SRV6310 | 薄膜形成装置 バッチスパッタリング装置
神港精機株式会社
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ガス導入系
スパッタ方向
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基板台 / 回転機構
基板台 / 基板加熱
基板台 / 膜厚分布
排気系 / 主ポンプ
排気系 / 到達压力
排気系 / 排気時間
操作方法 / 成膜動作
操作方法 / 排気動作
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型番
SRV6310
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シリーズ
薄膜形成装置 バッチスパッタリング装置
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取扱企業
神港精機株式会社
スパッタリング装置注目ランキング
スパッタリング装置の製品35点中、注目ランキング上位6点
薄膜形成装置 バッチスパッタリング装置 SRV6310の性能表
| 商品画像 | 価格 (税抜) | ガス導入系 | スパッタ方向 | スパッタ電源 / DC | スパッタ電源 / RF | ターゲット / カソードタイプ | ターゲット / サイズx個数 | 処理基板 | 基板台 / 回転機構 | 基板台 / 基板加熱 | 基板台 / 膜厚分布 | 排気系 / 主ポンプ | 排気系 / 到達压力 | 排気系 / 排気時間 | 操作方法 / 成膜動作 | 操作方法 / 排気動作 |
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| 要見積もり | 2系統 | アップ | オプション | 1kW | プレーナマグネトロン | ¢150mm x 3ヶ | ¢320mm | ◯ | 基板台で300℃ | ±10%以内 (¢300) | クライオポンプ | 6.0 x 10-⁵Pa以下 | 9.9 x 10-⁴Paまで10分以内 | 半自動 (タイマー式) | 自動 |
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のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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