260人以上が見ています
最新の閲覧: 2時間前
■XYステージの組合せも自由な高性能N8シリーズ ステッピングモーター、ドライバーを付属した標準シリーズです。原点/ストロークの各セン...
THK株式会社
20人以上が見ています
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
1.0時間 返答時間
■精密ステージシリーズ 薄型1軸/XY軸ステージ AT/ATX 従来のA/AXの高精度を維持した高剛性かつ薄型の精密ステージ ■薄型ステージ 同じ...
THK株式会社
30人以上が見ています
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
1.0時間 返答時間
■精密ステージシリーズ 精密アライメントステージ CMX 画期的な駆動モジュール構造を採用した、超薄型の精密アライメントステージです。...
THK株式会社
20人以上が見ています
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
1.0時間 返答時間
■精密ステージシリーズ 超薄型アライメントステージ CHX 予圧型フレキシブル平面軸受を採用した、超薄型アライメントステージです。 ■...
THK株式会社
30人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
1.0時間 返答時間
■ミニチュアタイプ VRT／VRT-A形 クロスローラーテーブルは、高精度に加工されたテーブルとベースの間に、クロスローラーガイドを組込ん...
THK株式会社
30人以上が見ています
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
1.0時間 返答時間
■精密ステージシリーズ 中抜きXYステージ DX クロスLMガイドCSRの最適配置により、高剛性かつ高さの低い中抜きXYステージ ■中抜き構造※...
オリムベクスタ株式会社
1630人以上が見ています
最新の閲覧: 6時間前
返信の早い企業
100.0% 返答率
8.2時間 返答時間
＜特徴＞ 高精度 ・位置決め後の安定性が高い ・バックラッシが少ない ・回転ステージの偏芯量が少ない ・サブミクロンの位置決めが可能...
4種類の品番
THK株式会社
20人以上が見ています
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
1.0時間 返答時間
■精密ステージシリーズ 高応答XYステージ EX 低イナーシャ構造で、優れた応答性を実現した高応答XYステージ ■シンプルなXY構造 案内部...
ツクモ工学株式会社
510人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
0.5時間 返答時間
■概要 ・X軸ネジ送りステージは、ショートストロークの微動調整に優れたX軸ステージです。 ・駆動方式は、ネジ (P＝0.5mm) 、移動ガイド...
4種類の品番
THK株式会社
30人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
1.0時間 返答時間
■精密ステージシリーズ くさび構造昇降ステージ KZ くさび構造を採用したコンパクト・高剛性昇降ステージです。 ■コンパクト設計 モー...
エドモンド・オプティクス・ジャパン株式会社
110人以上が見ています
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
30.5時間 返答時間
■特徴 ・システム実装に適したコンパクトな全体サイズ ・高剛性と最大15kgまでの耐荷重に向けた真鍮構造 ・全てのTECHSPEC®ステージ製品...
有限会社メカノトランスフォーマ
490人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
100.0% 返答率
51.7時間 返答時間
■ピエゾアシストステージとは ・25x25mm テーブルサイズです。 ・20ナノメートルという最小分解能でかつ粗動 (ミリメートルオーダー) を...
4種類の品番
ピーアイ・ジャパン株式会社
730人以上が見ています
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
20.4時間 返答時間
製品概要 ■コンパクトなZステージ、用途が広い ベルトギア付き折り畳み式駆動によるコンパクトなサイズのZステージ。M650mm×50mm接続グ...
3種類の品番
日本パルスモーター株式会社
10人以上が見ています
100.0% 返答率
117.8時間 返答時間
■シャフトモーターSX100採用 ストローク50mm ・SPSナノポジショニングシリーズは、サーボステージの速度とピエゾステージの精度を合せ持...
THK株式会社
20人以上が見ています
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
1.0時間 返答時間
■クロスローラーテーブル VRU形 クロスローラーテーブルは、高精度に加工されたテーブルとベースの間に、クロスローラーガイドを組込ん...
株式会社坂本電機製作所
420人以上が見ています
最新の閲覧: 6時間前
この製品は、自動で高精度整準を行う機器です。上部にトランシットやオートレベルなどの測量機器を設置し、水準を維持するのに役立ちま...
有功社シトー貿易株式会社
280人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
12.3時間 返答時間
■イージーセッターNTとは イージーセッターNTはカストリ上型用ピンをセッティングするシステムです。デジタルデータを基にクラウンピン...
株式会社平出精密
300人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
100.0% 返答率
93.4時間 返答時間
精密板金部品を採用した薄くて軽いステージ。お好みでXYテーブルの材質や表面処理のカスタマイズが可能です。2台重ね合わせて固定すると...
株式会社日本レーザー
170人以上が見ています
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.7時間 返答時間
■特徴 ・最小移動量が1nmの超高性能ステージ ・ダイナミクスと信頼性の高い超精密モーションを保証する非接触直接駆動システム ・精密ガ...
