DLC成膜装置＜NANOCOATシリーズ＞ナノテック株式会社

ナノテック株式会社の対応状況

返答率

100.0%

平均返答時間

9.9時間

この製品について

ダイヤモンドの性質に近い高硬度  (マイクロビッカース硬度2,000～4, 000)  、低摩擦係数  (μ＝0.2以下)  、表面平滑性及び耐溶着性・離型性に優れたダイヤモンド・ライク・カーボン成膜装置のスタンダードモデル。

原理・構造
本装置は真空中において特殊なイオン源によりC6H6  (ベンゼン)  をプラズマ中で分解し、ダイヤモンドライクカーボン膜を生成させます。マルチイオン源によるプラズマエリアの制御と基板回転機構により、複雑形状物へも均一で密着力の強いコーティングが可能です。

型番
この商品には3種類の型番があります

シリーズ
DLC成膜装置＜NANOCOATシリーズ＞

取扱企業
ナノテック株式会社

*サンプルリクエストに対応できない場合もあります、ご了承ください。

140人以上が見ています

返答率: 100.0%

平均返答時間: 9.9時間

無料
見積もり費用は無料のため、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

DLC成膜装置＜NANOCOATシリーズ＞品番3件

各品番毎の詳細は品番をクリックしてください

品番	価格 (税抜)	真空槽(mm)	有効エリア(mm)	基板ホルダー	搭載放電システム	到達圧力	排気速度	基板加熱機構	基板バイアス	装置制御	排気系	所要電力	設置面積(Ｍ)	冷却水	圧縮空気
NANOCOAT-500	要見積もり	500W×500W×600H	φ200×200L	自公転式(製品形状に応じて特注製作可能)	DLCイオン源(イオン化蒸着源)	6.7E-4Pa以下	6.7E-3Pa以下まで30分以内	オプション(シースヒーター、ランプヒーター等)	MAX3,000V500mA	レシピ画面設定による完全自動運転	ターボ分子ポンプ＋ロータリーポンプ	3φ200V10kVA	2.5W×3.0D×2.5H	3kgf/cm220~40L/min	6kgf/cm2以上
NANOCOAT-800	要見積もり	φ800×650H	φ500×200L	自公転式(製品形状に応じて特注製作可能)	DLCイオン源(イオン化蒸着源)	6.7E-4Pa以下	6.7E-3Pa以下まで30分以内	オプション(シースヒーター、ランプヒーター等)	MAX3,000V500mA	レシピ画面設定による完全自動運転	ターボ分子ポンプ＋ロータリーポンプ	3φ200V20kVA	3.0W×4.0D×2.5H	3kgf/cm220~40L/min	6kgf/cm2以上
NANOCOAT-1000	要見積もり	φ1000×900H	φ600×500L	自公転式(製品形状に応じて特注製作可能)	DLCイオン源(イオン化蒸着源)	6.7E-4Pa以下	6.7E-3Pa以下まで30分以内	オプション(シースヒーター、ランプヒーター等)	MAX3,000V500mA	レシピ画面設定による完全自動運転	ターボ分子ポンプ＋ロータリーポンプ	3φ200V30kVA	4.0W×4.0D×2.5H	3kgf/cm220~40L/min	6kgf/cm2以上