制御・計測・センシング
駆動・機械要素・電子制御部品
産業別カテゴリ
電源・エネルギー・熱処理機器
安全・保護・環境対策
材料・素材・ケミカル
電気・電子部品
構造部品・締結要素
ソフトウェア・ネットワーク
サービス
その他
全てのカテゴリ
閲覧履歴
ピラニ真空計のメーカー12社一覧や企業ランキングを掲載中！ピラニ真空計関連企業の2025年8月注目ランキングは1位:株式会社ミラプロ、2位:若井田理学株式会社、3位:オールデバイス株式会社となっています。 ピラニ真空計の概要、用途、原理もチェック！
ピラニ真空計とは、電気抵抗を利用した、真空度を測定するためのセンサーです。
ピラニ真空計の装置は小型のため持ち運びが容易で、操作も簡便なため、真空度を測定するための多くの場面で使用されています。ピラニ真空計は、ピラニゲージや単にピラニとも呼ばれています。
ピラニ真空計はシンプルな構成と安価が特徴で、測定子を測定環境に設置すると、真空度によって測定子への電流が変わり、真空度の測定が可能です。一般的に、ピラニ真空計は、コントローラと測定子で構成されており、測定範囲は約0.5Paから2KPa程度となっています。
原理上、測定範囲の下限付近では、精度が悪くなるので、圧力値が重要な測定では他の真空計が必要です。中には、測定子とコントローラが分離できるのピラニ真空計もあります。真空計の中には測定範囲でしか使用できず、範囲外で使用すると壊れてしまうものもありますが、ピラニ真空計はそのような心配はなく、大気圧から動作できることが魅力です。
2025年8月の注目ランキングベスト7
| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | 株式会社ミラプロ |
25.0%
|
| 2 | 若井田理学株式会社 |
12.5%
|
| 3 | オールデバイス株式会社 |
12.5%
|
| 4 | 入江株式会社 |
12.5%
|
| 5 | 大亜真空株式会社 |
12.5%
|
| 6 | キヤノンアネルバ株式会社 |
12.5%
|
| 7 | 芝浦エレテック株式会社 |
12.5%
|
10 点の製品がみつかりました
10 点の製品
コーンズ テクノロジー株式会社
230人以上が見ています
最新の閲覧: 2時間前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
12.7時間 返答時間
■特徴 ・高性能真空計制御ユニットIGC100とピラニゲージ・電離真空計を組み合わせることによって、1,000Torr～2×10-11までの測定が可能...
オールデバイス株式会社
330人以上が見ています
最新の閲覧: 2時間前
返信の早い企業
100.0% 返答率
6.7時間 返答時間
■概要 PVC4000シリーズは、費用効果の高いOEM統合のために設計された真空トランスデューサです。 MEMS熱伝導センサ (ピラニセンサー) 、...
入江株式会社
330人以上が見ています
最新の閲覧: 1分前
返信の早い企業
4.7 会社レビュー
100.0% 返答率
11.1時間 返答時間
アナログからデジタルへ。水銀を用いたU字型真空計の代替えに最適な小型・軽量・安価で広領域測定が可能なデジタル真空計 ■特長 ・測定...
入江株式会社
250人以上が見ています
最新の閲覧: 2時間前
返信の早い企業
4.7 会社レビュー
100.0% 返答率
11.1時間 返答時間
■表示器が小型で省スペース化が可能に センサとの一体型、分離型が選べます。 ・表示器が小型です。 (72W×42H×50D mm) ・表示器とセン...
株式会社柳生商会
300人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の早い企業
4.5 会社レビュー
100.0% 返答率
8.0時間 返答時間
■特徴 センサー内蔵・表示部一体型のコンパクトサイズです。 ・耐薬品性に優れたセラミックス製センサーを使用しています。 ・見やすい...
株式会社柳生商会
470人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の早い企業
4.5 会社レビュー
100.0% 返答率
8.0時間 返答時間
■特徴 大気圧を含む低真空領域 (0.05～100,000Pa) の測定が可能です。 ・フィラメント材には耐久性に優れた白金 (Pt) を採用しています...
株式会社柳生商会
350人以上が見ています
最新の閲覧: 2時間前
返信の早い企業
4.5 会社レビュー
100.0% 返答率
8.0時間 返答時間
■特徴 ・システム内の真空度チェック、真空ポンプの性能確認、配管の漏れ検査等に適しています。 ・大気圧補正機能付きで、通常の大気圧...