テクノダイナミックス株式会社
1790人以上が見ています
最新の閲覧: 19時間前
100.0% 返答率
129.7時間 返答時間
Dynastation GTBシリーズは、自動機械の現場における課題を解決し、先進のモーション研究の成果をフィードバックしてデザインされた直交...
4種類の品番
ツクモ工学株式会社
420人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
0.5時間 返答時間
■概要 ・アルミ製軽量型・X軸ネジ送りステージは、従来製品の本体材質をアルミにすることで小型軽量化した製品です。 ・薄型化・軽量化...
3種類の品番
岡本機工株式会社
20人以上が見ています
最新の閲覧: 4時間前
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
4.1時間 返答時間
■特徴 ・ラック＆ピニオン駆動により、高精度な位置決めが可能。 (ボールネジ駆動タイプも可能ですが、その場合の移動ストロークは2,000...
日本パルスモーター株式会社
10人以上が見ています
100.0% 返答率
117.8時間 返答時間
精密・高速リニア駆動、ロングストロークを簡単に実現できるユニット型の単軸ステージ。生産ラインで高速搬送が必要な制御や その他、ボ...
マクソンジャパン株式会社
20人以上が見ています
最新の閲覧: 23時間前
100.0% 返答率
123.3時間 返答時間
■概要 maxonのマイクロリニアステージは、maxonのコアレスブラシレスモータであるECXシリーズを採用し、ギアとエンコーダをインテグレー...
Buehler Ltd.
10人以上が見ています
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
21.5時間 返答時間
イメージングおよび分析用電動ステージキット、MA100NおよびMA200ステージのX軸、Y軸、Z軸方向の移動を自動化することにより、顕微鏡の...
株式会社エス・エフ・シー
220人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
小型資料用。カメラを固定してステージをすばやく動かすことにより、スピーディに位置決めができます。移動はXYθ、XYZθと傾斜があります。
壺坂電機株式会社
220人以上が見ています
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
0.8時間 返答時間
■特長 ・回転軸 (Yaw / Pitch) と直動軸 (X / Y / Z) の電動ステージを搭載 ・専用PCソフトウェアでステージの制御が可能 ・位置のティ...
株式会社フォトンプローブ
190人以上が見ています
最新の閲覧: 20時間前
光回路を小さく組む際のアライメント用ステージです。 ■構成 光学系を構成する際には、わずかな角度ずれが大きな影響を与えます。干渉...
株式会社フィジックステクノロジー
120人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
100.0% 返答率
134.9時間 返答時間
SmarAct社では2つの回転半径を持つゴニオステージを用意しています。コンパクトで正確なスイベル動作が必要なアプリケーションに最適で...
検索結果 437件 (1ページ/8ページ)
精密ステージとは、X軸方向およびY方向、あるいは回転方向に精密に動かすことができるステージです。
機種によって移動可能な軸が異なり、1軸～4軸以上まで様々な種類の精密ステージがあります。
ステージの移動はピッチが小さい送りねじが使用されており、マイクロメーターや減速機付きモーターを使用してマイクロメートルオーダーでテーブルを動かすことができるため、極小サイズのサンプルの観察などに使用されます。
精密にステージを動かせる反面、ステージを動かすことのできる可動域は数センチメートル程度と小さいため、ステージを大きく移動させたい用途には不向きとなります。
精密ステージは、X軸、Y軸、Z軸、その他3軸の回転方向など各軸方向を精密に独立して動かすことができるため、サンプルに位置を正確に制御したい場合に使用されます。
半導体素子を始めとした微小物体を観察するための顕微鏡のステージとして使用する場合や加工機械を用いて精密な加工を行うためのワーク固定用ステージとする場合、光学レンズ検査時の光軸合わせなどの検査用ステージなどとして使用する場合、高精度の位置決めで部品を接合するためのステージとして使用される場合があります。
精密ステージは高精度のリニアガイドと送りねじ、送りねじを回転させるためのマイクロメータまたは減速機付きモータによって構成されており、可動軸の数だけこれらの機構が組み込まれています。送りねじを1回展させるとねじのピッチ分（コンマ数ミリメートル程度）ステージが移動します。
マイクロメータを使用する場合には、マイクロメータに刻まれた特殊な目盛りを読み取ることで移動量を把握することができます。
モータを使用する場合には、モータ内部にロータリーエンコーダが内蔵されており回転数を検知できるため、ステージの移動量を制御することができます。
精密ステージは使用用途によってX軸のみの1軸ステージからX軸とY軸の2軸ステージ、Z軸や回転を加えた3軸から6軸のステージと様々な製品が展開されています。6軸精密ステージで1軸のみを使用するようないわゆる大は小を兼ねる使い方をすることは可能ですが、精密ステージは可動軸数が多いほど価格も大きく上がるため必要最小限のスペックのものを選定することをおすすめします。
参考文献
https://www.orimvexta.co.jp/product/detail/?id=007001
https://jp.misumi-ec.com/tech-info/categories/machine_design/md05/d0015.html
