STM4415 | 薄膜形成装置 マルチチャンバスパッタリング装置
神港精機株式会社
価格 (税抜)
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カソード仕様 / 第1スパッタ室
カソード仕様 / 第2スパッタ室
スパッタ方向
プロセス性能 / エッチング分布
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処理基板
各室到達压力 / エッチング室
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操作方法
装置構成 / エッチング室
装置構成 / カセット室
装置構成 / スパッタ室
装置構成 / 搬送室
カソード仕様 / 第3スパッタ室
カソード仕様 / 第4スパッタ室
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型番
STM4415
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取扱企業
神港精機株式会社
スパッタリング装置注目ランキング
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薄膜形成装置 マルチチャンバスパッタリング装置 STM4415の性能表
| 商品画像 | 価格 (税抜) | カソード仕様 / 第1スパッタ室 | カソード仕様 / 第2スパッタ室 | カソード仕様 / 第3スパッタ室 | カソード仕様 / 第4スパッタ室 | スパッタ方向 | プロセス性能 / エッチング分布 | プロセス性能 / 基板加熱 | プロセス性能 / 膜厚分布 | 処理基板 | 各室到達压力 / エッチング室 | 各室到達压力 / カセット室 | 各室到達压力 / スパッタ室 | 各室到達压力 / 搬送室 | 操作方法 | 装置構成 / エッチング室 | 装置構成 / カセット室 | 装置構成 / スパッタ室 | 装置構成 / 搬送室 |
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要見積もり | ¢300mm x 1ヶ | ¢300mm x 1ヶ | ¢300mm x 1ヶ | ¢300mm x 1ヶ | アップ | ±10%以内 (¢180) | 300℃ | ±5%以内 (¢180) | ¢200mm基板 | 9.9 x 10-⁶Pa以下 | 9.9 x 10-⁶Pa以下 | 2.0 x 10-⁵Pa以下 | 5.0 x 10-⁵Pa以下 | 全自動CtoC方式 | 1室 | 1室 | 4室 | 1室 |
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のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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