株式会社柳生商会
460人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の早い企業
4.5 会社レビュー
100.0% 返答率
8.0時間 返答時間
■特徴 ・真空チャンバ内に直接入れて測定することができます。 ・測定データはUSB経由でパソコンに保存できます。 ・大気圧から高真空ま...
フジ・インバック株式会社
140人以上が見ています
最新の閲覧: 2時間前
100.0% 返答率
39.6時間 返答時間
■特長 ピラニ＋コールドカソード一体型 一つのゲージポートで大気圧から超高真空まで測定可能 ・測定レンジ：1x10-7Pa～1x105Pa ・二測...
フジ・インバック株式会社
190人以上が見ています
最新の閲覧: 1時間前
100.0% 返答率
39.6時間 返答時間
■特長 ピラニ＋BAイオンゲージ一体型 一つのゲージポートで大気圧から超高真空まで測定可能 ・測定レンジ：5x10-8Pa～1x105Pa ・二測定...
ピラニ真空計とは、電気抵抗を利用した、真空度を測定するためのセンサーです。
ピラニ真空計の装置は小型のため持ち運びが容易で、操作も簡便なため、真空度を測定するための多くの場面で使用されています。ピラニ真空計は、ピラニゲージや単にピラニとも呼ばれています。
ピラニ真空計はシンプルな構成と安価が特徴で、測定子を測定環境に設置すると、真空度によって測定子への電流が変わり、真空度の測定が可能です。一般的に、ピラニ真空計は、コントローラと測定子で構成されており、測定範囲は約0.5Paから2KPa程度となっています。
原理上、測定範囲の下限付近では、精度が悪くなるので、圧力値が重要な測定では他の真空計が必要です。中には、測定子とコントローラが分離できるのピラニ真空計もあります。真空計の中には測定範囲でしか使用できず、範囲外で使用すると壊れてしまうものもありますが、ピラニ真空計はそのような心配はなく、大気圧から動作できることが魅力です。
ピラニ真空計は、真空到達度管理が必要なチャンバーや石英管などに接続された流体回路中や表面清浄度が求められる場所で使用されています。具体的には、中真空領域の測定によく使用されています。
中真空領域とは、油回転真空ポンプを使用して到達できる真空状態であり、フロンガス吸引等の測定時の計測などが一例です。ピラニ真空計は、高真空～超高真空排気系の粗引きラインや、高真空ポンプの背圧ラインに使用されることが多いです。
しかし、気体の種類や組成によって表示値が異なるので、絶対圧力を測定するためには事前に充分な較正が必要になります。また、ピラニ真空計は、理化学実験で真空状態を作る際や真空蒸着、凍結乾燥、医療用機器、分析機、レーザー応用装置、真空排気装置、半導体製造装置のプラズマエッチング空間、電子顕微鏡の真空パック等の測定にも使用されています。
ピラニ真空計は、電気抵抗型の真空計であり、電流を流したプラチナ (白金) 線へ気体が衝突する際に消失する熱エネルギーから電流を算出します。その電流値から圧力に逆算するということです。この微小圧力が、そのまま真空度に相当します。
ピラニ真空計の測定子内にはプラチナ製の極細の線が張ってあり、このプラチナ線に電力を加え温度を200度程度に加熱します。このプラチナ線に空気がぶつかるとプラチナ線から熱を奪い、プラチナ線の温度を200度に保つためにコントローラはより多くの電力をプラチナ線へ与えるのです。
逆にプラチナ線にぶつかる気体分子がなければ、プラチナ線の温度は少ない電力でも200度を保持することが可能です。プラチナ線へ供給する電力量の変化を測定することにより、測定環境内の真空度が計測できるようになります。
また、ピラニ真空管の精度を保つためにはプラチナ線の管理が重要です。プラチナ線は通電を繰り返すことにより消耗し、新品時に比べ、200度にするためにより多くの電力を必要にするようになるため、定期的な交換が必要になります。また、プラチナ線へのゴミの付着なども測定精度に影響を及ぼすため、定期的な清掃も欠かせません。
圧力は、低真空、中真空、高真空、超高真空などの真空度で分けられており、ピラニ真空計では低真空から中真空まで測定できます。真空度はJIS (日本工業規格) により、以下のように圧力の範囲によって5つに分類されています。
参考文献
http://www.nucleng.kyoto-u.ac.jp/people/ikuji/edu/vac/chap3/pirani.html
