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SRV4320取扱企業
神港精機株式会社カテゴリ
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スパッタリング装置の製品86点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 価格 (税抜) | 処理基板 | ターゲット / カソードタイプ | ターゲット / サイズ x 個数 | スパッタ方向 | 基板台 / 回転機構 | 基板台 / 基板加熱 | 基板台 / 膜厚分布 | 排気系 / 到達压力 | 排気系 / 排気時間 | 排気系 / 主ポンプ | 操作方法 / 排気動作 | 操作方法 / 成膜動作 | スパッタ電源 / RF | スパッタ電源 / DC | ガス導入系 |
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要見積もり | ¢280mm | プレーナマグネトロン | ¢100mm x 3ヶ | アップ | ◯ | 基板台で300℃ | ±5%以内 (¢200) | 5.0 x 10-⁴Pa以下 | 9.9 x 10-⁴Paまで20分以内 | ターボケヱポンプ | 手動 | 手動 (タイマー式) | 1kW | オプション | 2系統 |
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