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ターゲット / カソードタイプ
ターゲット / サイズx個数
基板台 / 膜厚分布
基板台 / 基板加熱
基板台で500℃
排気系 / 到達压力
2.0 x 10-⁵Pa以下
排気系 / 排気時間
5.0 x 10-⁴Paまで20分以内
操作方法 / 排気動作
自動
操作方法 / 成膜動作
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ガス導入系
2系統
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STL5311取扱企業
神港精機株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 処理基板 | ターゲット / カソードタイプ | ターゲット / サイズx個数 | スパッタ方向 | 基板台 / 回転機構 | 基板台 / 基板加熱 | 基板台 / 膜厚分布 | 基板台 / 搬送方法 | 排気系 / 到達压力 | 排気系 / 排気時間 | 排気系 / 主ポンプ | 操作方法 / 排気動作 | 操作方法 / 成膜動作 | スパッタ電源 / RF | スパッタ電源 / DC | ガス導入系 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 要見積もり | ¢100mmウェハ x 3枚 | プレーナマグネトロン | ¢100mm x 3ヶ | アップ | ◯ | 基板台で500℃ | ±10%以内 (¢90) | 伸縮アーム | 2.0 x 10-⁵Pa以下 | 5.0 x 10-⁴Paまで20分以内 | クライオポンプ | 自動 | 自動 | 500W | 3kW | 2系統 |
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