ICF成膜装置ナノテック株式会社

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この製品について

DLCを含む高機能性を持つカーボン膜による超鏡面性,導電性,耐熱性,撥水性,アルミニウム合金用,光学用,絶縁性,環境調和型を付与したコーティング装置。

原理・構造
DLC薄膜の応用用途が拡大するのに伴い、単に硬質で摩擦係数が低い「ダイヤモンドライクカーボン」という呼称では、その機能を含め捉えきれなくなってきました。DLC薄膜の特性を物性により分類した用途別の活用が必要とされています。この分類を明確にするため、新たにDLCを大きな枠組みで促えなおす概念としてICF  (Intrinsic Carbon Film ： 真性カーボン膜)  があります。

高機能の付加
ICFは、DLCを含む高機能性を持つカーボン膜の呼称です。弊社は、独自のDLCコーティングテクノロジーを発展させDLCに各種ドーピングや構造制御などを行うことで、様々な高機能性の付与に成功しました。弊社の技術データと成膜制御技術により最適なICFを設計し、各種応用用途に合わせたコーティングを行うことが可能になりました。

型番
この商品には3種類の型番があります

シリーズ
ICF成膜装置

取扱企業
ナノテック株式会社

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無料
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ICF成膜装置品番3件

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品番	価格 (税抜)	真空槽(mm)	有効エリア(mm)	基板ホルダー	搭載放電システム	到達圧力	排気速度	基板加熱機構	基板バイアス	装置制御	排気系	所要電力	設置面積(Ｍ)	冷却水	圧縮空気
ICF-500	要見積もり	500W×500W×600H	φ200×200L	自公転式(製品形状に応じて特注製作可能)	DLCイオン源(イオン化蒸着源)	6.7E-4Pa以下	6.7E-3Pa以下まで30分以内	オプション(シースヒーター、ランプヒーター等)	MAX3,000V500mA	レシピ画面設定による完全自動運転	ターボ分子ポンプ＋ロータリーポンプ	3φ200V10kVA	2.5W×3.0D×2.5H	3kgf/cm220~40L/min	6kgf/cm2以上
ICF-800	要見積もり	φ800×650H	φ500×200L	自公転式(製品形状に応じて特注製作可能)	DLCイオン源(イオン化蒸着源)	6.7E-4Pa以下	6.7E-3Pa以下まで30分以内	オプション(シースヒーター、ランプヒーター等)	MAX3,000V500mA	レシピ画面設定による完全自動運転	ターボ分子ポンプ＋ロータリーポンプ	3φ200V20kVA	3.0W×4.0D×2.5H	3kgf/cm220~40L/min	6kgf/cm2以上
ICF-1000	要見積もり	φ1000×900H	φ600×500L	自公転式(製品形状に応じて特注製作可能)	DLCイオン源(イオン化蒸着源)	6.7E-4Pa以下	6.7E-3Pa以下まで30分以内	オプション(シースヒーター、ランプヒーター等)	MAX3,000V500mA	レシピ画面設定による完全自動運転	ターボ分子ポンプ＋ロータリーポンプ	3φ200V30kVA	4.0W×4.0D×2.5H	3kgf/cm220~40L/min	6kgf/cm2以上